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公开(公告)号：CN104067368B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280067960.9
申请日：2012-12-03
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/20214 , H01J2237/2802
摘要： 本发明的目的是提供一种能够配置多个试样台且至少一个试样台能够移动，并且能够利用聚焦离子束装置制作多个透射型电子显微镜用试样的电子显微镜用试样支架。在试样支架(1)的前端部设有支架前端开口部(9)。并且，在试样支架(1)的后端部具有按钮(5)、旋转机构(6)、粗调机构(7)以及连接器(8)。通过按压按钮(5)而使旋转机构(6)的固定被解除，从而从旋转机构(6)至后端部、以及试样支架的前端部进行旋转。利用本旋转机构，能够使利用透射型电子显微镜进行观察的情况和利用聚焦离子束装置制作透射型电子显微镜用试样的情况的试样的配置进行旋转。并且，能够利用粗调机构(7)及微调机构使试样台移动。
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公开(公告)号：CN105405734A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510554068.9
申请日：2015-09-02
申请人： FEI公司
CPC分类号： H01J37/226 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/057 , H01J2237/15 , H01J2237/2007 , H01J2237/24485 , H01J2237/24585 , H01J2237/2802
摘要： 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：-样本夹持器，用于夹持样本；-源，用于产生带电粒子的射束；-照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；-成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：-使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；-在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；-使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；-使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。
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公开(公告)号：CN104733271A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410785676.6
申请日：2014-12-18
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/295 , H01J2237/12 , H01J2237/14 , H01J2237/226 , H01J2237/24507 , H01J2237/2614 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806
摘要： 本发明公开了调查带电粒子射束的波阵面的方法。调查从源通过发光器被引导以便穿过样本平面并且降落到检测器上的带电粒子射束的波阵面的方法，检测器的输出与数学重建技术结合使用以便在沿着到检测器的波阵面路径的预先定义的位置处针对波阵面计算相位信息和振幅信息中的至少一个，在该方法中：-使所述射束穿过设置在所述样本平面和所述检测器之间的粒子光学透镜系统；-在从所述源到所述检测器的路径中的所选择位置处，调制器用于局部地产生波阵面的给定调制；-在一系列测量阶段中，采用不同的此类调制，并且在所述数学重建中共同地使用相关联的检测器输出。
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公开(公告)号：CN103703537A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201280035812.9
申请日：2012-07-19
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/263 , G01N23/2206 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/221 , H01J2237/225 , H01J2237/226 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802
摘要： 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。
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公开(公告)号：CN103065917A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210399492.7
申请日：2012-10-19
申请人： FEI公司
CPC分类号： H01J37/22 , G01N23/20 , H01J37/153 , H01J37/20 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J2237/216 , H01J2237/221 , H01J2237/2802
摘要： 本发明涉及用于调整配备有像差校正器的STEM的方法。本发明涉及一种用于使用晶体样品调整STEM中的Cs校正器的方法。该方法包括记录离焦系列，将所获得的图像转换到傅立叶空间，因此形成如同衍射图像的图像集合。通过随后确定傅立叶图像的对称，可以对校正器进行调谐以获得更好的对称，并且通过确定斑点距中心的最大距离，可以确定转移极限。通过重复地执行这些步骤，可以将校正器调谐到其最优性能。
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公开(公告)号：CN102971824A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201180034572.6
申请日：2011-07-14
申请人： FEI公司
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/1534 , H01J2237/24465 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802
摘要： 一种扫描共焦透射电子显微镜包括样品下方的退扫描偏转器和校正器。所述显微镜使用检测器，所述检测器优选地显著大于显微镜的分辨率，并且被放置在实像平面中，这提供了改进的对比度，特别是对于轻元素。
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公开(公告)号：CN102262997A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201110122317.9
申请日：2011-05-12
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01N23/04 , G01N23/22
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/057 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804
摘要： 本发明涉及同时电子检测。本发明提供用以检测穿过样品的电子的多个检测器。所述检测器优选地在电子穿过棱镜之后检测所述电子，其中所述棱镜根据电子的能量分离电子。随后由不同检测器检测处于不同能量范围内的电子，其中优选地至少其中一个检测器测量所述电子在穿过样品时所损失的能量。本发明的一个实施例提供对于核心损失电子的EELS，而且同时提供来自低损失电子的亮视场STEM信号。
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公开(公告)号：CN109256312A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201810762251.1
申请日：2018-07-12
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC分类号： H01J37/20 , G01N1/286 , H01J37/28 , H01J37/3053 , H01J37/3056 , H01J37/31 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , G01N1/28
摘要： 本发明涉及原位制备用于电子显微镜研究的显微镜样本的方法。所述方法借助粒子束设备实施，所述粒子束设备包括用于产生聚焦的带电粒子束的粒子束柱；用于承接样本块的样本支座和用于探测粒子束与样本材料之间相互作用的相互作用产物的探测器。所述方法包括步骤：a)提供具有裸露结构的样本块，所述裸露结构包括感兴趣的样本区域(ROI)；b)通过粒子束的作用在裸露结构中产生弯折棱边，从而使裸露结构的至少一部分朝向入射的粒子束变型；c)移动承接样本块的样本支座，使得包括在变型结构中的样本区域能够在粒子束设备中被观察和/或被加工。
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公开(公告)号：CN108140525A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201580083098.4
申请日：2015-09-29
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J2237/20207 , H01J2237/20235 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802
摘要： 本发明的目的涉及，在低加速电压下，高分辨率观察明视野STEM、暗视野像STEM以及EELS。本发明涉及具备电子能量损失谱仪(17)的透射扫描型电子显微镜，其中，通过变更试样相对于一次电子束的光轴方向的配置，从而控制STEM检测器(11、13)以及电子能量损失谱仪(17)的捕获角。根据本发明，能够抑制伴随着捕获角的控制的色差的产生，且能够容易地控制最适于明视野STEM、暗视野STEM以及EELS的每一个的散射角度。
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公开(公告)号：CN105405734B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201510554068.9
申请日：2015-09-02
CPC分类号： H01J37/226 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/057 , H01J2237/15 , H01J2237/2007 , H01J2237/24485 , H01J2237/24585 , H01J2237/2802
摘要： 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：‑样本夹持器，用于夹持样本；‑源，用于产生带电粒子的射束；‑照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；‑成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：‑使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；‑在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；‑使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；‑使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。
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