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公开(公告)号：CN106392343B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201610852274.2
申请日：2016-09-26
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: B23K26/70 , B23K26/064 , B23K101/36
Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池片激光加工设备，包括依次布置的电池片上料台、激光加工主机及电池片下料台，激光加工主机包括输送定位工作台、上料传片组件、下料传片组件、视觉定位总成、定位背光源、激光加工单元及破片传送组件，输送定位工作台上料端通过上料传片组件与电池片上料台对接，下料端通过下料传片组件与电池片下料台对接，视觉定位总成和激光加工单元位于输送定位工作台上方，且视觉定位总成靠近输送定位工作台的上料端、激光加工单元靠近输送定位工作台的下料端，定位背光源位于输送定位工作台下方并与视觉定位总成相对布置，破片传送组件对接于下料传片组件侧面。本发明具有结构简单、成本低、生产效率高等优点。
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公开(公告)号：CN106505015B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201610870861.4
申请日：2016-09-30
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种用于快速热处理设备的温度测量装置，包括温度测量红外探头组件、发射率测量探头、安装座及反射板，所述反射板位于所述安装座上方，所述温度测量红外探头组件和所述发射率测量探头安装于所述安装座上，所述温度测量红外探头组件穿过所述反射板，所述反射板上开设有通孔，所述发射率测量探头位于所述通孔下方。本发明具有结构简单可靠，不受被测物体发射率差异的影响，温度测量准确等优点。
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公开(公告)号：CN106247794B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201610610977.4
申请日：2016-07-29
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
Abstract: 本发明公开了一种链式烧结炉输送装置，包括主动辊轮、从动辊轮以及绕设于主动辊轮和从动辊轮上的输送网带，还包括主动链轮、传动链轮、传动链条以及用于驱动主动链轮旋转的驱动部件，所述传动链轮设有两个并分别与所述主动辊轮和从动辊轮同轴设置，所述驱动部件与所述主动链轮连接，所述传动链条绕设于所述主动链轮和两个所述传动链轮上，本发明具有结构简单、输送平稳不打滑、速度快等优点。
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公开(公告)号：CN105977123B
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201610491412.9
申请日：2016-06-29
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/317 , H01L21/677
Abstract: 一种SiC注入机传片系统，包括工艺制程腔体、过渡片库以及设于工艺制程腔体和过渡片库之间的传输隔离阀，工艺制程腔体内设有定向台、载片台、冷却台以及真空机械手；传片方法包括步骤：将待加工晶片装载到过渡片库内，再将过渡片库与工艺制程腔体抽真空，打开传输隔离阀；真空机械手穿过传输隔离阀从过渡片库内取预放好的待加工晶片，送入定向台上定向，定向完成后由真空机械手将晶片传递至加热升温的载片台进行注入，注入完成的晶片由真空机械手卸载到冷却台上，晶片冷却完后再由真空机械手传递回过渡片库内；重复步骤二，逐个完成过渡片库内待加工晶片的加工，至所有的待加工晶片加工完毕。本发明具有自动化程度高、减少抽充气的次数、可提高生产效率等优点。
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公开(公告)号：CN105551922B
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201510912879.1
申请日：2015-12-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种SiC高温高能铝离子注入机，包括：离子源，用来生成含铝的离子；离子束传输系统，用来传输铝离子束流；包括依次设置的引出系统、质量分析器、分析光栏、加速管、垂直扫描电极板及平行束透镜；引出系统将离子源产生的离子引出并形成离子束；离子束依次通过质量分析器和分析光栏后束通过加速管加速，加速后的离子束经过透镜矫正束斑形状，离子束斑经过垂直扫描电极板后扫开成扇形状束带，扇形状束带通过平行束透镜后形成平行的带状束，进入高温靶室系统；高温靶室系统，用来承载待注入的晶片，并对晶片加热至满足注入铝的高温工艺要求。本发明能够保证注入铝离子电荷可选和能量精度，满足注入铝工艺需要晶片加热要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105390355B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201510804064.1
申请日：2015-11-20
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
Abstract: 本发明公开了一种反射电极结构件及离子源，其反射电极结构件包括高熔点金属材料制备的对置反射电极和低熔点金属材料制备的被溅射件，所述对置反射电极的前端设有安装槽，所述被溅射件嵌装于安装槽内，与安装槽的内壁邻接。本发明的反射电极结构件，被溅射件嵌装于安装槽内，可以通过增大安装槽的尺寸直接增大被溅射件的面积，增加离子束中的离子含量，此结构无需其他辅助部件安装，简化结构，便于更换被溅射件来补偿同一种类的金属材质在溅射过程中的消耗，也可以根据所需的离子束种类更换成为对应的金属材质，适应性好。
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公开(公告)号：CN107513761A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201710537755.9
申请日：2017-07-04
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
CPC classification number: C30B19/063 , C30B29/46
Abstract: 本发明公开了一种石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔、以及用于密封锁腔的外门和内门，所述锁腔内设有滑轨以及用于承载石墨舟的托盘，所述滑轨位于所述外门和内门之间，所述托盘通过一滑块装设于所述滑轨上，所述锁腔上设有用于驱动所述滑轨的驱动机构。一种石墨舟进出上述负载锁的方法，包括以下步骤：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；关闭外门，将锁腔内抽真空；达到设计指标要求后，打开内门，驱动机构带动滑轨向内门移动，滑轨带动滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。本发明具有自动化程度高、操作便利、效率高、不影响石墨舟使用寿命等优点。
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公开(公告)号：CN107134399A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710220775.3
申请日：2017-04-06
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/04 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/04
Abstract: 本发明公开了一种用于高能离子注入机的射频加速调谐装置，包括射频电源、调谐控制器、调谐筒和调谐电机，调谐控制器包括调谐控制单元、调谐电机控制单元和谐振状态检测单元，调谐控制单元分别与调谐电机控制单元和谐振状态检测单元相连，调谐电机与调谐电机控制单元相连。本发明的调谐控制方法包括S01、谐振状态检测单元用于检测射频电源的输出信号并发送至调谐控制单元；S02、调谐控制单元用于根据射频电源的输出信号输出控制信号至调谐电机控制单元；S03、调谐电机控制单元根据控制信号控制调谐电机的谐振以使调谐筒处于谐振状态。本发明的用于高能离子注入机的射频加速调谐装置及控制方法均具有操作简便、控制精准等优点。
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公开(公告)号：CN106571321A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201611015616.1
申请日：2016-11-18
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种用于快速热处理设备的载片台，包括晶片支撑组件及用来驱动晶片支撑组件旋转的驱动组件，所述晶片支撑组件包括支撑筒和晶片托环，所述支撑筒设于所述驱动组件上且上端筒壁为尖角状，所述晶片托环下表面设有倒置的V型限位环槽，所述支撑筒上端嵌入所述V型限位环槽内。本发明具有结构简单、晶片定位准确、工艺均匀性和一致性好等优点。
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公开(公告)号：CN104392882B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201410540635.0
申请日：2014-10-14
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
Abstract: 本发明公开了一种离子注入机的引出电极驱动装置，包括由第一伺服电机和第一带轮组件组成的齿轮驱动机构，以及第二伺服电机和第二带轮组件组成的滚珠丝杠螺母副驱动机构；所述齿轮驱动机构的带轮旋转轴上固定有少齿宽面小齿轮，滚珠丝杠螺母副驱动机构的带轮旋转轴上固定有滚珠丝杠螺母副，该滚珠丝杠螺母副的螺母固定连接有多齿窄面大齿轮，且该多齿窄面大齿轮与少齿宽面小齿轮啮合，二者均为直齿；同时，多齿窄面大齿轮中心孔内装配有电极连接轴，电极连接轴末端固定有引出电极。该驱动装置可实现引出电极的轴向伸缩和旋转联动，具有调节速度快，且能够方便调整引出电极旋转角度的优点。
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