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公开(公告)号：CN101910454A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200880123933.2
申请日：2008-11-14
申请人： 先进能源工业公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： C23C14/564 , C23C14/3485 , C23C14/3492 , C23C14/54 , C23C14/542 , C23C14/548
摘要： 本发明公开了使用直流电源的用于基于等离子体的溅射沉积的设备和方法。在一个实施方案中，通过将多个电极和电流源连接而产生等离子体，周期性反转施加在处理室中多个电极的每一个上的电压的极性，使得至少一个电极将材料溅射在基底上。调节施加在多个电极的至少一个上的功率值，以按照所需的特征将材料沉积在固定基底上。在一些实施方案中，在处理期间基底静止地设置于处理室内。许多实施方案利用指示沉积状态的反馈以调节施加在一个或多个电极上的功率值。
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公开(公告)号：CN101779291A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN200880101640.4
申请日：2008-08-04
申请人： 先进能源工业公司
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/02021 , H02J3/383 , Y02B10/14 , Y02E10/563 , Y10S136/293
摘要： 公开了用于耦合光伏阵列的系统、方法和装置。所述装置可包括第一输入端，适于耦合到第一光伏阵列的中线；第二输入端，适于耦合到第二光伏阵列的中线；接触器，用于可切换地将第一光伏阵列的中线耦合到第二光伏阵列的中线，所述接触器可由电控制信号进行控制；以及控制输入端，适于将所述开关耦合到远程设置的控制器，以使所述控制器能够通过发送所述电控制信号来控制所述第一开关。
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公开(公告)号：CN101473131A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200780009231.7
申请日：2007-02-16
申请人： 先进能源工业公司
IPC分类号： F02M9/127
CPC分类号： F22B1/28 , F22B3/04 , Y10S261/65
摘要： 本发明涉及一种用于提供蒸汽的系统和方法。在一种变化中，液体被放到密闭容器中，并且所述密闭容器中的压力被降低到大气压力以下。监控所述容器中的压力并且响应于所检测的压力低于要求的水平时来加热液体。当必要时，将蒸汽从液体密闭容器输送到外部系统。
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公开(公告)号：CN101454735A
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200780019535.1
申请日：2007-04-27
申请人： 先进能源工业公司
发明人： A·斯米尔诺夫
IPC分类号： G05D7/00
CPC分类号： G05D7/0635 , G05B13/024 , Y10T137/0324 , Y10T137/7759
摘要： 本发明描述了一种使用自适应闭环控制算法来控制流体流量的系统和方法。一个实施例包括用于接收设定点指示值和/或由传感器产生的传感器指示值的方法。当基于所述传感器指示值和/或设定点指示值满足至少一个阈值时修改闭环控制算法的响应时间。响应于对所述闭环控制算法的响应时间的修改，通过调节与闭环控制算法相关联的至少一个参数来稳定由流量控制器实现的闭环控制算法。
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公开(公告)号：CN101411049A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200780011055.0
申请日：2007-02-26
申请人： 先进能源工业公司
发明人： M·伊利克
IPC分类号： H02M3/335
CPC分类号： H02M3/1584 , H02M7/493 , H02M2003/1586 , H03F3/217
摘要： 一种交错的软开关桥式功率变换器包括以交错方式工作的开关极，用以充分降低开关极元件中的导通开关损耗和二极管反向恢复损耗。将开关极布置成桥式电路，操作该桥式电路，以便向负载提供期望的电压、电流和/或功率波形。通过降低开关导通损耗和二极管反向恢复损耗，本发明的软开关功率变换器以更高的开关频率高效工作。本发明的软开关功率变换器也适用于大功率和高电压应用，例如等离子体处理、有源整流器、分布式发电、电动机驱动的逆变器和D类功率放大器。
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公开(公告)号：CN101180699A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200680017788.0
申请日：2006-03-17
申请人： 先进能源工业公司
发明人： T·J·布莱克本
IPC分类号： H01J7/24
CPC分类号： H01J37/3299 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/32183 , H03H7/38 , H05H1/46
摘要： 提供了一种连接在RF功率发生器的输出端与等离子体腔体的输入端之间的次级电抗终端电路，以允许对工艺等离子体中的次频率的电压和电流分量进行严格的调节或者限制。次级电抗电路对匹配网络的阻抗进行控制，其中最初将该匹配网络设计为从系统中的次频率来看，在RF功率发生器的基本频率进行操作。在终端电路的连接点上对功率传输分量进行测量，并且该功率传输分量用来作为反馈信号，以控制终端电路分量的可变值。
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公开(公告)号：CN101048931A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200580036728.9
申请日：2005-08-29
申请人： 先进能源工业公司
发明人： 布赖斯·L·黑斯特曼 , 米兰·伊利克 , 安德雷·B·马利宁
CPC分类号： H02M1/34 , H02M3/33569
摘要： 本发明提供一种适用于大功率、高电压应用的具有多重整流器的隔离电力变流器，该多重整流器由不限制电压变换范围的无损缓冲电路来缓冲。
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公开(公告)号：CN101040360A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200580029615.6
申请日：2005-06-09
申请人： 先进能源工业公司
发明人： 米兰·伊利克 , 卡利安·N·C·西德巴图拉 , 杰拉尔德·C·小鲁普 , 戴维·J·克里斯蒂
IPC分类号： H01J7/24
CPC分类号： H01J37/3405 , H01J37/32027 , H01J37/3299 , H05H1/46
摘要： 本发明提供了一种设备和方法，用于控制DC电磁管等离子体处理系统，所述系统根据负载的动态阻抗而自动调节对电源的控制信号，以控制到等离子体的输出功率。采用比开关频率至少高4到5倍的采样频率，对提供功率给等离子体的电源的输出电压和输出电流进行采样，并根据算法，基于所采样的电压和电流计算等离子体的动态阻抗，其中ΔVn和ΔIn是在一个开关周期内样本之间的最大差值。如果动态阻抗实际上为负，则因此对控制信号进行补偿。
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公开(公告)号：CN1860594A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200480028545.8
申请日：2004-09-30
申请人： 东京毅力科创株式会社 , 先进能源工业公司
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205
CPC分类号： H01J37/32174 , H01J37/321 , H01J37/32935
摘要： 本发明提供一种等离子处理系统(100)，包括具有基板支架(130)和电极(125)的处理腔(120)。处理系统包括压力控制系统、气体供给系和监控装置(160)。多频RF电源(110)经由具有单一可变元件的匹配电路(115)与电极(125)连结。多频RF电源设定为第一频率将等离子点火，设定为第二频率维持等离子。
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公开(公告)号：CN111357076A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201880074254.4
申请日：2018-10-11
申请人： 先进能源工业公司
发明人： G·J·J·范兹尔
摘要： 一种用于控制连接到负载的发电机的方法，该方法涉及获得与根据参考阻抗(Z？c#191)计算出的正向功率有关的第一测量值(M1)。该方法涉及调节发电机的输出，使得M1趋于第一设定值。该方法还涉及调节第一设定值，以便将常规发电机输出测量的第二测量值(M2)朝向第二设定值调节，其中，根据参考阻抗(Zc)计算出的正向功率等于公式(I)，其中v是参考点处的电压，该参考点可以在发电机和负载输入之间，并且i是参考点处相对于负载流动的电流(例如，朝向负载的电流或朝向发电机的电流的负值)。
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