公开(公告)号：CN104943385A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510141449.4

申请日：2015-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古林智一 ,  两角浩一

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/135 ,  B41J2/01

CPC classification number: H01L41/0815 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491 ,  G01L1/16 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

Abstract: 本发明提供使用可减小电压下降对施加电压的影响的晶种层而能够使压电体层在(100)面优选取向并且能够提高位移量的压电元件、具备压电元件的液体喷射头、液体喷射装置以及传感器。压电元件(300)具备第1电极(60)、隔着晶种层(65)设置于第1电极(60)的压电体层(70)以及设置于压电体层(70)的第2电极(80)，晶种层(65)由具有钙钛矿结构且A位点含有铋、B位点含有铁和钛的在(100)面优先取向的复合氧化物构成，压电体层(70)由具有钙钛矿结构且在(100)面优先取向的压电材料构成，晶种层(65)的厚度小于20nm。

公开(公告)号：CN100580932C

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200510134103.8

申请日：2005-12-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木岛健 ,  滨田泰彰 ,  古林智一 ,  宫泽弘

IPC: H01L27/108 ,  H01L27/102 ,  H01L27/10 ,  H01L27/00 ,  H01L29/92 ,  H01L21/8242 ,  H01L21/8222 ,  H01L21/82 ,  H01L21/02 ,  H01L21/00 ,  H01B3/02 ,  H01G4/06 ,  C01G1/00

CPC classification number: H01G7/06 ,  C04B35/493 ,  C04B35/495 ,  C04B35/499 ,  C04B35/624 ,  C04B35/6264 ,  C04B35/6303 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3296 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/787 ,  C23C18/00 ,  H01G4/1218 ,  H01G4/1236 ,  H01G4/1263 ,  H01L21/02197 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/31691 ,  H01L27/11502 ,  H01L27/11507

Abstract: 一种铁电膜、铁电膜的制造方法、铁电电容器、以及铁电存储器，所述铁电膜101由用通式(Pb1-dBid)(B1-aXa)O3表示的铁电膜构成，其中：B由Zr和Ti中的至少一方构成，X由Nb和Ta中的至少一方构成，a的范围为0.05≤a≤0.4，d的范围为0＜d＜1。根据本发明可以提供具有良好的滞后特性的铁电电容器、以及铁电存储器，此外还可以提供适用于铁电存储器和上述铁电电容器的铁电膜。

公开(公告)号：CN1797771A

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200510134103.8

申请日：2005-12-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木岛健 ,  滨田泰彰 ,  古林智一 ,  宫泽弘

IPC: H01L27/108 ,  H01L27/102 ,  H01L27/10 ,  H01L27/00 ,  H01L29/92 ,  H01L21/8242 ,  H01L21/8222 ,  H01L21/82 ,  H01L21/02 ,  H01L21/00 ,  H01B3/02 ,  H01G4/06 ,  C01G1/00

CPC classification number: H01G7/06 ,  C04B35/493 ,  C04B35/495 ,  C04B35/499 ,  C04B35/624 ,  C04B35/6264 ,  C04B35/6303 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3296 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/787 ,  C23C18/00 ,  H01G4/1218 ,  H01G4/1236 ,  H01G4/1263 ,  H01L21/02197 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/31691 ,  H01L27/11502 ,  H01L27/11507

Abstract: 一种铁电膜、铁电膜的制造方法、铁电电容器、以及铁电存储器，所述铁电膜101由用通式(Pb1－dBid)(B1－aXa)O3表示的铁电膜构成，其中：B由Zr和Ti中的至少一方构成，X由Nb和Ta中的至少一方构成，a的范围为0.05≤a≤0.4，d的范围为0＜d＜1。根据本发明可以提供具有良好的滞后特性的铁电电容器、以及铁电存储器，此外还可以提供适用于铁电存储器和上述铁电电容器的铁电膜。

公开(公告)号：CN109256460B

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN201810733889.2

申请日：2018-07-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 角浩二 ,  古林智一 ,  酒井朋裕 ,  北田和也 ,  两角浩一 ,  浅川勉

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种泄漏电流较少的压电元件。压电元件包括：第一电极；压电体层，其被设置于所述第一电极的上方，且包括钾、钠、铌、钛以及氧；第二电极，其被设置于所述压电体层的上方。

公开(公告)号：CN106025059B

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201610173462.2

申请日：2016-03-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 角浩二 ,  古林智一 ,  北田和也

IPC: H01L41/083 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种相对于施加电压的位移的线性度优异且位移特性优异的压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法。一种压电元件，具备：第一电极(60)，其形成在基板(10)上；压电体层(70)，其形成在上述第一电极(60)上，并且包含由下述公式(1)表示的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物；以及第二电极(80)，其形成在上述压电体层(70)上，在上述第一电极与上述压电体层之间具备种子层(65)，该种子层包含含有K以及Nb的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物，上述压电体层由在(110)面优先取向的多晶构成，(KX，Na1﹣X)NbO3…(1)。

公开(公告)号：CN102529373B

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201110409697.4

申请日：2011-12-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 绳野真久 ,  古林智一

IPC: B41J2/045 ,  H01L41/18

CPC classification number: H01L41/0973 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置、压电元件以及压电陶瓷。本发明提供具备环境负荷小、变形量和可靠性得到了提高的压电元件的液体喷射头等。本发明的液体喷射头包括与喷嘴孔连通的压力产生室和压电元件，所述压电元件具有压电体层和对上述压电体层施加电压的电极；上述压电体层由含有铋、钡、铁和钛的具有钙钛矿型结构的复合氧化物形成，上述压电体层的(111)面的取向强度α相对于(100)面的取向强度β的强度比γ(α/β)为3以上。

公开(公告)号：CN102189798B

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201110060933.6

申请日：2011-03-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古林智一 ,  北田和也

IPC: B41J2/045 ,  H01L41/18

CPC classification number: B41J2/14032 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1875

Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。本发明提供包含由铋系复合氧化物形成的压电体的耐电压良好的致动器以及液体喷射头。本发明的液体喷射头具备压电致动器，该压电致动器含有用薄膜法形成的压电体和对所述压电体施加电压的电极，其中，所述压电体含有钛酸锌酸铋镧和钛酸铅的固溶体，所述压电体中，所述钛酸锌酸铋镧对所述钛酸铅的摩尔比(钛酸锌酸铋镧/钛酸铅)为0.39以上且0.61以下。

公开(公告)号：CN102152629B

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201110003810.9

申请日：2011-01-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古林智一 ,  绳野真久

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/16 ,  H01L41/18

CPC classification number: H01L41/318 ,  B41J2/055 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 本发明提供液体喷头、液体喷射装置、压电元件及液体喷头的制造方法，其中液体喷头具有不含铅且压电特性优越的压电元件。该液体喷头具备压力发生室和压电元件，其中上述压力发生室与喷嘴开口连通，上述压电元件具备：第1电极、形成在上述第1电极上含有铁锰酸铋镧的压电体层、形成在上述压电体层上的第2电极，上述压电体层的结晶优先取向于(111)面。

公开(公告)号：CN102189798A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110060933.6

申请日：2011-03-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古林智一 ,  北田和也

IPC: B41J2/045 ,  H01L41/18

CPC classification number: B41J2/14032 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1875

Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。本发明提供包含由铋系复合氧化物形成的压电体的耐电压良好的致动器以及液体喷射头。本发明的液体喷射头具备压电致动器，该压电致动器含有用薄膜法形成的压电体和对所述压电体施加电压的电极，其中，所述压电体含有钛酸锌酸铋镧和钛酸铅的固溶体，所述压电体中，所述钛酸锌酸铋镧对所述钛酸铅的摩尔比(钛酸锌酸铋镧/钛酸铅)为0.39以上且0.61以下。

公开(公告)号：CN100383924C

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN03818766.3

申请日：2003-08-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泽崎立雄 ,  名取荣治 ,  古林智一 ,  滨田泰彰

IPC: H01L21/26 ,  H01L27/105

CPC classification number: H01L27/11502 ,  H01L27/11507

Abstract: 本发明提供一种强电介质存储器的制造方法，在基板(10)上至少形成了强电介质电容器(105)的状态下，从强电介质电容器(105)的上方照射脉冲状的激光(70)。