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公开(公告)号：CN111020499A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911244800.7
申请日：2019-12-06
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种柔性微波铁氧体薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1，选用云母片作为基底，步骤2，将步骤1所准备的基底置于反应室内，进行铁氧体材料的沉积工作；步骤3，使用管式炉对薄膜进行后退火处理；步骤4，使用机械剥离的方式来分离薄膜和基底；本发明使用云母作为基底生长薄膜，因而制备的薄膜具有良好的柔性。本发明制备的薄膜线宽较低，且在经过管式炉后退火能够使线宽进一步降低。在不同弯曲条件下对铁氧体薄膜的微波特性进行了测试，验证了本发明方法可以制备出高质量的柔性微波铁氧体薄膜。
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公开(公告)号：CN110176534A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201910476641.7
申请日：2019-06-03
申请人： 西安交通大学
摘要： 测量范围可调的隧道结磁电阻传感器及其制备方法，包括基底、绝缘层、磁阻导电层和磁阻结构；磁阻结构设置在基底的上表面，绝缘层设置在磁阻结构两侧的基底上，磁阻导电层设置在磁阻结构及绝缘层上表面；基底包括基底底电极、压电材料和基底顶电极，基底底电极和基底顶电极分别设置在压电材料的下表面和上表面；磁阻结构包括缓冲层、钉扎层和磁隧道结层；两个缓冲层叠加设置在基底上表面，两个缓冲层之间自上而下依次设置磁隧道结层和钉扎层；磁隧道结层为被钉扎层/势垒层/自由层组成的层状结构，其中被钉扎层位于钉扎层上表面。本发明利用磁电复合材料中磁各向异性场的电场调控效应，实现了使用电场对磁隧道结中自由层磁化方向的调节，具有效率高、体积小、能耗低、易于集成的特点。
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公开(公告)号：CN109786923A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811573406.3
申请日：2018-12-21
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种声学驱动的微型磁电天线结构及制备方法，包括基体、布拉格声反射层、底部电极、顶部电极、压电层和磁致伸缩层；布拉格声反射层设置在基体上表面，布拉格声反射层的上表面设置压电层，压电层一端的下部与布拉格声反射层之间设置底部电极；压电层的上表面设置有顶部电极和磁致伸缩层。本发明的声学驱动超小型磁电天线用布拉格声反射层取代了空气间隙结构和背部掏空的结构，这种改进不仅提高了磁电天线的机械强度，而且多层反射层的存在有利于器件的散热。
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公开(公告)号：CN109781149A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811594061.X
申请日：2018-12-25
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01D5/12
摘要： 一种AMR传感器结构及其制造方法，一种AMR传感器结构，包括第一导电材料、第二导电材料和磁阻条；包括提供一个Si基底，并对Si基底进行预处理；利用光刻、剥离技术在基底上形成第一预定义图形；利用磁控溅射薄膜生长技术生长磁性长条，在生长磁阻条时外加偏置磁场，引入附加磁各向异性能；利用丙酮超声清洗，去除多余的磁性薄膜；利用光刻、剥离技术在基底上形成第二预定义图形；利用磁控溅射薄膜生长技术生长惠斯通电桥；利用丙酮超声清洗，去除多余的导电金属薄膜。增大了磁阻条工作面积，避免了巴贝电极边缘电流的影响，降低了加工过程对精度的要求。
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公开(公告)号：CN111312890B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202010246936.8
申请日：2020-03-31
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： H01L41/06 , H01L41/08 , H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/12 , H01L41/253 , H01L43/02 , H01L43/08 , C23C14/35
摘要： 一种采用压电剪切模式实现磁畴翻转的方法，包括以下步骤：步骤1，制备磁电异质结；步骤2，电场诱导产生的剪切应变和直流偏置磁场共同作用于磁电异质结；本发明所需的磁电异质结由常见的商用菱方相压电单晶基片和工业上常用的磁性单层薄膜构成，结构简单。既无需微加工工艺引入较强的形状各向异性，也无需在制备过程中施加偏置磁场或后续磁退火引入交换偏置，便可以利用剪切应变调制的磁电效应实现电场调控局域磁畴大于90°的磁化翻转，工艺简单、能耗低，对发展低功耗磁存储和逻辑器件具有重要意义。
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公开(公告)号：CN111312889B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202010113164.0
申请日：2020-02-24
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种磁电弹簧结构及其制备方法，包括铁电层和铁磁层，生长过程中使用铝酸锶作为缓冲层降低晶格失配度。生长完成后，利用铝酸锶的水溶性和铁电、铁磁层之间的应力释放，形成包含铁电层和铁磁层的微型弹簧结构，铁电层设置在铁磁层内侧。随着铁电性和铁磁性厚度的变化，弹簧的弹性系数将发生变化。在一定的弹度限制内，也有类似弹簧的虎克定律。当施加拉力或压力，释放拉力或压力后，微型弹簧可恢复至原来的形状。对弹簧上的铁电层施加电场后，由于压电效应和磁电耦合效应，弹簧的形状和磁性可随电场调节。对弹簧施加磁场后，由于磁致伸缩效应和磁电耦合效应，弹簧的形状和表面电荷会随磁场发生变化，可用于磁场传感。
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公开(公告)号：CN111416211B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202010247194.0
申请日：2020-03-31
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： H01Q7/00 , H01Q1/12 , H01Q1/22 , H01L41/083 , H01L41/12 , H01L41/25 , H01L41/257 , H01L41/27 , H01L41/29 , H01L41/31 , H01L41/47
摘要： 一种基于逆磁电效应的超低频磁电天线及制备方法，包括应力传导介质、压电堆、磁致伸缩材料和线圈；两个应力传导介质之间平行设置压电堆和磁致伸缩材料；线圈螺旋缠绕在磁致伸缩材料上；压电堆包括压电材料和叉指电极；若干层压电材料纵向叠加排布，每相邻两层压电材料的极化方向相反，且每相邻两层压电材料之间设置有一层叉指电极。本发明的天线具有体积小，在高电损耗环境中近场损耗低、信号传播距离远的优点。
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公开(公告)号：CN111403915B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202010246941.9
申请日：2020-03-31
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： H01Q7/00 , H01Q1/12 , H01Q1/22 , H01L41/083 , H01L41/12 , H01L41/25 , H01L41/257 , H01L41/27 , H01L41/29 , H01L41/31 , H01L41/47
摘要： 一种双夹持纵振模式磁电天线及其制备方法，包括压电堆、磁致伸缩材料、线圈和刚性框架；刚性框架内侧对称设置有两个压电堆，且两个压电堆的端部相对设置，两个压电堆之间设置有磁致伸缩材料，磁致伸缩材料上螺旋缠绕有线圈；压电堆由多层压电材料组成，每相邻两层压电材料之间有一层叉指电极压电材料和叉指电极粘接在一起。本发明的天线具有体积小，在高电损耗环境中近场损耗低、信号传播距离远、结构强度高的优点。
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公开(公告)号：CN110794346B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201910920177.6
申请日：2019-09-26
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种基于磁扭电效应的磁场传感器及其制造方法，包括压电材料、弹性层材料、永磁体材料、柔性电极、以及压电材料的上表面电极、下表面电极；压电材料的上、下表面贴合柔性电极，并以三明治结构封装于弹性层之间，压电材料位于弹性层长度方向的中心位置，弹性层的两端各自粘接一对永磁体，永磁体材料在外磁场的作用下产生扭矩，并对压电材料产生压应力的作用，压电材料产生电信号输出，继而实现对外界直流磁场、交流磁场的传感。本发明的磁场传感器，相比于常见的磁电传感器，无需偏置磁场，驱动简单，能耗低，基于磁扭电的悬臂梁结构也大大提高了传感器的使用寿命。
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公开(公告)号：CN111554805A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010323998.4
申请日：2020-04-22
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种实现可见光调控界面磁性的方法及结构，包括以下步骤：步骤1，依次采用去离子水，丙酮，乙醇或异丙醇清洗绝缘柔性衬底；步骤2，风干绝缘柔性衬底；步骤3，在绝缘柔性衬底上沉积金属磁性薄膜；步骤4，在金属磁性薄膜上沉积光敏层；步骤5，在光敏层上沉积金属电极。本发明使用柔性材料作为基底，可以避免传统硅基底的不可弯折性，利用光敏层产生的光生载流子实现对界面磁性的调控，并且这种柔性衬底厚度较低，大大降低了器件尺寸和功耗，提高器件的柔性化、集成度和可穿戴性。
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