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公开(公告)号：CN119301315A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202380044300.7
申请日：2023-03-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 久保田芳宏
IPC: C30B29/38 , C30B25/18 , H01L21/205
Abstract: 提供了一种III族氮化物单晶基板的制造方法，该方法可以缩短器件的制造时间，并且可以抑制器件制造期间的裂纹和特性劣化。该III族氮化物单晶基板的制造方法包括执行以下：准备包括氮化物陶瓷的支承基板的支承基板准备步骤；在支承基板的上表面上设置平坦化层的平坦化层形成步骤；在平坦化层的上表面设置晶种层的晶种层形成步骤；在晶种层的上表面上外延生长目标III族氮化物单晶来形成复合基板的外延成膜步骤；和除去平坦化层和晶种层中的至少一者从而将由III族氮化物单晶制成的III族氮化物单晶基板与复合基板的剩余部分分离的分离步骤。
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公开(公告)号：CN119285667A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202410906713.8
申请日：2024-07-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、图案形成方法、及含金属的膜形成用化合物的制造方法。本发明提供给予在半导体装置制造步骤的微细图案化处理中，可获得良好的图案形状且和抗蚀剂上层膜有高密合性并会抑制微细图案崩塌的含金属的膜的含金属的膜形成用化合物、使用该化合物的含金属的膜形成用组成物、及使用该组成物的图案形成方法。一种含金属的膜形成用化合物，其特征为：前述含金属的膜形成用化合物含有选自由Ti、Zr、及Hf构成的群组中的至少1种金属原子、及配位在前述金属原子的配位基，前述配位基含有(a‑1)至(a‑3)表示的基团中的任意者。#imgabs0#R1为氢原子或碳数1～10的有机基团，＊表示键结部。
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公开(公告)号：CN119179234A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202410782549.4
申请日：2024-06-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 福岛将大
Abstract: 本发明涉及化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供一种可获得改善图案形成时的分辨度，且LER及图案忠实性良好的抗蚀剂图案的化学增幅负型抗蚀剂组成物，以及提供一种抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段为一种化学增幅负型抗蚀剂组成物，包含：(A)由下式(A)表示的鎓盐构成的光酸产生剂，及(B)基础聚合物，含有含下式(B1)表示的重复单元的聚合物。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN119165728A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202410781636.8
申请日：2024-06-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及有机膜形成用组成物、有机膜形成方法、及图案形成方法。本发明的课题为提供基板(晶圆)上的成膜性(面内均匀性)及填埋特性优良且抑制了EBR步骤时的隆起的有机膜形成用组成物、使用了该组成物的有机膜形成方法及图案形成方法。解决该课题的手段为一种有机膜形成用组成物，其特征为包含：(A)具有下列通式(1)表示的重复单元的聚合物，(B)有机膜形成用树脂，及(C)溶剂。[化1]#imgabs0#通式(1)中，R为碳数2～30的饱和或不饱和的2价有机基团。
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公开(公告)号：CN119156469A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202380038509.2
申请日：2023-05-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明的氧化物单晶的制造方法的特征在于，包括：第一工序，加热坩埚(6)内的单晶用原料(8)使得将一部分单晶用原料(8)熔体化；第二工序，加热单晶用原料(8)使得将全部单晶用原料(8)熔体化，从而制作原料熔体(8)，并使晶种(2)与原料熔体(8)的液面接触；第三工序，在一边测定晶种棒(3)的重量一边提拉晶种棒(3)的同时，以使得从晶种(2)生长的单晶的单晶提拉重量速度为规定值的方式调整加热源(7)的输出功率，从晶种形成单晶的颈部、锥部和直体部，并将已形成直体部的单晶与液面分离；以及第四工序，以加热源(7)的预先规定的输出功率将与液面分离的单晶缓慢冷却；并自动运转第一～第四工序。本发明的氧化物单晶的制造装置是可自动运转上述第一～第四工序的制造装置。根据本发明，可提供减轻操作者负担，消除操作者的失误，进而导致氧化物单晶的成品率提高的氧化物单晶的制造方法及氧化物单晶的制造装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119156424A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202380034293.2
申请日：2023-03-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明为一种加成固化型硅橡胶组合物，其特征在于，含有：(A)1分子中具有2个以上与硅原子键合的烯基的含烯基有机聚硅氧烷：其为100质量份、(B)1分子中含有2个以上与硅原子键合的氢原子的有机氢聚硅氧烷：其为0.2~20质量份、(C)铂系催化剂：其为催化量、(D)热离解性封闭型多异氰酸酯：其为0.01~5.0质量份、(E)耐热性赋予剂：其为0.01~10.0质量份、及(F)水：其为0.01~10质量份。由此，本发明可提供一种可获得即使在200℃以上的高温条件下压缩永久应变也低的固化物的加成固化型硅橡胶组合物及硅橡胶固化物。
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公开(公告)号：CN114431866B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202111299103.9
申请日：2021-11-04
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 畠山润
IPC: A61B5/263 , A61B5/28 , C08L83/07 , C08L83/04 , C08L83/05 , C08L33/08 , C08L25/18 , C08L33/16 , C08L33/24 , C08K3/04 , C08K3/08 , C08K3/24
Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、生物体电极的制造方法及反应复合体。本发明提供能形成导电性及生物体适合性优异、轻量且能够以低成本制造，即使被水沾湿即使干燥，导电性仍不大幅下降的生物体电极用的生物体接触层的生物体电极组成物、以该生物体电极组成物形成了生物体接触层的生物体电极、及其制造方法。一种生物体电极组成物，含有(A)离子性的高分子材料与碳粒子的反应复合体，前述(A)成分含有：和具有具选自氟磺酸、氟磺酰亚胺、及N‑羰基氟磺酰胺中的任一的铵盐、锂盐、钠盐、钾盐、银盐的结构的重复单元的聚合物键结的碳粒子。
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公开(公告)号：CN119080424A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202410719811.0
申请日：2024-06-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 斋东弘直
Abstract: 本发明提供一种粉末状添加剂，其包括用特定聚乙二醇衍生物浸渍的水溶性多孔粉末。该粉末状添加剂易于处理，可有效配制流动性、减少渗出和耐冻害性提高的水硬性组合物。
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公开(公告)号：CN119080423A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202410719808.9
申请日：2024-06-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C04B24/38 , C04B28/02 , C04B103/44 , C04B111/20
Abstract: 本发明涉及水硬性组合物、增粘剂及用于其的添加剂。包含(A)羟烷基烷基纤维素和(B)特定聚乙二醇衍生物的增粘剂对水硬性组合物有效地赋予耐冻害性、良好的流动性和减少渗出的效果。
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公开(公告)号：CN119059889A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202410691759.2
申请日：2024-05-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C41/22 , C07C43/12 , C07C1/32 , C07C9/22 , C07F3/02 , C07C17/16 , C07C19/01 , C07C29/128 , C07C31/125 , C07C41/30 , C07C43/10 , C07C43/13 , C07C41/16 , C07C43/174
Abstract: 本发明涉及一种制备通式(1’)的卤代烷基烷氧甲基醚化合物的方法，其中X1表示卤素原子，R1表示氢原子、具有1至9个碳原子的正烷基、或苯基，且n表示2至7的整数，所述方法包括以下步骤：将以下通式(1)的卤代烷基烷氧甲基醚化合物转化为以下通式(2)的亲核试剂(2n+2)‑烷氧基甲氧基烷基化合物，其中M1表示Li、MgZ1、CuZ1或CuLiZ1，Z1表示卤素原子或Z2；随后使亲核试剂(2n+2)‑烷氧基甲氧基烷基化合物(2)与下式(3)的环氧丙烷进行亲核加成反应以获得以下通式(4)的羟基烷基烷氧甲基醚化合物；以及使羟基烷基烷氧甲基醚化合物(4)进行卤化反应以获得上述卤代烷基烷氧甲基醚化合物(1’)。#imgabs0#
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