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公开(公告)号：CN106061924A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580011169.X
申请日：2015-03-05
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B37/02 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/6831 , C04B37/025 , C04B37/026 , C04B2237/121 , C04B2237/343 , C04B2237/405 , C04B2237/55 , C04B2237/597 , C04B2237/60 , C04B2237/68 , C04B2237/704 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , C04B2237/86 , H01L21/67098 , H01L21/67103 , H01L21/68757 , H01L21/68792
Abstract: 在工序(a)中，将包含热膨胀系数大于陶瓷基体(12)的金属的钎料(56)、热膨胀系数比钎料(56)小的多孔体(54)以及供电端子(40)，按照供电端子(40)的接合面(43)与陶瓷基体(12)的接合面(13)对置的方式配置于接合面上(13)。在工序(b)中，使钎料(56)熔融，使钎料(56)渗透到多孔体(54)的气孔内而形成包含钎料(56)和多孔体(54)的接合层，介由接合层将陶瓷基体(12)的接合面(13)与供电端子(40)的接合面(43)进行接合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106007683A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610178014.1
申请日：2016-03-25
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/111 , C04B35/632 , C04B41/88
CPC classification number: B32B18/00 , C04B35/111 , C04B35/62625 , C04B35/62675 , C04B35/62685 , C04B35/634 , C04B35/638 , C04B2103/408 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/6023 , C04B2235/72 , C04B2235/77 , C04B2235/784 , C04B2235/786 , C04B2235/96 , C04B2237/343 , C04B35/632 , C04B41/009 , C04B41/5177 , C04B41/88 , C04B2235/3208 , C04B2235/5436 , C04B41/5133
Abstract: 本发明提供一种氧化铝烧结体的制法以及氧化铝烧结体。该制法包含：(a)获得成形体的工序，将包含Al2O3粉末、MgO粉末、MgF2粉末、溶剂、分散剂以及凝胶化剂的浆料投入成形模具中，在成形模具内使凝胶化剂进行化学反应而使浆料凝胶化，然后脱模，获得成形体，(b)获得预烧体的工序，将该成形体干燥后脱脂，并预烧，获得预烧体，(c)获得陶瓷烧结体的工序，对预烧体在1150～1350℃热压煅烧，获得陶瓷烧结体。在工序(a)中，在调制浆料时，作为Al2O3粉末使用纯度为99.9质量％以上的Al2O3粉末，相对于Al2O3粉末100质量份使用0.1～0.2质量份的MgO粉末、0.13质量份以下的MgF2粉末。
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公开(公告)号：CN102738054B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201210088464.3
申请日：2012-03-29
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683 , C04B35/622 , C04B37/00
CPC classification number: C04B35/645 , B32B18/00 , C04B35/111 , C04B35/581 , C04B35/6264 , C04B35/63456 , C04B35/63488 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3224 , C04B2235/3232 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/6023 , C04B2235/661 , C04B2235/784 , C04B2235/785 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , C04B2235/85 , C04B2235/9638 , C04B2237/343 , C04B2237/366 , H01L21/6833 , Y10T279/23
Abstract: 本发明提供静电卡盘的制法和静电卡盘。本发明的课题是将介电层的厚度的偏差抑制在低程度。本发明的静电卡盘的制法包含：(a)在成型模具中投入包含陶瓷粉体、溶剂、分散剂和胶凝剂的陶瓷料浆，在该成型模具内使胶凝剂发生化学反应而使浆料凝胶化后进行脱模，从而得到第1和第2陶瓷成型体的工序；(b)将第1和第2陶瓷成型体干燥后进行脱脂，进一步进行煅烧，从而得到第1和第2陶瓷煅烧体的工序；(c)在第1和第2陶瓷煅烧体的任一方的表面印刷静电电极用糊而形成静电电极的工序；以及(d)在以夹入静电电极的方式使第1和第2陶瓷煅烧体重叠的状态下进行热压烧成的工序。
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公开(公告)号：CN100474553C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200710089472.9
申请日：2007-03-23
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683 , C04B35/581
CPC classification number: C04B35/581 , C04B2235/3222 , C04B2235/3232 , C04B2235/3895 , C04B2235/6565 , C04B2235/78 , C04B2235/85 , H01L21/6833
Abstract: 对于在含有钐-铝氧化物相的陶瓷基体中设置埋设电极的静电卡盘，本发明提供了使电阻率稳定、高度兼顾吸附特性和解吸性特性的静电卡盘及其制作方法。静电卡盘(1)具有由含钐的氮化铝烧结体构成的基体和在该基体中埋设的含钼电极(17)，在所述基体(3)中的从电极(17)到基体表面(7)的部分形成电介质层(21)，在吸附和载置被处理物的衬底载置面上构成所述基体表面(7)，其特征是，所述电极(17)的附近的基体部分中的钐-铝氧化物相的含有率以面积比计设定在2.5%以下。
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公开(公告)号：CN101131955A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710146598.5
申请日：2007-08-22
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6831 , Y10T279/23
Abstract: 本发明提供吸附特性、热均匀性和耐绝缘破坏性优良的带加热器的静电吸盘。带加热器的静电吸盘(1)具备由包含氧化铝的烧结体做成的基体(2)、在基体中的上侧设置的ESC电极(3)、埋在基体中的下侧而设置的电阻发热体(4)，基体由从ESC电极到基体的上表面(2a)的电介质层(21)、从ESC电极到基体的下表面(2b)的支撑部件(22)构成。支撑部件在与电介质层相接的ESC电极附近区域(22a)和比该ESC电极附近区域(22a)更下方的下方区域(22b)的碳含量不同，电介质层中的碳含量在100wtppm以下，ESC电极附近区域的碳含量在0.13wt％以下，下方区域的碳含量在0.03wt％以上，并且，该ESC电极附近区域的碳含量比下方区域的碳含量更小。电阻发热体(4)含有铌或铂。
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公开(公告)号：CN101043016A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710089472.9
申请日：2007-03-23
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683 , C04B35/581
CPC classification number: C04B35/581 , C04B2235/3222 , C04B2235/3232 , C04B2235/3895 , C04B2235/6565 , C04B2235/78 , C04B2235/85 , H01L21/6833
Abstract: 对于在含有钐－铝氧化物相的陶瓷基体中设置埋设电极的静电卡盘，本发明提供了使电阻率稳定、高度兼顾吸附特性和解吸性特性的静电卡盘及其制作方法。静电卡盘(1)具有由含钐的氮化铝烧结体构成的基体和在该基体中埋设的含钼电极(17)，在所述基体(3)中的从电极(17)到基体表面(7)的部分形成电介质层(21)，在吸附和载置被处理物的衬底载置面上构成所述基体表面(7)，其特征是，所述电极(17)的附近的基体部分中的钐－铝氧化物相的含有率以面积比计设定在2.5％以下。
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