植物生长用层叠薄膜及植物生长用照明装置

    公开(公告)号:CN109561656A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201780047779.4

    申请日:2017-07-14

    Abstract: 本发明提供一种可更高效地获得用于植物生长的圆偏振光的植物生长用层叠薄膜及植物生长用照明装置。植物生长用层叠薄膜具有透射入射光中的一种直线偏振光成分且反射另一种直线偏振光成分的反射型直线偏振片、以及将透射反射型直线偏振片后的直线偏振光转换为圆偏振光的λ/4板,λ/4板在波长660nm处的面内延迟为165±40nm。

    激光曝光方法、光致抗蚀剂层加工方法和用于制造图案成形品的方法

    公开(公告)号:CN102016721B

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN200980113981.8

    申请日:2009-03-23

    Inventor: 宇佐美由久

    CPC classification number: G03F7/704 G03F9/7026

    Abstract: 提供了一种用于进行曝光的激光曝光方法,其中使支撑多个物体(工件5)的支撑台(2)、以及在执行基于反射光的聚焦伺服控制的同时照射物体的激光束照射装置(3)彼此相对移动。所述方法包括:控制开始步骤,即,当激光束已经到达物体上的聚焦开始位置(FS)时,开始聚焦伺服控制;控制停止步骤,即,当激光束已经到达物体上的聚焦停止位置(FE)时,停止聚焦伺服控制;以及保持步骤,即,将光学部件(物镜35)的位置保持在预定的位置,保持时间到从物体上的聚焦停止位置(FE)开始的激光束到达下一个物体上的聚焦开始位置(FS)为止。

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