公开(公告)号：CN102483378B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201080033122.0

申请日：2010-07-19

Applicant: BT成像股份有限公司

Inventor： 托斯顿.特鲁普克

IPC: G01N21/64 ,  H01L35/18 ,  G01N21/66 ,  G01N21/95 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/6489 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/10 ,  H01L22/12

Abstract: 分离由掺杂浓度和少数载流子寿命分别对半导体材料产生的光致发光(PL)的影响的方法。在一个实施方式中本底掺杂浓度以其他技术被测量，使得PL测量结果根据有效少数载流子寿命被分析。在另一个实施方式中有效寿命以其他技术被测量，使得PL测量结果根据本底掺杂浓度被分析。在又一个实施方式中，通过计算两次PL测量结果的强度比本底掺杂浓度的影响被消除，所述PL测量结果是在不同的光谱范围下被获得，或者在不同的激发波长下被产生。本方法特别适用与诸如硅块或硅锭的体样品，其中相比于薄的、表面受限的样品如硅晶片，信息可以在很大的体寿命值范围内被获得。本方法还可应用于太阳电池的生产中以改善硅块和硅锭的制造，以及为晶片提供切割导引。

公开(公告)号：CN101981437B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200980110931.4

申请日：2009-04-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松本和浩

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/78 ,  G01N37/00

CPC classification number: G01N21/645 ,  G01N21/0332 ,  G01N21/05 ,  G01N21/6456 ,  G01N2021/0346 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2201/10 ,  G02B7/28

Abstract: 扫描成像装置具有将用于激发的第一斑点光和用于焦点检测的两个第二斑点光照射到基板4的流路上的斑点光投影部101和用于拾取当被第一斑点光激发时从流路中的检测目标发射的光的图像的成像部102。第二斑点光中的一个在流路的顶面处被反射，并且，第二斑点光中的另一个在流路的底面处被反射，以及，焦点位置调整机构，用于沿流路的深度方向调整第一斑点光和第二斑点光中的每一个的焦点位置，使得通过比较在流路处反射的第二斑点光中的一个和另一个的强度来确定的流路的深度方向的第一斑点光和第二斑点光的焦点位置的偏离量。

公开(公告)号：CN1662808A

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：CN03814721.1

申请日：2003-05-06

Applicant: 应用材料股份有限公司 ,  应用材料以色列公司

Inventor： 丹尼尔·I·索梅

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/63

CPC classification number: G01N21/956 ,  G01N21/171 ,  G01N21/636 ,  G01N2021/95676 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/104

Abstract: 一样品的一局部区域被聚焦加热用以产生暂时的物理变形。当该被加热的区域冷却至一基线(baseline)温度的同时，该结构的表面由时常使用一或多个探测光束来照射该被加热的区域并检测回返光线而来加以光学监视。在某些实施例中，在该结构内随着时间而变化的热消散与光学反射性的间有相互关系。在其它的实施例中，该结构的表面变形与该表面的光线散射变化有相互关连。在施用一抽运脉冲(pump pulse)及不多于三个探测脉冲之后，一随时间改变(time varying)的回返光线讯号被拿来与一来自一参考表面的回返光线讯号相比较。这两个讯号之间的偏差可指出该样品中的一个异常之处。从这些讯号及它们被比较的衰减常数可建构出第一级指数衰减曲线。

公开(公告)号：CN108257886A

公开(公告)日：2018-07-06

申请号：CN201710588656.3

申请日：2017-07-18

Applicant: 乐金显示有限公司

Inventor： 梁晶馥

IPC: H01L21/66 ,  H01L51/00

CPC classification number: G01N21/94 ,  G01B11/06 ,  G01N21/8422 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N21/958 ,  G01N2201/10 ,  G01R31/11 ,  G01R31/31728 ,  G09G3/006 ,  G09G3/3208 ,  G09G2330/12 ,  H01L51/0031 ,  H01L51/50 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/56

Abstract: 一种检查设备和使用其的检查方法，其中所述方法包括：将光通过棱镜照射至检查物体；使用拍摄单元扫描所述检查物体的检查区域；由所述拍摄单元接收从所述检查物体反射的反射光；使用所述拍摄单元将由所述拍摄单元接收的所述反射光转换成光强度；通过将对应于所述光强度的所述检查物体的厚度与所述检查物体的预定厚度进行比较来检测所述检查物体的缺陷。因此，在单元后处理或模块处理之前检查封装层，从而可以提高OLED装置的良品率和生产率。

公开(公告)号：CN106415807B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201580026943.4

申请日：2015-05-11

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·V·库尔卡尼

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G06T7/001 ,  G01B21/16 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N23/2251 ,  G01N2021/8825 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/12 ,  G01N2223/6116 ,  G06F17/5045 ,  G06T7/60 ,  G06T7/74 ,  G06T2207/30148 ,  H01L21/67288 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明提供用于相对于所存储高分辨率裸片图像确定检验数据的位置的方法及系统。一种方法包含：使由检验系统针对晶片上的对准位点获取的数据与关于预定对准位点的数据对准。所述预定对准位点在所述晶片的所存储高分辨率裸片图像的裸片图像空间中具有预定位置。所述方法还包含：基于所述预定对准位点在所述裸片图像空间中的所述预定位置而确定所述对准位点在所述裸片图像空间中的位置。另外，所述方法包含：基于所述对准位点在所述裸片图像空间中的所述位置而确定由所述检验系统针对所述晶片获取的检验数据在所述裸片图像空间中的位置。

公开(公告)号：CN105074438B

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201380066751.7

申请日：2013-12-18

Applicant: 红外检测公司

Inventor： R·迪安斯 ,  P·G·洛格斯 ,  W·麦克丹尼尔 ,  K·E·保罗 ,  L·F·汉考克 ,  M·J·撒博

IPC: G01N21/77

CPC classification number: G01N21/76 ,  B01L3/5023 ,  B01L2300/0627 ,  B01L2300/0681 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/087 ,  B01L2300/12 ,  G01N21/66 ,  G01N21/78 ,  G01N31/22 ,  G01N2021/7786 ,  G01N2201/10 ,  Y10T436/2575

Abstract: 这里描述的实施方案涉及用于收集和/或测定诸如违法物质的分析物的设备和方法，所述违法物质包括军事爆炸物、爆炸物及其前体。在一些情况下，所述设备可以是可丢弃的设备，合并了高效率的样品收集和基于微流体的化学分析，导致对未知物的快速检测和鉴定。在一些情况下，可以采用多个比色检测化学，并且最终的颜色变化“条形码”可用于肯定地鉴别分析物的存在和/或性质。

公开(公告)号：CN104126114B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201280061083.4

申请日：2012-10-17

Applicant: 鲁道夫科技公司

Inventor： 罗伯特·毕晓普 ,  蒂莫西·平克尼

IPC: G01N21/956 ,  G02B27/40

CPC classification number: H04N5/2356 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/6463 ,  G01N2021/95638 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/10 ,  G03B13/36 ,  H04N5/332 ,  H04N5/37206 ,  H04N5/378 ,  H04N7/18

Abstract: 一种用于使用高数值孔径(NA)光学器件，使用智能图像分析来断定最佳聚焦，来优化部件的检查高速光学检查的方法和设备，该方法和设备利用非常有限的景深透镜来实现优越的信噪比、分辨率、和检查速度性能。

公开(公告)号：CN105074438A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201380066751.7

申请日：2013-12-18

Applicant: 红外检测公司

Inventor： R·迪安斯 ,  P·G·洛格斯 ,  W·麦克丹尼尔 ,  K·E·保罗 ,  L·F·汉考克 ,  M·J·撒博

IPC: G01N21/77

CPC classification number: G01N21/76 ,  B01L3/5023 ,  B01L2300/0627 ,  B01L2300/0681 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/087 ,  B01L2300/12 ,  G01N21/66 ,  G01N21/78 ,  G01N31/22 ,  G01N2021/7786 ,  G01N2201/10 ,  Y10T436/2575

Abstract: 这里描述的实施方案涉及用于收集和/或测定诸如违法物质的分析物的设备和方法，所述违法物质包括军事爆炸物、爆炸物及其前体。在一些情况下，所述设备可以是可丢弃的设备，合并了高效率的样品收集和基于微流体的化学分析，导致对未知物的快速检测和鉴定。在一些情况下，可以采用多个比色检测化学，并且最终的颜色变化“条形码”可用于肯定地鉴别分析物的存在和/或性质。

公开(公告)号：CN104981701A

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201380071454.1

申请日：2013-11-27

Applicant: 许晓汲 ,  吉尔伯特·C·沃克

Inventor： 许晓汲 ,  吉尔伯特·C·沃克

IPC: G01Q60/06

CPC classification number: G01N21/359 ,  B82Y20/00 ,  G01B9/0203 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/10 ,  G01Q10/00 ,  G01Q30/02 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22

Abstract: 本公开提供通过ANSOM获得分子共振的吸收线型的过程和设备。方法包括相对于近场场将参考场相位设置为φ＝0.5π以及将参考振幅设置为A≥5|αeff|。得到对相位精度的要求是

公开(公告)号：CN104884941A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201380064483.5

申请日：2013-12-02

Applicant: 乌斯特技术股份公司

Inventor： 拉法尔·斯托兹 ,  P·皮拉尼

IPC: G01N21/89

CPC classification number: G01N33/365 ,  B65H63/065 ,  B65H2701/31 ,  D06H3/08 ,  G01N21/84 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/8915 ,  G01N27/24 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/08 ,  G01N2201/10

Abstract: 提出使用在其上集成有用于光学检查移动织物材料(9)的至少一个光波导结构(4)的基板(2)。采样区域(3)设置在基板(2)上，用于光学扫描织物材料(9)。光波导结构(4)至少局部通向扫描区域(3)。这样构成的设备(1)需要较少的空间，有多种应用，并且可以方便地改造和维修。