图像测量装置和图像测量方法

    公开(公告)号:CN102401636B

    公开(公告)日:2014-11-19

    申请号:CN201110240627.0

    申请日:2011-08-19

    发明人: 栗原正纪

    IPC分类号: G01B11/24 G01B11/26

    摘要: 公开了一种图像测量装置和图像测量方法。所述图像测量装置,包括:捕捉测量对象的图像的图像捕捉单元,输入由图像捕捉单元捕捉的测量对象的图像的输入单元,将由输入单元输入的图像二进制化的二进制化单元,识别被二进制化单元二进制化的图像中的图形信息并且检测图形信息的轮廓的轮廓检测单元,基于由轮廓检测单元检测的轮廓来检测图形信息的角的角检测单元,在包括由角检测单元检测的角的轮廓线上分别设置边缘检测工具的设置单元以及通过被设置单元设置的边缘检测工具测量图形信息的测量单元。

    斜面边界扫描系统及方法
    52.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103185542A

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:CN201110448838.3

    申请日:2011-12-28

    IPC分类号: G01B11/00

    摘要: 一种斜面边界扫描系统,该系统包括:接收模块,用于接收用户设定的边界扫描的起点、终点、方向及步长;确定模块,用于逐一确定当前扫描点的位置;拍摄模块,用于将影像撷取装置的镜头中心对准当前扫描点,控制影像撷取装置在指定范围内沿Z轴方向移动,在移动过程中拍摄指定数量的影像,并记录各张影像对应的影像撷取装置的镜头焦点的坐标;计算模块,用于确定一张清晰度最高的影像,将该清晰度最高的影像对应的影像撷取装置的镜头焦点的坐标作为当前扫描点的坐标;及判断模块,用于判断当前扫描点是否到达边界扫描的终点。本发明还提供一种斜面边界扫描方法。能够扫描斜面边界获得平滑的边界扫描图。

    用于对运动的物体的棱边进行图像摄取的方法及装置

    公开(公告)号:CN101045374B

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN200710092002.8

    申请日:2007-03-30

    摘要: 本发明涉及用于对处理承印物的机器中的运动的物体、尤其是页张的棱边进行图像摄取的方法,其中,在使用照明装置(200)的情况下进行照明(600),在使用图像摄取装置(210)的情况下对该棱边(208)的至少一个区段进行图像摄取(610),其特征在于:该照明装置(200)和/或该图像摄取装置(210)的使用相对于该物体(111)的运动基本上同步地并且相对于该物体(111)的运动方向(220)基本上平行地进行。该照明装置(200)优选具有一排光源(204.1至204.n)或一个由它们组成的场,这些光源各相对于该物体(111)的运动同步地被接通及关断。通过照明产生的恒定的阴影(206)或阴影条(206.1)随该物体(111)一起运动并且引起被照亮的物体(111)与暗背景之间的足够的反差,由此可至少在该棱边(208)的区域中将该物体(111)可靠地分开并且可测定该物体的位置、取向及运动。

    具有干涉仪系统的曝光装置

    公开(公告)号:CN1207758C

    公开(公告)日:2005-06-22

    申请号:CN02105045.7

    申请日:2002-02-11

    IPC分类号: H01L21/027 G03F7/20

    摘要: 为了精确地测量曝光装置或类似装置中所用台式装置的位置与状态,应用干涉仪系统,以在振动影响上与上台(27)无关的镜筒支座(35)为基准,测量此上台的Z位置与位移;此干涉仪系统包括用以将底版上形成的图案投影到衬底上的投影光学系统(34)、能够相对于投影光学系统(34)移动同时承载衬底或底版的台(27、31、40)、支承投影光学系统(34)的镜筒支座(35),同时利用设在Y台(31)上且具有大致平行干XY平面的反射面的Z测量反射镜以及设在Y台(31)上的Z干涉仪(25)。

    光学测量仪的边缘检测装置

    公开(公告)号:CN1004768B

    公开(公告)日:1989-07-12

    申请号:CN85109344

    申请日:1985-11-26

    发明人: 西原贞光

    IPC分类号: G01B11/02 G01B9/02

    CPC分类号: G01B11/028

    摘要: 本发明的光学测量仪的边缘检测装置备有与被测物相对移动时,根据产生的明暗部分产生异相信号的多个元件组成的传感器、运算上述异相信号差的差分运算器、在上述异相信号和基准电平信号的交叉点的特定区域内,产生信号的区域发生器以及在该区域信号发生器中输出信号的期间,输出差分运算器的差动输出信号和预先设定的基准电平信号的交叉信号的检测装置。