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公开(公告)号：CN102273073B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN200980154141.6
申请日：2009-01-09
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/584 , H03H9/0095 , H03H9/542 , H03H9/60 , H03H9/706
Abstract: 滤波元件具有：相互级联连接的多个层叠滤波器(101、102)，各个层叠滤波器具有上下层叠的多个压电薄膜谐振器，各压电薄膜谐振器具有压电膜和上下夹着所述压电膜的一对第1电极；以及电容器(40)，其连接在多个层叠滤波器之中前级的层叠滤波器(101)的输入端子与多个层叠滤波器之中后级的层叠滤波器(102)的输入端子之间，所述前级和所述后级的层叠滤波器的输入端子所连接的所述压电薄膜谐振器(10a)和(20b)的激振方向相互反转。
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公开(公告)号：CN101841313B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200910261058.0
申请日：2009-12-17
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/605 , H03H9/706 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 本发明公开了压电薄膜谐振器、滤波器、通信模块和通信装置。该压电薄膜谐振器包括衬底、在衬底上设置的下电极、在下电极上设置的压电膜、以及在压电膜上设置的上电极。上电极的至少一部分和下电极的至少一部分通过压电膜彼此相对，并且上电极的外围的至少一部分是逆锥形的。
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公开(公告)号：CN102957397A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210298819.1
申请日：2012-08-21
Applicant: 太阳诱电株式会社
Inventor： 横山刚
CPC classification number: H03H9/02015 , H01L41/187 , H03H9/173
Abstract: 本发明提供了声波器件。声波器件包括：基板；下电极，其位于基板上；压电膜，其位于下电极上，并且由c轴方向的晶格常数与a轴方向的晶格常数之比小于1.6的氮化铝制成；以及上电极，其位于压电膜上，并隔着压电膜面对下电极。
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公开(公告)号：CN1855711B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200610078162.2
申请日：2006-04-28
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H2003/0428 , H03H2003/0457
Abstract: 压电薄膜谐振器和具有其的滤波器。压电薄膜谐振器包括置于基板上的下电极、置于下电极上的压电薄膜，以及置于压电薄膜上的上电极。由其中上电极和下电极相互交叠以把压电薄膜夹在其间的区域来限定一隔膜区域，并且该隔膜区域具有椭圆形状，并且，下电极还被设置到其中未设有上电极的引出电极和下电极的引出电极的区域中的隔膜区域的外侧。
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公开(公告)号：CN101841313A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200910261058.0
申请日：2009-12-17
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/605 , H03H9/706 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 本发明公开了压电薄膜谐振器、滤波器、通信模块和通信装置。该压电薄膜谐振器包括衬底、在衬底上设置的下电极、在下电极上设置的压电膜、以及在压电膜上设置的上电极。上电极的至少一部分和下电极的至少一部分通过压电膜彼此相对，并且上电极的外围的至少一部分是逆锥形的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102160284A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200880131170.6
申请日：2008-11-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/0414 , H03H2003/0428 , Y10T29/42 , Y10T29/49005
Abstract: 弹性波器件的制造方法包括以下步骤：层叠步骤，在基板(1)上形成包含下部电极(2)、压电膜(3)和上部电极(4)的多个弹性波器件；测定步骤，测定基板(1)上的多个弹性波器件中的动作频率的分布；以及调整步骤，根据动作频率的分布，在各弹性波器件的所述谐振部中，形成所述弹性波器件的厚度与其他部分不同的调整区域，在所述调整步骤中，以使各弹性波器件的所述谐振部中的所述调整区域的面积根据所述测定出的所述动作频率的分布而不同的方式，形成所述调整区域。由此，能够利用较少步骤简单地调整弹性波器件的频率特性。
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公开(公告)号：CN101785184A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200780100318.5
申请日：2007-08-23
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/725 , H03H9/0571 , H03H9/706
Abstract: 本发明提供陡峭性优异而无须增加外接部件或新的制作工序的弹性波滤波器。在同一基板上具有多个滤波器(10-1)，该滤波器(10-1)具有第1谐振器(2a-1)和第2谐振器(4a-1)，该第1谐振器(2a-1)配置在串联臂上，谐振频率为frs且反谐振频率为fas，该第2谐振器(4a-1)配置在并联臂上，谐振频率为frp且反谐振频率为fap，第1谐振器的谐振频率frs比第2谐振器的谐振频率frp高，第1谐振器的反谐振频率fas比第2谐振器的反谐振频率fap高，滤波器(10-1)多级连接。多级连接的滤波器中的至少一个滤波器(10-1)具有谐振频率为frp且反谐振频率为fap的第3谐振器(6-1)，第3谐振器(6-1)形成在基板上，在串联臂上相对于第1谐振器(2a-1)并联连接。
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公开(公告)号：CN101635562A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200910151476.4
申请日：2009-07-23
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/205 , H03H3/02 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H9/587 , H03H9/605 , H03H2003/021 , Y10T29/42 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明提供了一种声波装置，制作声波装置和传输设备的方法。一种声波装置包括衬底和形成在衬底上的多个压电薄膜谐振器。多个压电薄膜谐振器中的每个包括设置在衬底上的下电极，设置在下电极上的压电薄膜，设置在压电薄膜上并且经过压电薄膜与下电极相对的上电极。每个压电薄膜谐振器由衬底部分地支持并且在衬底上延伸以在衬底与每个下电极之间形成空腔。空腔在多个压电薄膜谐振器下方连续地延伸。
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公开(公告)号：CN100511991C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610000593.7
申请日：2006-01-11
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H2003/021
Abstract: 压电薄膜谐振器以及使用该压电薄膜谐振器的滤波器。压电薄膜谐振器包括形成在器件基板上的膜叠层，所述膜叠层包括下电极、设置在器件基板和下电极上的压电膜、以及设置在压电膜上的上电极。上电极和下电极具有从上电极隔着压电膜与下电极交叠处的隔膜延伸的电极引出部分，上电极和下电极的电极引出部分中的至少一个的宽度比该隔膜的宽度窄。
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公开(公告)号：CN101064499A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200710107742.4
申请日：2007-04-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供了一种压电薄膜谐振器和采用该压电薄膜谐振器的滤波器。该压电薄膜谐振器包括基板、设在所述基板上的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜以及上部电极，该上部电极设在所述压电膜上，从而具有隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。所述压电膜的外端的至少一部分比其中所述上部电极和所述下部隔着所述压电膜彼此交叠的相对区域的外端更靠内。
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