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公开(公告)号：CN108828269A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810387648.7
申请日：2018-04-26
申请人： 中北大学
摘要： 本发明属于原子力显微镜重复定位领域，具体为基于光学定位技术的原子力显微镜精确重复定位实现装置，由压电扫描台、样品安装座、探针位移台和探针安装座组成。其中样品安装座的样品夹与样品夹固定台之间采用磁吸附配合限位球，每次样品夹的安装都在样品夹固定台的中心附近，上下左右偏差达到um量级；进一步采用探针台上的半导体激光器与样品夹上的四象限光电二极管配合，通过控制压电扫描筒与切边压电配合达到nm量级的高精度定位。并且每次测量会记忆测量原点，以压电扫描筒的偏转电压和四象限光电二极管返回的基准为原点基准。下次测量的范围为设定范围的2-3倍找到原点后，重置原点后再以设定范围进行重新扫描。
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公开(公告)号：CN104105655B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201280068948.X
申请日：2012-12-17
申请人： 康奈尔大学
摘要： 本申请公开了一种多尖端纳米探针装置，和一种在使用多尖纳米探针装置的同时用于探测样品的方法，其均使用位于衬底上的：(1)相对于衬底的不可移动的探针尖端；(2)相对于衬底的可移动的探针尖端；以及(3)与可移动的探针尖端耦接的运动传感器。由于运动传感器与可移动的探针尖端的紧密耦接以及可移动探针尖端相对于不可移动探针尖端的可缩进性，这种多尖端纳米探针装置和相关方法提供了改进的样品探测。
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公开(公告)号：CN108802431A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201710308748.1
申请日：2017-05-04
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要： 本发明提供了一种具有磁‑电信号探测功能的扫描探针显微镜的探测方法，在一次扫描过程中利用接触模式同时得到样品的形貌信号与导电信号或者形貌与压电信号，然后再进行第二次扫描，利用非接触模式得到样品的磁信号。与现有技术相比，该探测方法简化了探测过程，高效地实现了样品的电学特性，包括导电特性和压电特性，以及磁性的表征，降低了探测成本，提高了探测精度。另外，本发明优选在扫描探针显微镜系统中引入开尔文控制器用于消除静电力，从而在磁信号测量中有效避免了样品表面电势的干扰，提高了测试准确性。
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公开(公告)号：CN103063881B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210396453.1
申请日：2012-10-18
申请人： FEI公司
IPC分类号： G01Q30/04
CPC分类号： H01J37/26 , G01Q10/00 , G01Q30/06 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/28
摘要： 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。
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公开(公告)号：CN105807096A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610137267.4
申请日：2016-03-10
申请人： 南开大学
摘要： 一种改进的能产生强纵向偏振电场和旋转电场的高灵敏度、高空间分辨率的非线性纳米金属螺旋锥探针。该探针由金属纳米锥结构和金属非线性螺旋结构复合构成，在之前调控效果最好的纳米金属螺旋锥探针中锥和螺旋结构3:1复合的基础上，引入螺旋结构非线性因子N(1
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公开(公告)号：CN104950142A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510110234.6
申请日：2015-03-13
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01Q20/02
摘要： 本发明提供悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置，不依据Q曲线的测定条件就能够高精度地测定扫描型探针显微镜的悬臂的振动特性即Q值。该悬臂的振动特性测定方法测定对扫描型探针显微镜(200)的悬臂(1)施加谐振频率f1(Hz)的振动时的该悬臂的振动振幅V，求出振动振幅V成为稳定振幅V0的0.90以上时的时间Th(秒)，利用下式1来算出Q值：Q值＝f1×Th (1)。
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公开(公告)号：CN103063881A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210396453.1
申请日：2012-10-18
申请人： FEI公司
IPC分类号： G01Q30/04
CPC分类号： H01J37/26 , G01Q10/00 , G01Q30/06 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/28
摘要： 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。
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公开(公告)号：CN104981700B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201380072701.X
申请日：2013-12-12
申请人： 巴塞尔大学
CPC分类号： G01Q20/00 , G01Q10/00 , G01Q10/065 , G01Q30/06
摘要： 本发明涉及控制扫描探针显微镜的方法，所述扫描探针显微镜具有探针(2)和纳米扫描器(1)，所述探针(2)具有针尖(21)用于与样品(4)相互作用，所述纳米扫描器(1)用于保持所述样品(4)或所述探针(2)，该方法包括如下步骤：监测压电元件(1)在第一方向(R)上的伸展，在所述第一方向(R)上所述针尖向着所述样品(4)移动；以及当所述纳米扫描器(1)执行的伸展低于或高于阈值时，通过附加执行器的设备沿着所述第一方向(R)来调整所述探针(2)的高度。本发明还涉及控制扫描探针显微镜的装置(100)。
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公开(公告)号：CN106770156A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611042727.1
申请日：2016-11-24
申请人： 厦门大学
CPC分类号： G01N21/658 , G01Q10/00
摘要： 本发明公开了一种适用于针尖增强拉曼光谱的纳米扫描台，包括基座以及扫描台主体，扫描台主体包括层叠设置的载物台、X方向扫描平台、Y方向扫描平台以及Z方向扫描平台，其中载物台设于顶层；X、Y和Z方向扫描平台分别包括固定平台以及运动平台，运动平台设置于固定平台上，固定平台固定于基座或其他方向运动平台上，各运动平台分别设有压电陶瓷，并分别通过压电陶瓷驱动载物台沿X、Y和Z轴方向运动，从而实现三维运动。本发明的纳米扫描台体积小，控制简单精确，扫描范围大。
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