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公开(公告)号：CN111936413A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201980022934.6
申请日：2019-03-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: MEMS元件(100)，具有：‑衬底(10)；‑布置在所述衬底(10)上的第一钝化层(20)；‑布置在所述第一钝化层(20)上的金属层(30)；‑在所述金属层(30)上并且在所述第一钝化层(20)上布置的第二钝化层(40)；和‑凸模元件(60)，其中，在所述凸模元件(60)上并且在所述第二钝化层(40)上布置有能导电的扩散阻隔层(50)，其中，在所述凸模元件(60)上布置有第一键合元件(70)。
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公开(公告)号：CN102548805B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201080042472.3
申请日：2010-07-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B60R19/34
CPC classification number: B60R19/34 , B60R2019/007 , B60R2019/262 , F16F7/125
Abstract: 本发明提出一种用于自适应地衰减碰撞能量的装置和方法，其中，设有变形元件，该变形元件为了衰减碰撞能量而沿一个方向执行第一运动并且同时变细。此外，还设有致动机构，该致动机构根据控制信号设定用于自适应衰减的变细程度。所述致动机构是为沿所述第一运动的方向的轴线的第二运动而设计的，以便设定所述变形元件的变细程度，其中，由于所述第二运动，所述致动机构能够固定带有相应孔的至少一个模板以设定变细程度，所述变形元件被驱使穿过所述相应孔。由所述致动机构固定的模板的数量取决于所述控制信号。各自被固定的模板引起所述变形元件变细。
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公开(公告)号：CN102387983A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200980129796.8
申请日：2009-06-15
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构(1)，尤其是传感器或执行器，包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6，7，8，9)限制的工作间隙(4，5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定，该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6，7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8，9)进行调节来扩宽该工作间隙(4，5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。
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公开(公告)号：CN119768302A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202380061702.8
申请日：2023-08-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于使具有电驱动电机(14)和机械制动器(16、17)的车辆(10)制动直至静止状态并且然后保证该静止状态的方法，其中，操控所述电驱动电机(14)和用于操纵所述机械制动器(16、17)的执行器，使得在第一制动阶段，借助于所述电驱动电机(14)来产生制动力矩10；在第二制动阶段，借助于所述机械制动器(16、17)来产生制动力矩；所述第一制动阶段在所述第二制动阶段开始(t2)之前开始；所述第一制动阶段在所述第二制动阶段开始(t2)之后结束(t1)；所述第一制动阶段在达到(t0)静止状态之后结束(t1)；而且根据触发条件，所述第二制动阶段在达到(t0)静止状态之前、在达到静止状态时或者在达到静止状态之后开始(t2)。
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公开(公告)号：CN111498796B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202010078478.1
申请日：2020-02-03
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明实现一种用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构以及MEMS构件。方法具有以下步骤：提供衬底(S)，在衬底上施加微机械的功能层组件(FS)，其具有一个或多个功能层，功能层组件(FS)具有空腔(K)，空腔通过贯通开口(D；D')朝着功能层(FS)的外侧地露出，贯通开口具有比功能层组件(FS)更小的横向延展；借助HDP方法如此在功能层组件(FS)和贯通开口(D；D')的外侧上沉积封闭层(O，O')，使得封闭层(O，O')的第一区域(O)在功能层组件(FS)的外侧上生长，封闭层(O，O')的第二区域(O')从空腔(K)内在贯通开口(D；D')以下柱状地生长；由封闭层(O，O')的第二区域(O')在贯通开口(D；D')中构造封闭区域(VBO)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113227742B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201980085192.1
申请日：2019-12-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有膜片，所述膜片借助框架结构(12)如此展开，使得所述膜片(18)的自支承区域(20)跨越所包围的部分表面(16)，所述微机械构件还具有加固结构(22)，所述加固结构构造在所述自支承区域(20)上，其中，能够定义平行于所包围的部分表面(16)取向的第一空间方向(x)，在所述第一空间方向上，所述自支承区域(20)具有最小延伸(I1)，并且能够定义平行于所包围的部分表面(16)且垂直于所述第一空间方向(x)取向的第二空间方向(y)，在所述第二空间方向上，所述自支承区域(20)具有更大的延伸(I2)，其中，所述加固结构(22)以在所述第一空间方向(x)上相对于所述框架结构(12)隔开第一间距(a1)且在所述第二空间方向(y)上隔开第二间距(a2)的形式存在，其中，所述第二间距(a2)大于所述第一间距(a1)。
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公开(公告)号：CN113226976B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN201980085003.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，其膜片(12)保持与腔的底侧间隔开并且在其膜片内侧(12a)处具有支撑结构(20a)，其中，所述支撑结构(20a)中的每个都具有各自的第一边缘元件结构(32)、各自的第二边缘元件结构(34)和各自的布置在所分配的第一边缘元件结构(32)与所分配的第二边缘元件结构(34)之间的至少一个中间元件结构(36)，其中，针对所述支撑结构(20a)中的每个都能够分别限定对称平面(38)，关于所述对称平面，至少相应的支撑结构(20a)的所述第一边缘元件结构(32)和所述相应的支撑结构(20a)的第二边缘元件结构(34)是镜像对称的，其中，在所述支撑结构(20a)中的每个中，其第一边缘元件结构(32)的垂直于其对称平面(38)的第一最大延展(a1)及其第二边缘元件结构(34)的垂直于其对称平面(38)的第二最大延展(a2)大于其至少一个中间元件结构(36)的垂直于其对称平面(38)的至少一个最大延展(a3)。
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公开(公告)号：CN110844877B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201910772912.3
申请日：2019-08-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于制造MEMS传感器的方法，包括以下步骤：‑提供在载体层组件的前侧上的功能层，‑制造沟以使功能层和载体层组件的布置在功能层下方的部分在侧面上部分地露出以实现机械应力解耦，‑移除载体层组件的背侧的部分，其中，形成侧面的载体框架，‑构造载体层组件的背侧的在所述移除之后的剩余部分的表面以排出和/或挤出介质。
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公开(公告)号：CN117043566A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202180085200.X
申请日：2021-11-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01L19/06
Abstract: 提出一种微机械构件(200)、一种电容式压力传感器设备(100)以及一种用于该微机械构件的制造方法(500)。该微机械构件(200)包括：衬底(205)，框架结构(240)，所述框架结构包围所述衬底(205)的子表面(242)和/或施加在所述衬底(205)上的中间层(210)，其中，在被包围的子表面(242)和/或中间层(210)上，安装有至少一个电极(215)，压敏膜片(225)，外部压力pext作用到所述压敏膜片上并且实现变形，其中，所述膜片(225)借助所述框架结构(240)这样张开，使得所述膜片(225)的无支承的区域(244)横跨被包围的子表面(242)和/或中间层(210)，其中，所述膜片(225)的无支承的区域(244)朝向被包围的子表面242和/或中间层210指向地具有至少一个可运动的对电极(230)，具有参考压力p0的密封的空腔(235)，所述空腔被所述压敏膜片(225)和所述框架结构(240)环绕，其中，所述膜片(225)的无支承的区域(244)具有局部增强结构(250、265、325)，用以增加所述无支承的区域的膜片厚度(270)，其中，所述局部增强结构(250、265、325)安装在所述无支承的区域的确定的部位(245)上，在所述确定的部位上所述无支承的区域的膜片厚度(270)发生变化。
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公开(公告)号：CN110402233B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201880016812.1
申请日：2018-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于制造用于微机械压力传感器(200)的MEMS装置(100)的方法，具有以下步骤：‑提供具有硅衬底(11)和在该硅衬底中在传感器膜片(12)下面构造的第一腔(13)的MEMS晶片(10)；‑将层状的保护元件(20)施加在所述MEMS晶片(10)上；并且‑使传感器芯(12、13、13a)从背侧开始露出，其中，构造在所述传感器芯(12、13、13a)和所述硅衬底(11)的表面之间的第二腔(18)，其中，所述第二腔(18)借助于蚀刻过程构造，该蚀刻过程以限定改变的蚀刻参数实施；并且‑移除所述层状的保护元件(20)。
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