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公开(公告)号：CN102886599A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210388962.X
申请日：2012-10-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种扩散焊制备多层非晶合金与晶态金属复合结构的方法，包括以下步骤：对非晶合金薄片及晶态金属薄片进行切割、打磨和清洗，对非晶合金薄片及晶态金属薄片进行组装和固定，以形成固定后的工件，将固定后的工件放进真空扩散炉中进行焊接。本发明的复合结构可阻断非晶合金材料在剪切过程中剪切带的延伸，从而避免了纯非晶合金材料脆性大的问题，增强了抗剪切能力，此外，本发明能够使焊接后的非晶材料继续保持非晶特性，复合结构材料的抗剪切性较纯非晶合金材料得到很大的提高，韧性增强，焊接后薄片表面质量高、连接可靠。
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公开(公告)号：CN102738298A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210179386.8
申请日：2012-06-01
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种用于太阳能电池光阳极的微纳复合结构及其制备方法，包括：S1：在硅片上匀胶并进行光刻，制作微尺度光刻胶圆盘图形；S2：以光刻胶为掩膜，使用ICP干法刻蚀出微米级硅柱阵列；S3：将带有微米级硅柱阵列的硅片采用SPM工艺清洗并去除微米级硅柱表面的氧化层；S4：进行电化学镀在微米级硅柱表面镀一层银；S5：采用刻蚀剂进行金属催化刻蚀，在微米级硅柱表面制作纳米线并形成微纳复合结构；S6：去除微米级硅柱表面残留的银，并对微纳复合结构进行掺杂使纳米线整体及微米级硅柱表面为N型。本发明提供的微纳复合结构中纳米线垂直于微米柱表面，表面积大，陷光能力强，载流子收集效率高，适合制备高效率的太阳能电池。
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公开(公告)号：CN102718181A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210168024.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明属于微纳仿生结构的制造工艺，具体涉及一种仿壁虎脚结构材料的制造工艺，①自组装聚苯乙烯小球，小球直径为100nm～1um；②等离子刻蚀聚苯乙烯小球；③镀保护层；④去除聚苯乙烯小球；⑤镀催化剂层；⑥湿法刻蚀；⑦旋涂光刻胶并光刻显影；⑧铸模并脱模：将聚二甲基硅氧烷PDMS倒在复合模具上，烘烤后从复合模具上剥离，得到微纳分层的仿壁虎脚结构材料。本发明可用于制造一种仿壁虎脚分层结构，该结构具有很强的吸附力又能轻易脱离吸附表面、且具有超疏水性、自清洁能力。
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公开(公告)号：CN102616501A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210070702.8
申请日：2012-03-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种粉体给料装置，属于振动给料装置，解决现有振动给料装置存在安全隐患、不能振动筛分且缺乏保温处理的问题。本发明包括保温料筒、称重装置、支架、料斗和控制器，称重装置装设于支架上，保温料筒上部连接称重装置，保温料筒下端柔性连接料斗；料斗上端面装有筛网，料斗侧面装设气动激振器，料斗底部连接气动胶管阀和出料管；称重装置通过电缆连接控制器，控制器通过电缆连接电气比例调节阀，电气比例调节阀进气口连接气源，电气比例调节阀出气口分别连接气动激振器和气动胶管阀。本发明结构简单、安全可靠、能够振动筛分、能远程控制粉体落料速度、操作简便、易于转运，给料过程中能够进行保温处理，适用于易燃易爆粉体的添加。
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公开(公告)号：CN102447011A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110421633.6
申请日：2011-12-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , B82Y30/00 , B82Y40/00
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种用于制造太阳能电池光阳极的方法及其产品，该方法包括：(1)在单晶硅片上涂布光刻胶并通过光刻将掩膜上的微尺度图案进行转移；(2)通过镀膜工艺镀上银膜；(3)清洗以去除光刻胶；(4)采用氟化氢和H2O2的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀，由此形成微柱或微孔结构；(5)对单晶硅片上残留的金属银膜进行清洗处理；(6)采用氟化氢和AgNO3的混合溶液作为刻蚀剂再次进行金属催化刻蚀，由此形成纳米线结构；以及(7)清洗硅片，去除第二次刻蚀过程所形成并残留在硅片表面的银。按照本发明，可以获得纳米线和微孔或微柱阵列相结合的微纳结构，并具备高效率、低成本，适宜太阳能电池大批量生产的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102431961A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110402552.1
申请日：2011-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供了一种低温等离子体活化直接键合的三维硅模具制备方法，将待制备微模具在Z方向进行分层设计；选择适当厚度的硅片作为每层基底，对各层硅片采用光刻及ICP（电感耦合等离子体）深硅刻蚀方法，精确刻蚀出模具对应层的结构图形；然后将各硅片表面进行清洗、等离子体活化、预键合、低温退火工艺，完成多层硅片直接键合；最后划片，批量得到三维微型硅模具。本发明适用于高效、高精度制备MEMS（微机电系统）器件中带有阶梯、高深宽比的三维微型结构（如微齿轮轴、微阶梯轴、微泵等）的硅模具。
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公开(公告)号：CN102280537A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110227271.7
申请日：2011-08-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种LED漫反射杯的制备方法，步骤为：①在清洗后的硅片上涂覆光刻胶；②对光刻胶进行曝光、显影，得到光刻胶的微槽阵列；③刻蚀硅片形成微槽，得到反射杯体；④去除反射杯体上的光刻胶；⑤将去除光刻胶的反射杯体加热，高温生长纳米线，形成漫反射膜覆盖在反射杯体上。由于在反射杯内壁上覆盖有用于光线漫反射的纳米结构，反射杯体直接通过刻蚀硅片得到。所以当芯片工作时，光线照射于反射杯的内壁上可以产生多次反射，从而具备均匀的发光效果。反射杯体通过刻蚀硅片直接得到，具有耐热性好、制备简单、易于微型化及适合大批量制备等优点。
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公开(公告)号：CN101843941A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010193581.7
申请日：2010-06-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: A61M5/30
Abstract: 一种无针注射器系统，属于用于防疫与治疗的医疗器械，包括两个主要部分：一是无针注射器动力头；二是上弦装置。本发明的无针注射器动力头属于无针注射器的动力装置，目的在于简化结构、顶部触发、方便患者自用；其中的上弦装置，属于无针注射器的动力加载装置，目的在于解决现有无针注射器动力头加载初始动力的问题，方便患者自用。该系统结构简单、紧凑，体积小，工艺性好，操作简单方便。使用者通过上弦装置为无针注射器动力头加载所需的动力，再可通过顶部触发方式为无针注射器提供动力，产生瞬时高压，使药物快速穿透皮肤，并可提高药物利用效率。
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公开(公告)号：CN101823685A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN201010161272.1
申请日：2010-04-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供一种自顶向下与自底向上相结合的仿生微纳结构制备方法，具体通过以下步骤实现：首先采用自顶向下的方法制备出微尺度结构作为基底，主要包括镀膜生长、光刻、干法刻蚀等，然后在微尺度基底结构的顶部或者侧壁有选择地蒸发镀覆纳米结构生长的种子，再由种子自底向上生长出方向可控的纳米结构，最终制备得到具有优异特性的分级层次周期或准周期仿生微纳结构，如仿壁虎脚微纳结构或仿闪蝶磷翅微纳结构等。本发明提供的方法是结合了自顶向下与自底向上制备工艺的集成制造方法，具有高效率、低成本特点，适宜大批量、大面积生产，从而为仿生微纳结构的批量化制备和应用提供了一种有效的新途径。
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公开(公告)号：CN101813638A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN201010160537.6
申请日：2010-04-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提供了一种热和超声激励的芯片焊点缺陷在线检测方法及装置，其方法是采用红外非接触方式对被测芯片或基底表面进行均匀加热，同时施加超声激励，使芯片产生振动以改变缺陷处热阻属性，然后通过红外热像仪测量芯片或基底表面温度，并对热图像进行特征提取和分析，结合实现芯片焊点缺陷辨识和定位。其装置主要包括真空吸附式三维移动平台、红外加热模块、超声激振模块、热图像处理模块、缺陷标记模块、系统控制模块。本发明提供的方法及装置可对芯片焊点缺陷进行有效检测，具有实时、非接触、无破坏性的特点，适用于焊球阵列(BGA)、芯片尺寸封装(CSP)和倒装芯片(FC)等高密度电子封装工艺的焊点缺陷检测。
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