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公开(公告)号：CN103151234A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210517334.7
申请日：2012-12-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 奥村智洋
IPC: H01J37/32
CPC classification number: C23C16/505 , B44C1/227 , C23C16/513 , H01J37/321 , H01J37/32357 , H05H1/30
Abstract: 本发明公开了等离子体处理装置及等离子体处理方法，该等离子体处理装置包括：（1）腔室，其被电介质部件包围，且具备作为等离子体喷出口的开口部；（2）气体供给配管，其向腔室内部导入气体；（3）螺线管线圈，其配置在腔室附近；（4）高频电源，其连接于螺线管线圈，且具备脉冲调制功能；以及（5）基材载置台，其配置在等离子体喷出口侧。根据该等离子体处理装置，能够稳定地生成等离子体。
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公开(公告)号：CN103094038A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210413158.2
申请日：2012-10-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L21/3065 , H05H1/30
Abstract: 公开了等离子体处理装置，包括：环状的腔室，其由电介质部件包围，且具备作为等离子体喷出口的开口部；气体供给配管，其用于向腔室的内部导入气体；线圈，其设置在腔室的附近；高频电源，其连接于线圈；以及基材载置台。
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公开(公告)号：CN102243969A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110123787.7
申请日：2011-05-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种等离子显示面板及其制造方法。使前面板和背面板平行地重合并相互压住。而且，背面板和气体吹入用具紧密粘接。内部配置有玻璃纤维滤纸的玻璃管隔着固体玻璃料环形部件被推压到背面板上。可以利用玻璃管向面板内部供给氮气、氙气、氖气，或利用所述玻璃管自面板内部排出气体。
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公开(公告)号：CN101040361B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200580034524.1
申请日：2005-08-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过实施良好的密封工序防止电介质层和保护层的变质、从而能够发挥出良好的图像显示性能的等离子体显示面板及其制造方法，是一种由前面板(10)和背面板(11)以固定间隔相向配置、该两个面板的周围以密封层(17)围绕起来而构成的等离子体显示面板，上述密封层由包含有机树脂材料、无机材料和金属材料之中的至少一种的材料(具体地，以硅石材料为主要成分、在其中添加环氧树脂材料而形成的复合材料)构成。
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公开(公告)号：CN101630617A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200910139979.X
申请日：2009-07-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够以良好的均一性、简单并且低成本地去除保护层表面的变质层的PDP制造方法。该PDP制造方法构成为，包括：(i)准备在基板A上形成电极A、电介质层A和保护层的前面板、以及在基板B上形成电极B、电介质层B、隔壁和荧光体层的背面板的工序、(ii)在基板A或基板B的周边区域涂敷玻璃粉材料，并以夹着玻璃粉材料的方式将前面板与背面板对置配置的工序、(iii)在对前面板以及背面板进行加热的状态下，从前面板以及背面板的横向，向对置配置的前面板与背面板之间吹入气体的工序、以及(iv)使玻璃粉材料熔融，使前面板和背面板密封的工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101356617A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200780001208.3
申请日：2007-10-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J11/42 , H01J9/242 , H01J11/12 , H01J11/36 , H01J2211/366
Abstract: 在等离子显示屏的背面屏(2)中，具备隔壁部(23A)、在其侧面混合隔壁材料和荧光体材料后形成的发光隔壁部(66)和覆盖发光隔壁部地形成的荧光体材料的荧光体部(24A)，用隔壁部和发光隔壁部构成隔壁(23)，用荧光体部和发光隔壁部构成荧光体层(24)。
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公开(公告)号：CN101291876A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200680038929.7
申请日：2006-10-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: C01B33/12 , C01B13/32 , C23C16/40 , H01L21/316
CPC classification number: B32B9/04 , C01B13/32 , C03C17/25 , C03C2217/213 , C03C2218/322 , C23C8/02 , C23C8/36 , C23C16/402 , H01L21/02126 , H01L21/02131 , H01L21/02164 , H01L21/022 , H01L21/02282 , H01L21/0234 , H01L21/02359 , H01L21/31608 , Y10T428/265
Abstract: 本发明涉及使用金属氧化膜和其形成方法及使用金属氧化膜的光学电子设备。本发明的金属氧化膜的生成方法包括：第一工序，其将在常温下为液体的有机金属化合物、和有机溶剂混合而糊化；第二工序，其将在所述第一工序中所述糊化的材料涂敷于基材；第三工序，其在所述第二工序后，通过向在所述基材上涂敷的所述糊照射大气压等离子体，使所述糊的所述材料中的有机物气化，同时，氧化所述材料中的金属元素，生成金属氧化膜。本发明在玻璃基板等基材(1)上形成包含三层的金属氧化膜(2)。这样的结构可以通过重复将在常温下为液体的有机金属化合物和有机溶剂混合而糊化的工序、在基材上涂敷糊的工序、和使糊中的有机物气化的同时氧化金属元素的工序。
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公开(公告)号：CN101258786A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200680032251.1
申请日：2006-09-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H01J37/321
Abstract: 实现了均匀性出色的等离子体掺杂。当预定气体从气体供应设备(2，16)引入真空容器(1)时，该真空容器(1)通过排气孔(11)藉由作为排气装置的涡轮分子泵(3)被排气，且通过压力调节阀(4)在真空容器(1)内维持预定压力。通过将13.56MHz的高频功率从高频电源(5)供应到置为与样品电极(6)对立的介质窗口(7)附近的线圈(8)，由此在真空容器(1)内产生感应耦合等离子体。介质窗口(7)是由多个介质板组成，且槽形成于相互对立的至少两个介质板的至少一侧内。气体通道由该槽和其对立的平坦表面形成，且设置于最靠近样品电极的介质板内的气体排出口(15，19)被允许连通介质窗口内的槽。从气体排出口(15，19)引入的气体的流速可以独立地被控制，且处理的均匀性可以提高。
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公开(公告)号：CN101151709A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200680010228.2
申请日：2006-03-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/265 , H01L21/22
CPC classification number: H01L21/2236 , H01J37/321 , H01J37/32412 , H01J37/32458 , H01J37/32623 , H01J37/32633
Abstract: 本发明的目的是提供在导入到样品的表面的杂质的浓度均匀性方面优秀的等离子掺杂方法，和能均匀地进行样品的等离子处理的等离子处理装置。在根据本发明的等离子掺杂装置中，用作为排放装置的涡轮分子泵(3)经由排气口11将真空室(1)抽空，同时从气体供应装置(2)导入预定的气体，以使用调压阀(4)使真空室(1)的内部保持预定的压力。13.56MHz的高频电由高频电源(5)供应到线圈(8)，以在真空室(1)内产生感应耦合等离子体，所述线圈设置在与样品电极(6)相对的介电窗(7)的附近。将高频电供应到样品电极(6)的高频电源(10)被设置。通过驱动活门(18)和盖住贯通门(16)，处理的均匀性得到增强。
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公开(公告)号：CN101151707A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200680010324.7
申请日：2006-03-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/677 , H01L21/265
CPC classification number: H01L21/67167 , H01J37/32412 , H01L21/2236
Abstract: 本发明的目的是当将导入固体试样中的杂质彼此混合时，防止最初期望的功能未展现，并且高精度地执行等离子体掺杂。为了区别可以混合的杂质和不应混合的杂质，首先区别核心的杂质导入机构。为了避免非常少量的杂质混合物，专门使用用于传送将处理的半导体衬底的机构和用于去除将形成在半导体衬底上的树脂材料的机构。
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