一种提升生产多晶硅内在品质的方法

    公开(公告)号:CN106554017A

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201510627167.5

    申请日:2015-09-28

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本发明公开了一种提升生产多晶硅内在品质的方法,包括以下步骤:多晶硅生产过程中,当生产多晶硅所用的原料氢气的品质优于原料三氯氢硅时,增大氢气︰三氯氢硅的摩尔配比,则提升生产多晶硅内在品质;当生产多晶硅所用的原料三氯氢硅的品质优于原料氢气时,减少氢气︰三氯氢硅的摩尔配比,则提升生产多晶硅内在品质。通过本发明的提升生产多晶硅内在品质的方法,在原料氢气和原料三氯氢硅中杂质含量已定的前提下,通过品质较优的原料比例增加可以稀释品质略差的原料中的杂质浓度,降低气相沉积过程中的杂质和多晶硅棒表面碰撞的几率,从而减少杂质沉积。降低了化学还原气相沉积(CVD)多晶硅中的杂质沉积,提升了生产多晶硅内在品质。

    一种多晶硅生产系统及方法

    公开(公告)号:CN105293501A

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201410256884.7

    申请日:2014-06-10

    IPC分类号: C01B33/03

    摘要: 本发明提供一种多晶硅生产系统及方法,根据预设的第一尾气与物料流量比例控制输送至还原炉的反应尾气的流量,并检测反应尾气中二氯二氢硅的组分、输送至还原炉的反应尾气的流量以及进入还原炉的氢气和三氯氢硅的混合气的流量,当尾气控制周期到达时,计算当前反应尾气与物料混合后的气体的二氯二氢硅的含量,并根据所述二氯二氢硅的含量、预设的第一含量和第二含量,控制输送至还原炉的反应尾气的流量,能够有效控制进入还原炉的反应尾气中的二氯二氢硅的含量,减少无定型硅的生成,提高多晶硅产品品质,延长下游工序设备的使用寿命。

    四氯化锆与氧化亚硅联产的方法及装置

    公开(公告)号:CN108996546A

    公开(公告)日:2018-12-14

    申请号:CN201810974696.6

    申请日:2018-08-24

    IPC分类号: C01G25/04 C01B33/113

    摘要: 本发明公开了一种四氯化锆与氧化亚硅联产的方法及装置,该方法包括以下步骤:1)将锆英砂与硅混合,真空条件下,加热,锆英砂中的二氧化硅与硅反应生成气化的氧化亚硅,锆英砂中的二氧化硅反应后余下固体剩余物;2)将固体剩余物与氯气、碳质还原剂混合,加热,固体剩余物中的氧化锆与氯气、碳质还原剂反应,生成四氯化锆。本发明中的方法在真空下加热,使得锆英砂中的二氧化硅生成氧化亚硅,可简化后续的尾气分离系统,得到了高附加值的氧化亚硅产品,实现了锆英砂中的硅资源的高值化利用,同时大大简化了四氯化锆的生产流程,有效降低了生产成本及提高了产品品质。

    一种多晶硅生产过程中的尾气回收工艺

    公开(公告)号:CN105565323B

    公开(公告)日:2018-01-26

    申请号:CN201410547077.0

    申请日:2014-10-15

    IPC分类号: C01B33/107 C01B3/50

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅生产过程中的尾气回收工艺包括以下步骤:将尾气在第一催化剂的催化作用下,发生尾气中的氯化氢与二氯二氢硅的反应,得到第一混合物;将第一混合物冷却到‑5~55℃,分别得到第一液体混合物、第一气体混合物;将第一气体混合物在第二催化剂的催化作用下,发生尾气中的二氯二氢硅与四氯化硅的反应,得到第二混合物;将第二混合物冷却到‑40~‑10℃,分别得到第二液体混合物、第二气液混合物;将第二气液混合物进行气液分离,分别得到第三气体混合物、第三液体混合物,其中,第三气体混合物的主要组分为氢气。避免了现有技术中回收工艺对尾气中的氯化氢的吸收和解析,及尾气中的二氯二氢硅进入后续氯硅烷的精馏提纯。

    一种多晶硅生产中氯化氢气体干燥方法及装置

    公开(公告)号:CN103482573A

    公开(公告)日:2014-01-01

    申请号:CN201310443666.X

    申请日:2013-09-26

    IPC分类号: C01B7/07 C01B7/03

    摘要: 本发明涉及多晶硅生产中物料的处理领域,对于物料氯化氢的干燥问题一直没有得到性能和成本均为理想的工艺方案,本发明基于氯硅烷干燥氯化氢的方法,作了进一步的完善,工艺过程为氯化氢气体与氯硅烷蒸汽在文丘里混合器中进行混合,进入折流板反应罐中进行充分反应,最后通过高效除尘装置过滤氯化氢中的二氧化硅细粉,得到清洁干燥的氯化氢气体,本发明具有工艺简单,设备组成少,操作容易,干燥后的氯化氢含水量可以降到10-50ppm的有益效果。

    四氯化锆与氧化亚硅联产的方法及装置

    公开(公告)号:CN108996546B

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201810974696.6

    申请日:2018-08-24

    IPC分类号: C01G25/04 C01B33/113

    摘要: 本发明公开了一种四氯化锆与氧化亚硅联产的方法及装置,该方法包括以下步骤:1)将锆英砂与硅混合,真空条件下,加热,锆英砂中的二氧化硅与硅反应生成气化的氧化亚硅,锆英砂中的二氧化硅反应后余下固体剩余物;2)将固体剩余物与氯气、碳质还原剂混合,加热,固体剩余物中的氧化锆与氯气、碳质还原剂反应,生成四氯化锆。本发明中的方法在真空下加热,使得锆英砂中的二氧化硅生成氧化亚硅,可简化后续的尾气分离系统,得到了高附加值的氧化亚硅产品,实现了锆英砂中的硅资源的高值化利用,同时大大简化了四氯化锆的生产流程,有效降低了生产成本及提高了产品品质。

    一种尾气回收系统
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106268162B

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201510325792.4

    申请日:2015-06-12

    摘要: 本发明提供一种尾气回收系统,用于回收来自上游工序的尾气,尾气包括氢气、氯化氢气体和氯硅烷气体,尾气回收系统包括尾气冷凝器、尾气分离单元、吸收塔、解析塔和吸收液冷凝器,其中吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分,其中第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入吸收液冷凝器,经过吸收液冷凝器的冷凝处理后进入吸收塔;其中第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体混合后进入解析塔,以实现吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液的部分自循环。本发明所述尾气回收系统既能实现低耗能又能减少氟利昂的用量,从而降低氟利昂泄露的风险。

    氧氯化锆中的杂质脱除工艺及装置

    公开(公告)号:CN109179501A

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201811155997.2

    申请日:2018-09-30

    IPC分类号: C01G25/00

    摘要: 本发明公开了一种氧氯化锆中的杂质脱除工艺及装置,该工艺包括以下步骤:1)将以锆英砂为原料经沸腾氯化法制备的粗四氯化锆,加入到酸性条件下的水中水解,生成氧氯化锆,得到氧氯化锆水溶液;2)再将氧氯化锆水溶液依次通过第一吸附柱、第二吸附柱吸附金属杂质和碳,第二吸附柱的吸附能力比第一吸附柱强,经过吸附后,若氧氯化锆水溶液中的金属杂质的浓度不高于预设的浓度值,则执行步骤3);3)将氧氯化锆水溶液进行结晶、洗涤、脱水,得到固体的氧氯化锆。本发明工艺简单,连续性好,生产成本低,有效减少三废排放,并且第一吸附柱、第二吸附柱所用吸附剂能够重复使用可以显著降低生产成本,产品纯度高,杂质含量低,有效提高产品质量。

    四氯化锆的制备方法
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108862380A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201811086411.1

    申请日:2018-09-18

    摘要: 本发明公开了一种四氯化锆的制备方法,包括以下步骤:1)将铝灰、锆英砂、碳还原剂混合,通入氯气,加热,铝灰中的铝发生氯化反应放热生成氯化铝、铝灰中的氧化铝发生氯化反应放热生成氯化铝,锆英砂发生碳化氯化反应吸收放出的热量生成四氯化锆、四氯化硅、一氧化碳和/或二氧化碳。本发明的铝灰相当于锆英砂碳化氯化反应过程中的补热剂,铝灰中的铝、氧化铝发生氯化反应放热,锆英砂发生碳化氯化反应吸收放出的热量,实现了热量的平衡,弥补物料所在的系统所需要的热量,降低对外部无论是加热系统还是冷却系统的依赖,实现了节能降耗,同时降低了四氯化锆的生产成本,同时副产氧化铝,实现了铝灰的回收利用,杜绝了环境污染,提高了经济效益。