具有与基板集成的散热结构的光学器件阵列基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN103782404A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201280043866.X

    申请日:2012-07-26

    Abstract: 本发明涉及一种具有内置散热结构的光学器件阵列基板,及它的制造方法,其中该光学器件阵列基板本身用作散热片,并在基板的底部形成耦合孔以便使散热杆与其耦合。本发明的具有内置散热结构的光学器件阵列基板主要包含有:具有在其顶面上布置的多个光学器件和在其底面中形成的多个耦合孔的光学器件阵列基板;和具有在其顶端上形成的耦合突起物且耦合到每个耦合孔的杆状散热杆。在上述结构中,该耦合孔有螺纹,该耦合突起物也有螺纹以与耦合孔螺纹耦合。该耦合孔形成为具有向下变窄的锥形物,并且该耦合突起物形成为具有向下变窄的锥形物,以便即使在冰点以下的温度下的收缩状态与耦合孔精确地耦合。该散热杆的表面的特征在于,在其上而不在耦合突起物上形成绝缘涂层。可以移除一些散热杆的部分绝缘涂层以用作电极。

    基座
    75.
    发明公开
    基座 无效

    公开(公告)号:CN118160083A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202280071530.8

    申请日:2022-10-19

    Abstract: 本发明提供一种基座,所述基座是涉及在对基板进行沉积工艺时将基板安装在上表面的基座,包括第一板、配置在所述第一板的下部的第二板以及配置在所述第一板、所述第二板之间的平面加热器,且所述平面加热器通过形成为平面且在内部具有与所述平面的面积对应以大面积形成的加热图案,从而使整体面积的温度均匀地形成而没有断线的风险。

    探针头及包括其的探针卡
    80.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113203881A

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN202110117009.0

    申请日:2021-01-28

    Abstract: 在根据本发明的探针头及包括其的探针卡中,可提供一种探针卡的探针头,包括:上部引导板,配置有上部引导孔洞;下部引导板,配置有下部引导孔洞;以及中间部引导板,配置有中间部引导孔洞,且配置在所述上部引导板与所述下部引导板之间,多个探针依序贯通所述上部引导孔洞、所述中间部引导孔洞及所述下部引导孔洞,所述中间部引导板由阳极氧化膜材质形成。

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