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公开(公告)号：CN113994262A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202080044332.3
申请日：2020-06-29
申请人： 富士胶片株式会社
摘要： 本发明的课题在于提供一种分辨率及高速下的层压性优异的感光性转印部件、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法。感光性转印部件依次具有临时支承体、中间层及感光性树脂层，所述中间层具有热塑性树脂层，上述感光性树脂层的厚度小于5μm，并且上述临时支承体及上述中间层的合计厚度为35μm以下。
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公开(公告)号：CN113574044A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202080020807.5
申请日：2020-03-12
申请人： 日产化学株式会社
IPC分类号： C07C43/23 , C07C69/767 , C08G8/20 , C08G59/04 , C08L101/00 , G03F7/11 , G03F7/20 , G03F7/26 , H01L21/027
摘要： 提供一种组合物，是用于形成不溶于抗蚀剂溶剂、光学常数良好、蚀刻速率高的抗蚀剂下层膜的组合物，其对高低差基板的埋入性和平坦化性优异。包含(A)下述式(I)所示的交联性化合物、和(D)溶剂的抗蚀剂下层膜形成用组合物。[在式(I)中，m为1～30的整数，T为单键、饱和烃基、芳香族基、或不饱和环状烃基，G1、G2、G3、G4、G5和G6各自独立地为(i)或(ii)，n各自独立地为1～8的整数，n个R各自独立地为氢原子、脂肪族烃基、或脂环式烃基，A各自独立地为可以被亚烷基中断的芳基，Z1、Z2、Z3、Z4、Z5、Z6各自独立地表示烷基、芳基、羟基、环氧基或氢原子。]
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公开(公告)号：CN113365820A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080012316.6
申请日：2020-01-22
申请人： 三井化学株式会社
摘要： 一种在多层抗蚀剂工艺中使用的下层膜形成用材料，其满足：(i)由以下数学式(1)定义的元素构成比率Re为1.5～2.8，(ii)玻璃化转变温度为30～250℃，(iii)包含至少1种(优选为2种以上)具有特定结构单元的树脂。数学式(1)中，NH为下层膜形成用材料的固体成分中的氢原子的数目，NC为下层膜形成用材料的固体成分中的碳原子的数目，NO为下层膜形成用材料的固体成分中的氧原子的数目。
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公开(公告)号：CN113156768A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202010073058.4
申请日：2020-01-22
申请人： 盛合晶微半导体(江阴)有限公司
摘要： 本发明提供一种涂胶曝光显影测量一体化装置及基于该装置的涂胶曝光显影测量方法，所述涂胶曝光显影测量一体化装置包括：主腔体，包括涂胶室、曝光室、显影室、测量室；所述涂胶室用于执行涂胶工序，所述曝光室用于执行曝光工序，所述显影室用于执行显影工序，所述测量室用于测量关键尺寸；晶圆卸载台，用于放置加工完成的晶圆，位于所述主腔体的出口处；机械手臂，用于晶圆的夹取与传送；控制单元，控制所述涂胶曝光显影测量一体化装置的运行。本实施例提供的涂胶曝光显影测量一体化装置及基于该装置的涂胶曝光显影测量方法，使曝光机能够和涂胶机、显影机两种有污染气体的设备，有效的结合在一起，提供高效的产出，节约净化厂房空间布局，人力投入，使生产成本大幅降低。
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公开(公告)号：CN109073984B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201780021439.4
申请日：2017-02-17
申请人： 东京毅力科创株式会社 , 国立大学法人大阪大学
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/26 , G03F7/16 , H01L21/027
摘要： 描述了用于PS‑CAR光致抗蚀剂模拟的方法和系统。在一个实施方案中，方法包括通过模拟确定使用辐射敏感材料的光刻工艺的至少一个工艺参数。在这样的实施方案中，辐射敏感材料包括：第一光波长活化阈值，其控制在辐射敏感材料中产生酸至第一酸浓度并控制在辐射敏感材料中光敏剂分子的产生；和第二光波长活化阈值，其可以激发辐射敏感材料中的光敏剂分子，这导致酸包含大于第一酸浓度的第二酸浓度，第二光波长不同于第一光波长。在这样的实施方案中，所述方法还包括使用先前确定的至少一个工艺参数进行光刻处理。
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公开(公告)号：CN113039177A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201980075418.X
申请日：2019-11-21
申请人： 三菱瓦斯化学株式会社
摘要： 本发明提供一种光刻用膜形成材料，其包含：具有式(0A)的基团和式(0B)的基团的化合物(式(0B)中，R各自独立地选自由氢原子和碳数1～4的烷基组成的组。其中，至少一个R为碳数1～4的烷基。)。
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公开(公告)号：CN112512811A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201980043892.4
申请日：2019-04-23
申请人： 赛康印前公众有限公司
发明人： 巴尔特·瓦特恩
摘要： 一种用于处理凸版板前体的装置(1000)，优选地，装置(1000)使用液体处理凸版板前体，凸版板前体例如是印刷版前体(P)，装置(1000)包括：输送系统(210、220、230)，其具有至少一个输送杆(100)，优选地，具有至少两个输送杆(100)；板联接工位(300)，其配置为将凸版板前体联接至输送杆；处理室(400)，其配置为用于处理凸版板前体；板分离工位(500)，其配置为使处理后的凸版板前体与输送杆分离；其中，输送系统配置为在每个输送杆于板联接工位中联接至凸版板前体之后，自动地将每个输送杆从板联接工位穿过处理工位移动至板分离工位，并且在每个输送杆与处理后的凸版板前体分离之后，使每个输送杆从板分离工位返回至板联接工位，从而使输送杆以闭环方式移动通过装置。
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公开(公告)号：CN109153884B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201780030268.1
申请日：2017-05-19
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： G03F7/11 , G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/3065 , C09D201/00 , C09D5/25 , C09D7/63
摘要： 一种含金属膜形成用组合物，其包含：化合物(A)，上述化合物(A)为选自由具有包含伯氮原子和仲氮原子中的至少1个的阳离子性官能团的化合物(a1)、以及上述化合物(a1)以外的具有氮原子的化合物(a2)所组成的组中的至少1种；以及化合物(B)，上述化合物(B)为选自由具有锗原子、锡原子、硒原子和锆原子中的至少1个与羧基的化合物(b1)、以及上述化合物(b1)的酯所组成的组中的至少1种。
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公开(公告)号：CN112440549A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201910828708.9
申请日：2019-09-03
申请人： 仓和精密制造(苏州)有限公司 , 仓和股份有限公司
摘要： 一种减少复合边漏墨的复合材质网版及其制作方法，包括：一网框；一复合网，包括一刮刀面与一贴印面，且所述复合网包括：一第一材质网，固定于所述网框上，且所述第一材质网上包括一预定结合区；以及一第二材质网，通过一膜层与所述第一材质网结合，所述第一材质网与所述第二材质网结合之处形成一复合边，且所述第二材质网上包括一图形区图案；以及一防漏层，结合在所述复合网的所述贴印面上并结合至所述预定结合区，以通过所述防漏层包覆住所述复合边，且所述防漏层上对应所述图形区图案的位置处包括对应所述图形区图案的一图案。本发明的方案使浆料/印刷油墨在网版印刷时不会从两种材质网布的结合处溢出。
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公开(公告)号：CN109641444B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201780047415.6
申请日：2017-07-26
申请人： 麦克德米德图像方案股份有限公司
摘要： 本发明在此提供一种使用连续液态中间相来制造柔版印刷版的方法。相较于标准非连续技术，此方法可显著缩短制造时间且有较少的制备步骤，并且比典型制备柔版印刷版的方法生成较少的废料。该使用连续液态中间相制法制造的印刷版得到一种具有所希望的弹性伸长率、所希望的硬度、0.030英寸至0.250英寸范围的版厚度，且包含具有所希望的特征的印刷网点的印刷版。
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