-
公开(公告)号：CN1971836A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610171931.3
申请日：2006-11-02
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/26 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明描述了在诸如SEM或TEM这些粒子透镜中用来校正色差的校正器。为了降低对这种校正器的电源稳定性的要求，粒子射束通过该校正器所具有的能量低于粒子射束通过被校正的透镜所具有的能量。
-
公开(公告)号：CN1658331A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200510051944.2
申请日：2005-02-16
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/26
Abstract: 本发明揭示了一种能够进行能量选择的粒子源。能量选择是通过使带电粒子束(13)偏心通过透镜(6)。由于这种方式，在经透镜(6)所形成的像15内出现能量扩散。通过将像(15)投射到光阑(7)上，可仅允许能谱内有限部分的粒子通过。因此，通过的射束(16)具有减小的能够分布。通过增设偏转单元(10)，该粒子束(16)能够向光轴偏转。还可选择向光轴偏转通过透镜(6)中央的(例如具有较大射束电流的)射束(12)。
-
公开(公告)号：CN119338682A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202410971710.2
申请日：2024-07-19
Applicant: FEI 公司
IPC: G06T3/4076 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/305
Abstract: 伸长的或其他非圆形带电粒子束(CPB)用于产生衬底图像，该衬底图像可以例如通过去卷积来处理以产生最终图像。在一些情况下，与沿着平行轴线对准的不对称CPB束相关联的第一图像和第二图像被去卷积并且然后被组合以产生最终图像，或者被组合并且然后去卷积以产生最终图像。可通过相对于CPB扫描或处理方向对准不对称CPB来执行铣削或其他处理。
-
公开(公告)号：CN115881499A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211197555.0
申请日：2022-09-29
Applicant: FEI 公司
Inventor： A·穆罕默德-盖达里 , P·C·蒂梅耶 , A·亨斯特拉 , T·拉德里卡
IPC: H01J37/145 , H01J37/28
Abstract: 用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块。根据本公开的一种用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块包含：结构，所述结构定位在电子源的下游；以及电子透镜组合件，所述电子透镜组合件定位在所述结构与所述电子源之间。所述结构产生减速电场，并且被定位成防止电子沿着所述电子透镜组合件的光轴穿过。所述电子光学模块进一步包含微透镜，所述微透镜不定位在所述电子透镜组合件的所述光轴上并且被配置成向离轴电子束施加透镜效应。由所述微透镜和所述电子透镜组合件施加到所述离轴电子束的像差组合，使得所述离轴束的彗差在下游平面中具有期望值。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108538693B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN201810174345.7
申请日：2018-03-02
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26
Abstract: 一种操作带电粒子显微镜的方法，包括以下步骤：‑在样品夹上设置样品；‑使用源来产生带电粒子束；‑将所述光束通过照明器，照明器包括：源透镜，其具有相关的粒子光轴；聚光镜光圈，其设置在源透镜和样品之间并且被配置为限定所述光束在样品上的覆盖区；‑采用从照明器出射的光束照射样品；‑使用探测器检测响应于所述照射而从样品发出的辐射，并且产生相关的图像；尤其包括如下步骤：‑从所述源中选择一组发射角；‑对于所述组中的每个发射角，选择以该发射角从源发射的对应子光束，并且存储由该子光束形成的测试图像，从而收集对应于该组发射角的一组测试图像；‑分析该组测试图像以评估在所述聚光镜光圈之前生成的照明器像差。
-
公开(公告)号：CN115144420A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210317942.7
申请日：2022-03-29
Applicant: FEI 公司
IPC: G01N23/20058
Abstract: 采集三维电子衍射数据的方法和系统。晶状样品的晶体学信息可以从基于从多个晶体收集的衍射图案生成的一个或多个三维衍射图案数据集确定。可以基于样品图像来选择用于衍射图案采集的晶体。在每个选定晶体的位置处，通过使电子束倾斜来采集不同入射角下的晶体的多个衍射图案，其中当电子束导向选定晶体时样品不旋转。
-
公开(公告)号：CN114695037A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202111647066.6
申请日：2021-12-30
Applicant: FEI 公司
Abstract: 公开了用于减少显微镜系统的光学元件中的热磁场噪声的产生的系统。根据本公开的具有减少的约翰逊噪声产生的实例显微镜光学元件包括由电绝缘材料构成的内芯和由导电材料构成的外涂层。所述外涂层的厚度与电导率的乘积小于0.01Ω‑1。所述外涂层致使由所述光学元件产生的约翰逊噪声减少多于2×、3×或一个数量级或更大。在特定实例实施例中，所述光学元件是具有减少的约翰逊噪声产生的校正器系统。这种校正器系统包括外磁多极和内静电多极。所述内部静电多极包括由电绝缘材料构成的内芯和由导电材料构成的外涂层。
-
公开(公告)号：CN102064074B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201010550058.5
申请日：2010-11-18
Applicant: FEI公司
Inventor： A·亨斯特拉
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/26 , H01J2237/1534 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及用于粒子光学透镜的轴向像差的校正器。市售高分辨率透射电子显微镜（HR-TEM）和扫描透射电子显微镜（HR-STEM）现在装配有用于校正所谓的物镜的轴向球面像差Cs的校正器。不可避免地，其它像差变成限制性的像差。对于也称为Rose校正器的六极型校正器或其变体而言，由校正器引入的也称为A5的六重轴向像散和也称为D6的第六阶三叶像差被已知变成限制性的像差。本发明表明，通过在六极之间的交叉点上添加弱六极（126），可以制成无A5或D6的类似于Rose的校正器或类似于Crewe的校正器，或者通过添加弱六极和十二极两者，可以制成无A5和D6两者的校正器。
-
公开(公告)号：CN101593658B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200910145359.7
申请日：2009-05-26
Applicant: FEI公司
Inventor： A·亨斯特拉
IPC: H01J37/04 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/05 , H01J3/027 , H01J3/04 , H01J37/063 , H01J2237/045 , H01J2237/057 , H01J2237/061 , H01J2237/08 , H01J2237/15 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明的名称为具有集成能量过滤器的带电粒子源，描述发生能量选择的粒子源。能量选择通过偏心地发送带电粒子束穿过透镜发生。这样做的结果是，在透镜形成的图像中将发生能量色散。通过将此图像投射到能量选择光阑中的狭缝上，可以只让有限的能量谱部分中的粒子穿过。因此，穿过的束将具有减少的能量分散。偏转单元将束偏转到光轴。也可以选择偏转经过透镜中间去向光轴并且具有如更大电流的束。能量色散点由偏转器在狭缝上成像。在狭缝上定位能量色散点时，中央束偏离轴到被能量选择光阑阻止的程度。由此避免了在光阑后的区域由此束导致的反射和污染。此外，还避免了中央束的电子与偏转器区域中的能量过滤束交互作用所导致的电子-电子相互作用。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
29
records
(took 0.018 seconds)
