图像感测装置及其形成方法

    公开(公告)号:CN102270647A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN201010504411.6

    申请日:2010-10-11

    IPC分类号: H01L27/146

    摘要: 本发明提供一种图像感测装置及其形成方法。该方法包含:提供一透镜;形成一第一牺牲单元于透镜之上;形成一电磁干扰层于透镜及第一牺牲单元之上;移除第一牺牲单元及部分形成于第一牺牲单元上的电磁干扰层,以形成一具有一开口的电磁干扰图案,开口露出该透镜的一选择部分;形成一第二牺牲单元于开口之内以覆盖透镜的选择部分的一中央区域,且仍露出透镜的选择部分的一周围区域;形成一遮光层于该电磁干扰图案、该第二牺牲单元、该透镜的选择部分的该周围区域之上;移除该第二牺牲单元及该第二牺牲单元之上的该遮光层,以露出该透镜的选择部分的该中央区域作为一透光区。本发明不会发生传统电磁干扰图案所产生的问题于图像感测装置的透光区。

    能够进行光刻处理的金属光学滤波器及包括该滤波器的图像传感器

    公开(公告)号:CN101887142A

    公开(公告)日:2010-11-17

    申请号:CN201010178236.6

    申请日:2010-05-11

    申请人: (株)赛丽康

    IPC分类号: G02B5/22 H01L27/146

    摘要: 公开了能够进行光刻处理的金属光学滤波器和包括该金属光学滤波器的图像传感器,更特别地,提供了能够进行光刻处理的金属光学滤波器和包括该金属光学滤波器的图像传感器,即使该金属光学滤波器具有较少数量的金属层也能够自由地调节其透射带及透射率,同时因为可以通过光刻处理实现纳米构图,所以该金属光学滤波器能够实际应用到CMOS处理中。能够进行光刻处理的金属光学滤波器包括:以相等的纳米间距相互平行地布置的多个金属棒;以及形成于所述多个金属棒之间以及所述多个金属棒的上表面和下表面上的绝缘材料;其中,所述金属棒形成为包括上部Ti层、Al层和下部TiN层。

    图像感测装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101853872A

    公开(公告)日:2010-10-06

    申请号:CN201010158451.X

    申请日:2010-03-31

    IPC分类号: H01L27/146

    摘要: 本发明提供一种图像感测装置及其制造方法。该图像感测装置包含一具有一前端及一背端的装置基材。装置基材具有一辐射感测区域,其可感测具有一相对应波长的辐射。图像传感器也包含一形成于装置基材的前端上的第一层。第一层具有一第一折射系数及一第一厚度,第一厚度为第一折射系数的函数。图像传感器具有一形成于第一层上的第二层。第二层不同于第一层并具有一第二折射系数及一第二厚度,第二厚度为第二折射系数的函数。本发明可以将像素对于辐射的吸收最佳化。

    光反射率受控的光电二极管元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1921152A

    公开(公告)日:2007-02-28

    申请号:CN200610115991.3

    申请日:2006-08-22

    摘要: 一种光电二极管元件(1),包括:至少一个光敏区域(3),制作在硅半导体衬底(2)中,用于接收光,具体地说相干光;以及钝化层和介电层(4)。所述钝化层由制作在所述光敏区域上的至少一个氧化硅第一层(5)和氮化物第二层(6)构成。制作的所述氮化物第二层具有在确定余量内的厚度,以便与所述第一层的厚度无关地位于具有最恒定的可能光反射率的范围内。为了获得由所述光电二极管元件感应的光的反射率百分比平均值,可以在与所述光敏区域的接收表面的一半对应的所述介电层(4)的一部分上或所述第一层(5)上进行蚀刻(7)。

    固态成像器件
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1551365A

    公开(公告)日:2004-12-01

    申请号:CN200410063197.X

    申请日:2004-05-08

    发明人: 神户秀夫

    IPC分类号: H01L27/146 H01L31/10

    摘要: 本发明公开了一种固态成像器件,它包括与象素相应的基底,基底上设有按以下顺序层叠的光接收部分:用于吸收红色波长范围的光的光电导层、用于吸收绿色波长范围的光的光电导层、以及用于吸收蓝色波长范围的光的光电导层。在每一光电导层之上设有透明电极层。设置在光电导层之上的透明电极层和设置在光电导层之下的透明电极层之间夹有用于反射绿色波长范围的光的半透明反射层。同样,设置在光电导层之上的透明电极层和设置在光电导层之下的透明电极层之间夹有用于反射蓝色波长范围的光的半透明反射层。通过这样的结构,能很好地提供获得较高的彩色分辨率和较好的感光性的光电导层叠型单片彩色固态成像器件。