太赫兹扫描系统及扫描方法

    公开(公告)号:CN105891144A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201610194558.7

    申请日:2016-03-31

    CPC classification number: G01N21/3586 G01N2201/10

    Abstract: 本发明提供了一种太赫兹扫描系统以及扫描方法,该扫描系统包括重频锁定且可调飞秒激光器、重复频率调谐部、分束部、太赫兹脉冲产生部、太赫兹脉冲收集部、脉冲空间偏移发生部、参考激光脉冲传输方向改变部、合束部、聚焦部、光电探测部以及处理部。其中,重复频率调谐部包括信号发生单元、触发单元以及调谐单元,信号发生单元输出固有频率电信号,触发单元将该固有频率电信号作为触发信号并将该触发信号输送给飞秒激光器,调谐单元依据飞秒激光器的反馈信号连续改变腔长,实现重复频率的调谐。而后,重频锁定且可调飞秒激光器将调谐好的重复频率进行锁定。

    用于发光显微成像的双向扫描

    公开(公告)号:CN104641222A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201380028512.2

    申请日:2013-05-28

    Abstract: 以一种形式公开了一种用于发光显微成像的双向扫描方法。利用探询宽视场相对于第一方向执行一系列连续扫描并且识别目标。确定所述目标在第一方向上的精确位置。在所述目标在所述第一方向上的精确位置或其附近处利用所述探询宽视场相对于第二方向执行至少一次扫描。该双向扫描方法产生目标的“即时”(即,当场或即兴)精确定位。所述实施方式开辟了无背景或背景降低的发光显微成像的新应用,例如,以相对快的更高速度或更有效方式的时间选通或时间分辨的发光显微成像。

    使用反射及透射图来检测光罩劣化

    公开(公告)号:CN104303048A

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201380025799.3

    申请日:2013-03-07

    Abstract: 在检验期间使用光学光罩检验工具来针对每一局部区域获得对应于从光罩的每一局部区域的多个子区域反射的光的多个反射强度值的平均值。还在所述检验期间使用所述光学光罩检验工具来针对每一局部区域获得对应于透射通过所述光罩的每一局部区域的所述子区域的光的多个透射强度值的平均值。通过针对每一局部区域组合多个反射强度值的所述平均值与多个透射强度值的所述平均值而产生组合强度分布图,使得:如果光罩尚未劣化,那么从所述组合强度分布图消除所述光罩的光罩图案;且如果所述光罩已劣化,那么不从所述组合强度分布图消除所述光罩的所述光罩图案。

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