公开(公告)号：CN108369096A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201680071900.2

申请日：2016-12-09

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： L·科罗纳托 ,  G·加弗埃力 ,  J·鲁欧西欧

IPC分类号： G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C19/5747

摘要： 一种陀螺仪包括四个驱动质块和四个感测质块。每个驱动质块与两个其它驱动质块相邻并且与第四个驱动质块相对，并且每个感测质块与两个其它感测质块相邻并且与第四个感测质块相对。每个驱动质块可以以垂直于其相邻驱动质块并且平行且反相于其相对质块的方式振动。每个感测质块的感测运动可以以防止由于线加速度或角加速度引起的运动的方式被耦合。

公开(公告)号：CN103196439B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201210592869.0

申请日：2012-12-31

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： B·库尔曼 ,  J-T·利瓦尔德

IPC分类号： G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5719

摘要： 本发明涉及一种转速传感器，其具有包括主延伸平面的衬底、借助探测弹簧能够运动地固定在衬底上的力传递装置和震动质量，其中震动质量通过力传递装置如此能够相对于衬底运动地悬挂，使得震动质量能够借助于驱动装置被激励成绕平行于主延伸平面的驱动轴线的驱动振动，并且在存在平行于主延伸平面并且垂直于驱动轴线的转速时震动质量由于科里奥利力能够被激励成绕垂直于主延伸平面的探测轴线的探测振动，其中，探测弹簧与力传递装置在振动节点的区域中耦合。

公开(公告)号：CN107636419A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680028021.1

申请日：2016-05-12

申请人： 株式会社村田制作所

发明人： 加藤良隆

IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

CPC分类号： G01C19/5719 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

摘要： 公开了一种传感器结构和一种用于操作角速度的振动传感器的方法，其中振动传感器包括旋转质量块(103)和两个线性移动质量块(101、102)。传感器结构包括两个T形杆(218、219)，每个T形杆与两个线性移动质量块(101、102)耦接并且耦接至旋转质量块(103)。T形杆(218、219)使得旋转质量块(103)和两个线性移动质量块(101、102)能够被激励进入反相位主模式，在反相位主模式下旋转质量块(103)的角动量的方向与线性移动质量块(101、102)的角动量的方向相反。旋转质量块(103)和线性移动质量块(101、102)的角动量在很大程度上彼此抵消，使得结构的角动量的总和非常小。与例如平行相位主模式的其他可能的主模式的标称频率相比，反相位主模式的标称频率明显低。

公开(公告)号：CN107167124A

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201710123918.9

申请日：2017-03-03

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 金本啓

IPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C19/5747

摘要： 本发明提供一种能够使驱动信号的抖动减少的驱动电路、角速度检测装置、电子设备以及移动体。驱动电路包括：第一转换部，其具有第一运算放大器和第一电容，并且将从角速度检测元件的第一电极输出且向所述第一运算放大器输入的第一信号蓄积在所述第一电容中而转换为电压；第一相位调节部，其根据所述第一转换部的输出信号而对驱动所述角速度检测元件的驱动信号的相位进行调节，并且对所述驱动信号的频带进行限制；以及驱动信号生成部，其根据所述第一相位调节部的输出信号而生成所述驱动信号。

公开(公告)号：CN103575263B

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201210250558.6

申请日：2012-07-19

申请人： 水木智芯科技(北京)有限公司

发明人： 孙博华 ,  王琳 ,  邵长治 ,  孙明 ,  周源 ,  高振宁 ,  郭伟恒 ,  覃昭君 ,  田晓丹

IPC分类号： G01C19/5747

摘要： 本发明公开了一种四质量块全解耦电容式单轴微机械陀螺仪，包括衬底、驱动结构、四个质量块、检测结构以及弹性连接结构；驱动结构包括四组驱动框架和电极组，质量块悬浮于衬底之上，也呈上下左右对称分布；检测结构包括检测框架和多个检测梳齿电极组，检测框架为全对称的圆形结构,检测梳齿电极组沿检测框架均匀分布；L型折叠梁与驱动框架和衬底连接，第一U型折叠梁悬浮于衬底之上，与驱动框架和质量块连接；第二U型折叠梁悬浮于衬底之上，与质量块和检测框架连接，叉指型折叠梁与检测框架和底连接，U型脐带梁用于连接相邻的两组驱动框架。本发明的驱动框架和检测框架相互独立，实现了全解耦，径向的缩张的驱动模式，保证了整个结构的协调性。

公开(公告)号：CN106257239A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201610392601.0

申请日：2016-06-06

申请人： 飞思卡尔半导体公司

发明人： 迈克尔·瑙曼

IPC分类号： G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/5621 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/5747

摘要： 本公开描述一种MEMS装置，其包括耦合一对能运动块的两个弹簧系统。所述弹簧系统中的每个弹簧系统包括受约束的刚性梁和一对挠曲部，其中，一个挠曲部直接耦合至所述刚性梁的一端并耦合至所述能运动块中的一个能运动块，并且另一挠曲部直接耦合至所述刚性梁的相对端并耦合至另一个能运动块。响应于所述能运动块的驱动运动，所述挠曲部使得所述受约束刚性梁能够枢转运动，使得所述刚性梁在围绕所述刚性梁的中心铰接点的相对方向枢转。这种枢转运动使得所述驱动块能够反相线性振荡运动同时基本上遏制或以其他方式抑制所述能运动块的同相运动。

公开(公告)号：CN105937908A

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201610113718.0

申请日：2016-02-29

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 金本啓

IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/5769

CPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/574 ,  G01C25/005 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5769

摘要： 本发明提供一种能够抑制S/N比的恶化并且实施灵敏度调节的陀螺传感器及其制造方法、电子设备以及移动体等。陀螺传感器1包括：基板(10)、振动体(112)、使振动体(112)进行振动的固定驱动电极(130、132)以及可动驱动电极(116)、用于对根据振动体(112)的振动而变化的信号进行检测的固定检测电极(130、132)以及可动检测电极(116)、向振动体(112)施加偏置电压Vr的偏置电压施加部(610)、存储部(620)，偏置电压施加部(620)根据存储部(610)中所存储的信息而对偏置电压Vr的值进行设定。

公开(公告)号：CN105122003A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201380073423.X

申请日：2013-12-09

申请人： 特罗尼克斯微系统有限公司

发明人： C·科古瑞斯 ,  O·盖刚 ,  C·佩塞拉 ,  Y·杨 ,  B·李 ,  S·徐

IPC分类号： G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/5747

摘要： 本发明涉及一种用于测量z轴角运动的微机械感测器装置，其包括2个振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)，每一个具有至少一个检测质量块(2.1、2.2)。悬挂结构(3.1、4.1、4.2、5.1、6.1、…、6.4)将所述2个振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)保持在所述衬底(1)上方的移动悬挂位置，用于在驱动模式方向(x轴)上和在感测模式方向(y轴)上平行于所述衬底平面运动。耦合支撑结构(4.1、4.2)将所述耦合结构(5.1、5.2、6.1、…、6.4)连接到锚结构(3.1、3.2)并使得所述耦合结构(5.1、5.2)可以旋转摆动运动，所述旋转摆动运动的旋转轴垂直于所述衬底平面。每个所述振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)包括至少一个往复运动质量块(7.1、7.2)，其通过感测模式弹簧(8.1、…、8.4)耦合到所述至少一个检测质量块(2.1、2.2)，所述感测模式弹簧(8.1、…、8.4)在感测模式方向比在驱动模式方向(x)更柔性，用于激励每个所述振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)的振动运动。每个检测质量块(2.1、2.2)的感测电极结构(10.1、10.2)设计用于检测平行于衬底平面的感测模式运动，所述耦合支撑结构(4.1、4.2)设计成也使得所述耦合结构(5.1、5.2、6.1、…、6.4)可以在驱动模式方向(x)上平移运动。

公开(公告)号：CN104870939A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380064825.3

申请日：2013-12-04

申请人： 株式会社村田制作所

发明人： 渡边恒介

IPC分类号： G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/5733 ,  G01C19/5642 ,  G01C19/574

摘要： 本发明的角速度检测元件(10)的振动体(11)具备：从中心基部(12)设置成十字形的检测梁部(13A～13D)、连接在相邻的检测梁部(13A～13D)之间的外侧连结梁部(14A～14D)及内侧连结梁部(15A～15D)。检测梁部(13A～13D)具备：与中心基部(12)相连的基端检测梁(24)、以及分成三路的中央检测梁(21)、左侧检测梁(22)及右侧检测梁(23)。中央检测梁(21)与两侧的外侧连结梁部(14A～14D)相连，左侧检测梁(22)与左侧的内侧连结梁部(15A～15D)相连，右侧检测梁(23)与右侧的内侧连结梁部(15A～15D)相连。外侧连结梁部(14A～14D)中的相邻的外侧连结梁部进行驱动振动，使得以夹在中间的检测梁部(13A～13D)为边界朝向成为镜像关系的方位发生位移。

公开(公告)号：CN102334008B

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201080009704.5

申请日：2010-12-02

申请人： 索尼公司

发明人： 高桥和夫 ,  本多顺一

IPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C19/5747 ,  H01L41/08

摘要： 公开了一种角速度传感器、电子设备以及角速度的检测方法，其允许在平面内高精度地检测绕厚度方向上的轴的角速度。具体公开了一种角速度传感器，包括环形框架(10)、驱动部以及检测部。该框架包括第一梁的组(11a，11b)和第二梁的组(12a，12b)。第一梁的组在a轴方向上延伸并在与a轴方向正交的b轴方向上彼此相对。第二梁的组在b轴方向上延伸并在a轴方向上彼此相对。该驱动部使该框架在a轴和b轴所属的XY平面内以当第一和第二梁的组中的一组彼此靠近时另一组彼此分开的振动模式振动。该检测部基于以振动模式振动的框架在XY平面内的变形量，检测绕正交于XY平面的Z轴方向上的轴的角速度。