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公开(公告)号：CN109153884A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780030268.1
申请日：2017-05-19
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： C09D201/00 , C09D5/25 , C09D7/63 , G03F7/11 , G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/3065
摘要： 一种含金属膜形成用组合物，其包含：化合物(A)，上述化合物(A)为选自由具有包含伯氮原子和仲氮原子中的至少1个的阳离子性官能团的化合物(a1)、以及上述化合物(a1)以外的具有氮原子的化合物(a2)所组成的组中的至少1种；以及化合物(B)，上述化合物(B)为选自由具有锗原子、锡原子、硒原子和锆原子中的至少1个与羧基的化合物(b1)、以及上述化合物(b1)的酯所组成的组中的至少1种。
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公开(公告)号：CN107004599A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580065169.8
申请日：2015-12-14
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： H01L21/3205 , C01B33/12 , H01L21/312 , H01L21/768 , H01L23/14 , H01L23/522 , H01L23/532
摘要： 本发明提供一种基板中间体，其具备：在厚度方向具有配置导电体的孔的基板，以及在所述孔的壁面形成的密合层，所述密合层包含具有阳离子性官能团且重均分子量为2000以上1000000以下的聚合物(A)、与1分子中具有2个以上羧基的多元羧酸化合物(B)或其衍生物的反应物。
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公开(公告)号：CN103081076A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201180040488.5
申请日：2011-09-08
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： H01L21/312 , C09K3/10 , H01L21/304 , H01L21/308 , H01L21/768 , H01L23/522
CPC分类号： H01L21/02334 , C09K3/1006 , C09K2200/0645 , H01L21/02063 , H01L21/02087 , H01L21/0209 , H01L21/02203 , H01L21/3105 , H01L21/76826 , H01L21/76831 , H01L23/5329 , H01L23/53295 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种半导体装置的制造方法及该制造方法中使用的冲洗液，上述半导体装置的制造方法依次包括以下工序：密封组合物赋予工序，对半导体基板的表面的至少一部分赋予半导体用密封组合物而形成半导体用密封层，上述半导体用密封组合物含有具有阳离子性官能团且重均分子量为2000～600000的树脂，并且钠及钾的含量分别以元素基准计为10质量ppb以下；以及洗涤工序，利用25℃时的pH值为6以下的冲洗液，将半导体基板的形成有上述半导体用密封层的面进行洗涤。
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公开(公告)号：CN101080316A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200580043241.3
申请日：2005-11-11
CPC分类号： C12N5/0068 , C12N11/00 , C12N2533/40 , Y10T428/1352 , Y10T428/265
摘要： 本发明涉及在支持体上形成由氢键结合的多层膜，并且在该多层膜上进一步形成有薄膜的层叠体；由上述层叠体制得的自支持薄膜；通过在含有要层叠物质的二种以上溶液中交替接触支持体来形成多层膜，并且由选自蒸镀法、旋涂法和交替吸附法的方法来形成薄膜的上述层叠体的制造方法；通过在调节了pH值的水溶液中浸渍上述层叠体，来溶出多层膜，从支持体上剥离薄膜的自支持薄膜的制造方法；由上述层叠体制得的细胞培养用薄膜和缓释性药用胶囊；以及由上述薄膜获得的感应器、分离膜、催化反应用设备和透过型测定用试样薄片。
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公开(公告)号：CN106537564B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201580038048.4
申请日：2015-08-05
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： H01L21/312 , H01L21/768 , H01L23/532
摘要： 本发明涉及一种密封组合物，其含有：具有阳离子性官能团且重均分子量为2000～1000000的聚合物(A)、以及苯并三唑化合物，所述聚合物(A)的含量相对于密封组合物100质量份为0.05质量份～0.20质量份，所述密封组合物中的所述苯并三唑化合物的含量为3质量ppm～200质量ppm，所述密封组合物的pH为3.0～6.5。
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公开(公告)号：CN105051872B
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201480017656.2
申请日：2014-03-11
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： H01L21/312 , C08G73/02 , C08K5/09 , C08L79/02 , H01L21/768
CPC分类号： H01L23/293 , C08G73/0206 , C08K5/0091 , C08L79/02 , C09J179/04 , H01L21/0206 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/56 , H01L23/528 , H01L23/53209 , H01L23/5329 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种复合体的制造方法，所述方法具有：组合物准备工序，准备含有具有阳离子性官能团且重均分子量为2000～1000000的聚合物的、pH为2.0～11.0的组合物；复合构件准备工序，准备具有构件A和构件B且满足上述构件B的表面的等电点＜上述组合物的pH＜上述构件A的表面的等电点的关系的复合构件，上述构件B的表面的等电点比上述构件A的表面的等电点低2.0以上且上述构件B的表面的等电点为1.0～7.5；以及赋予工序，对上述复合构件的上述构件A的上述表面和上述构件B的上述表面赋予上述组合物。
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公开(公告)号：CN102224577B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201080003315.1
申请日：2010-05-28
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： H01L21/312 , C09K3/10 , H01L21/768 , H01L23/522
CPC分类号： H01L21/76829 , H01L21/02343 , H01L21/02362 , H01L21/3105 , H01L21/76831 , H01L2924/0002 , Y10T428/1073 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种半导体用密封组合物，其可形成薄的树脂层，且可抑制金属成分向多孔的层间绝缘层中扩散，并且配线材料的密接性优异。本发明的半导体用密封组合物是以如下方式而构成：使钠及钾的含量以元素基准计分别为10重量ppb以下的半导体用密封组合物中，含有具有2个以上的阳离子性官能团的重均分子量为2000～100000的树脂，并且通过动态光散射法而测定的体积平均粒径达到10nm以下。
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公开(公告)号：CN102224577A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201080003315.1
申请日：2010-05-28
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： H01L21/312 , C09K3/10 , H01L21/768 , H01L23/522
CPC分类号： H01L21/76829 , H01L21/02343 , H01L21/02362 , H01L21/3105 , H01L21/76831 , H01L2924/0002 , Y10T428/1073 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种半导体用密封组合物，其可形成薄的树脂层，且可抑制金属成分向多孔的层间绝缘层中扩散，并且配线材料的密接性优异。本发明的半导体用密封组合物是以如下方式而构成：使钠及钾的含量以元素基准计分别为10重量ppb以下的半导体用密封组合物中，含有具有2个以上的阳离子性官能团的重均分子量为2000～100000的树脂，并且通过动态光散射法而测定的体积平均粒径达到10nm以下。
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公开(公告)号：CN108292604B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN201680066750.6
申请日：2016-11-16
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： H01L21/312 , C08K5/092 , C08L101/02
摘要： 一种用于生成半导体装置用膜的组合物，其包含：化合物(A)，具有包含伯氮原子和仲氮原子中至少一者的阳离子性官能团、且重均分子量为1万以上40万以下；交联剂(B)，在分子内具有3个以上‑C(＝O)OX基(X为氢原子或碳数1以上6以下的烷基)，3个以上‑C(＝O)OX基中，1个以上6个以下为‑C(＝O)OH基，所述交联剂(B)的重均分子量为200以上600以下；以及水(D)，所述化合物(A)为脂肪族胺。
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公开(公告)号：CN109153884B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201780030268.1
申请日：2017-05-19
申请人： 三井化学株式会社
IPC分类号： G03F7/11 , G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/3065 , C09D201/00 , C09D5/25 , C09D7/63
摘要： 一种含金属膜形成用组合物，其包含：化合物(A)，上述化合物(A)为选自由具有包含伯氮原子和仲氮原子中的至少1个的阳离子性官能团的化合物(a1)、以及上述化合物(a1)以外的具有氮原子的化合物(a2)所组成的组中的至少1种；以及化合物(B)，上述化合物(B)为选自由具有锗原子、锡原子、硒原子和锆原子中的至少1个与羧基的化合物(b1)、以及上述化合物(b1)的酯所组成的组中的至少1种。
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