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公开(公告)号：CN100489148C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN03819910.6
申请日：2003-07-08
申请人： 泰克玛西纳股份有限公司
CPC分类号： H01J37/3435
摘要： 本发明涉及一种用于真空溅射处理机的阴极，包括一个安装在一个支座(3)上的靶板(2)，支座(3)作为冷却器，其特征在于，支座(3)与一个框架(5)连接，框架(5)限定一个用于靶(2)的定位和对中的封闭空间(6)，所述框架(5)在周边具有一个成型的卡合边缘(5d)，卡合边缘能够与一组具有互补卡合形状(8a)的独立夹持件(8)配合，卡合形状(8a)允许所述零件(8)具有一个倾斜作用，该倾斜作用由施加在部件(9)上的锁紧动作引起，部件(9)接合在零件的壁厚中，并贴靠框架(5)的一部分卡合边缘，使得该组夹持件(8)的一部分卡合形状在倾斜作用下以表面贴靠在靶(2)的周边上，以固定靶。
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公开(公告)号：CN101395295A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200780007554.2
申请日：2007-02-14
申请人： GFE弗赖麦特有限公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： C23C14/3407 , H01J37/3423 , H01J37/3435 , H01J37/3491 , Y10T428/1317
摘要： 本发明涉及一种靶子布置，其包括管状承载部件和具有至少一种靶材的空心圆柱靶子，所述靶子包括至少一个一体形成且至少部分地包围所述承载部件的管状段。所述承载部件和所述管状段通过至少两个塑性可变形补偿装置以材料适配性局部地相互连接。本发明还涉及用于制造这种靶子布置的方法以及管状段。
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公开(公告)号：CN101248207A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200680022487.7
申请日：2006-06-13
申请人： W.C.贺利氏有限公司
CPC分类号： C09J9/02 , C08L63/00 , C09J11/04 , C23C14/3407 , H01J37/3435 , H05K3/321 , Y10T442/2738
摘要： 本发明涉及一种尤其用于粘合导电性材料的粘合剂，该粘合剂包含填料和至少一种粘合剂组分。所述填料包含纤维或纤维－粉末混合物，所述纤维和/或粉末是由导电性材料制成的。本发明还涉及一种具有粘合剂的组件，所述组件包含溅射靶材和载体材料。
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公开(公告)号：CN101213319A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200680024290.7
申请日：2006-05-02
申请人： 霍尼韦尔国际公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： C23C14/3407 , H01J37/3423 , H01J37/3435 , H01J37/3497
摘要： 本发明包括具有冷却剂导流板的背板，其中各导流板的至少一部分是非线性的。从背板中凸出来的凸起部构造成能够插入到溅射靶的开口中。本发明包括具有至少一个开口的靶，所述开口接受穿过背面而延伸到靶中的紧固件。本发明包括一种靶组件，其具有从背板中凸出来并可插入到靶的开口中的凸起部。本发明包括一种具有设置在靶和背板之间的多个冷却剂导流板的靶组件。各导流板的一部分是非线性的。本发明包括冷却靶的方法。冷却剂导流板设置在靶和背板之间的间隔中，其中冷却剂导流板沿着其长度的至少一部分是非线性的。
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公开(公告)号：CN100396812C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN02825748.0
申请日：2002-11-14
申请人： 日矿金属株式会社
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3435 , C23C14/3407 , H01J37/3255 , H01J37/32559 , H01J37/3414 , H01J37/3426 , Y10T428/12465
摘要： 本发明提供一种将板厚度变化较小的磁性物质靶连接到背衬板的方法，其特征在于具有以下步骤：事先连接磁性物质靶和铝板，并保持平坦性，将连接到铝板的磁性物质靶连接到背衬板上，并保持平坦性，研磨除去铝板，从而可以保持磁性物质靶的平坦性，直到磁性物质靶通过一个相对简单的操作连接到背衬板上。
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公开(公告)号：CN101080508A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200580042924.7
申请日：2005-12-07
申请人： W.C.贺利氏有限公司
CPC分类号： C23C14/3414 , H01J37/3435
摘要： 本发明涉及一种具有圆柱形承载管和至少一个设置在其外表面上的靶管的管状靶，其中在所述靶管与所述承载管之间设置有连接层，本发明的特征在于，所述连接层是导电的，并且具有大于90％的润湿度。
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公开(公告)号：CN1908226A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200610106168.6
申请日：2006-07-20
申请人： 应用材料两合公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： C23C14/3407 , H01J37/3435
摘要： 本发明涉及一种带靶滑架和靶的阴极管。这里的靶可以是单件或多件靶。在靶的滑架和靶之间沿靶滑架的纵轴线设置有多个由导热材料制成的环型件。环型件由窄圆环相互分开。靶的至少一个端面上具有斜面，这样使靶易于在分离的环型元件上滑动。
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公开(公告)号：CN1712558A
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN200410057753.2
申请日：2004-08-16
申请人： 应用菲林股份有限两合公司
IPC分类号： C23C14/35
CPC分类号： C23C14/3407 , C23C14/35 , H01J37/3435 , H01J37/3497
摘要： 用于真空腔室里的涂覆的溅射阴极有至少整体的靶板，它装在金属隔膜上。在隔膜的背对靶板的那侧有冷却液通道，它具有冷却液输入管路和输出管路和用于至少一个磁系统的空腔。磁系统布置在相对隔膜密封的支承槽里并不受冷却液作用。整个组件布置在支承结构上。为了以简单、有效和经济的方式改善从靶板至冷却液的传热并避免冷却液进入真空腔室里，本发明规定：溅射阴极的支承结构具有中空体，它相对真空腔室的内腔被气密封闭而且它使围绕磁系统的空腔与在真空腔室外的大气连通；冷却液通道成具有至少一个平侧面且在横断面周边上是封闭的导管，该平侧面与隔膜导热连接；隔膜和导管的背离隔膜的表面通过支承结构承受在真空腔室外的大气压作用。
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公开(公告)号：CN1065572C
公开(公告)日：2001-05-09
申请号：CN96112886.0
申请日：1996-09-26
申请人： 莱博德材料有限公司
发明人： N·沃伦堡
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3435 , C23C14/3407
摘要： 在一个用于真空镀膜设备溅射阴极的靶上，具有一个用于将板形靶固定在阴极底板(9)上的、至少部分地围绕待溅射材料(19)的框架(3、4、5……7)，并具有一个设置在框架和阴极底板(9)之间的、由柔性的、但是导热性良好的材料制作的隔离薄膜或夹层(20)，如碳薄膜，其中，框架(3、4、5……7)具有为数很多的、自框架出发在一个与靶平面平行的平面上分别有一段伸入靶材料的、与框架固定相连的柱、舌或条形突出部(3a、3b……4a、4b……7a、7b……)。用于把靶材料(19)固定在被框架构件围绕的空隙(A、B、C)中。
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公开(公告)号：CN1058998C
公开(公告)日：2000-11-29
申请号：CN94118712.8
申请日：1994-11-21
申请人： 应用材料有限公司
发明人： 理查德·E·德马雷 , 曼纽尔·J·赫雷拉 , 大卫·E·伯特斯特莱塞
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/32458 , C23C14/3407 , C23C14/564 , F28F3/12 , H01J37/3411 , H01J37/3435 , H01J37/3497 , H01J2237/022
摘要： 靶组合件由靶材、靶支托板及盖板构成，它含有一整体式的冷却通道。在支托板或盖板上事先开有若干沟槽，再将之牢固粘合；冷却液接头又只布置在其周界处，从而消除了该液漏入并污染处理室及工件的危险。组合件的下方封住了处理室，上方封住了内放扫动磁铁的并抽成真空的顶室，由于该件两侧压强已大致相同，纵使其形大而薄(镀平板显示器时需用)，镀层仍能均匀，靶材利用率亦高，消除了因靶材弯沉或冷却不足而带来的不利影响。
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