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公开(公告)号：CN103276365A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310191941.3
申请日：2013-05-22
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种利用缓冲层优化硅衬底上氮化铌薄膜超导性能的方法，包括如下步骤：在高阻硅衬底上，通过磁控溅射六氮五铌薄膜作为缓冲层；在真空室中原位磁控溅射氮化铌薄膜。本发明在高阻硅衬底上，通过磁控溅射六氮五铌薄膜缓冲层，明显提高了氮化铌薄膜的超导性能，特别在超薄薄膜性能上提高更加明显。本发明也可推广到其他基片上提高氮化铌薄膜的超导性能，简单易行，效果明显。
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公开(公告)号：CN103175609A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310067215.0
申请日：2013-03-04
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种使用高温超导YBCO双晶结探测高温超导BSCCO太赫兹辐射的装置，包括相互连接的主体一和主体二，分别在所述主体一和主体二的对应位置设穿孔；在所述的穿孔内设超半球硅透镜一和超半球硅透镜二；待测BSCCO设在超半球硅透镜一外侧，并确保BSCCO结对准超半球硅透镜一的中心位置；待测YBCO设在超半球硅透镜二外侧，并确保YBCO结对准超半球硅透镜二的中心位置。该装置，结构简单，设计巧妙，可最大程度上减少辐射的损失。使用本发明的装置，可以成功使用高温超导YBCO双晶结探测到了来自BSCCO的太赫兹辐射。为今后研制集成了本振的高温超导YBCO太赫兹探测器打下基础。
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公开(公告)号：CN102324444A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110252925.1
申请日：2011-08-30
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种单光子探测器封装装置，包括由上到下依次设置的顶杆、顶盖和底座；所述顶杆和顶盖固定连接，顶盖和底座也固定连接；所述顶盖上设有至少两个通孔，其中第一通孔穿过并固定光纤，第二通孔穿过电缆；所述底座的上表面对应光纤的位置固定单光子探测器芯片，对应电缆的位置固定高频电路板，该单光子探测器芯片与高频电路板电连接。本发明结构紧凑，能够在20mm内径内实现双通道光电封装；使用光纤耦合外部被探测光，耦合效率大于95％并且干扰小；使用微带线共面波导和SMP高频接头连接芯片，提高了芯片输出电信号至外部放大器的传输性能；采用对称结构设计，方便组合，提高其重复使用效率。
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公开(公告)号：CN101271173A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810023970.8
申请日：2008-04-23
Applicant: 南京大学
IPC: G02B6/032
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹液芯光纤，包括外部的包层和内部的芯层，其中包层材料为聚四氟乙烯，芯层材料为非极性高碳烃类有机溶剂、弱极性高碳烃类有机溶剂或上述两者有机溶剂的混合物。上述芯层材料可以是高碳烷烃有机溶剂，特别是主要成分为高碳烷烃的石蜡油，很适合作为芯层材料。聚四氟乙烯在该波段的折射率变化小且数值略小，与芯层材料形成了相对光疏和光密关系，又具备损耗小，力学性能好，化学性能稳定等优点，因而可以作为太赫兹液芯光纤的包层材料。采用这两种材料制成的液芯光纤不仅在传输过程中光线损耗低，而且材料获取方便便于引入实际应用，且生产成本低廉，此外由于芯层为液体，相对普通光纤更易弯曲，安装也更方便。
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公开(公告)号：CN101158026A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200710132283.5
申请日：2007-09-13
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提供了一种在MgO或Si衬底上超薄NbN超导薄膜的生长方法，该方法包括(a)MgO或Si或SiOx/Si单晶基片的清洗；(b)将基片放入磁控溅射系统中的样品座上，样品座采用冷却循环水进行冷却，水温度低于摄氏20度；(c)对系统进行抽真空，利用离子束清洗技术清洗基片；(d)清洗结束，系统继续抽真空；(e)溅射生长NbN薄膜。XRD、AFM、TEM研究，证实了薄膜的外延性能以及薄膜生长的连续性和致密性。Si基片上的SiOx层有助于提高超薄NbN超导薄膜的超导电能，和单纯的单晶Si基片相比，其上生长的超薄NbN超导薄膜的Tc和Jc都更高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1482274A
公开(公告)日：2004-03-17
申请号：CN03132208.5
申请日：2003-07-31
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化镁单晶基片上的氮化铝薄膜及其制备方法，采用射频磁控溅射方法在衬底不加热的情况下，在氧化镁单晶基片上生长氮化铝薄膜，该薄膜和单晶基片衬底间晶格匹配良好，薄膜质量高。本发明广泛应用于微电子和超导电子领域中的高温、高频、大功率和短波长光电器件、压力传感器和热辐射传感器、高频声表面波器件以及电子器件的绝缘层和钝化层的制备和研究。
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公开(公告)号：CN115202080B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202210915644.8
申请日：2022-08-01
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种宽带高效的太赫兹偏振选择柔性超表面器件，所述超表面器件的单元结构由三层金属结构与两层柔性聚酰亚胺介质层组成；在0.6～1.0THz宽带范围内具有高线偏振转换效率；该器件可以应用于实现宽带高效的波束偏转和涡旋波；为实现信息加密、太赫兹无线通信和光谱学等领域的宽带应用提供了思路。
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公开(公告)号：CN119392171A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411576522.6
申请日：2024-11-06
Abstract: 本发明提供一种室温高质量无缓冲层生长α相钽膜的制备方法，将衬底装载到进样腔室，并抽真空至6e‑8Torr以下；将衬底传输至镀膜腔室，衬底与钽靶材相对设置，且衬底法线与钽靶材所在平面法线夹角为0°，调节衬底样品与钽靶材保持在预定的间距，并将镀膜腔室的真空抽至5e‑10Torr以下；在真空环境中预通入惰性气体，使腔室达到并维持在预定的气压；输出特定功率进行溅射镀膜，溅射完预定的溅射时间后，停止功率输出及惰性气体输入；将镀有α相钽膜的衬底由镀膜腔室传回进样腔室，使用氮气或氩气破真空取出。本发明提出一种由制备得到的钽膜来制备高品质因数谐振器量子器件的工艺流程。本发明提高了良品率，提升了器件性能，具有广泛的应用领域，包括但不限于量子计算等领域。
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公开(公告)号：CN111180848B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202010101138.6
申请日：2020-02-19
Applicant: 南京大学
IPC: H01P7/06
Abstract: 本发明公开了用NbN动态电感实现紧凑可调型微波谐振器的装置和方法，包括：直流源、衰减器、无氧铜腔体、超导线圈、第一级放大器、第二级放大器、矢量网络分析仪和控制电脑，利用超导状态下超薄NbN薄膜材料的高动态电感，在微波频段实现小尺寸的可调谐振器，相比于一般薄膜微波谐振器，其尺寸缩短10‑20倍，其可调性反映于将超薄NbN薄膜作为LC谐振电路，谐振器末端连接一个dc‑SQUID，外部磁场的变化引起dc‑SQUID等效电感的变化，从而改变谐振器总电感，对整个谐振电路的谐振频率产生调制作用。本发明实现了在低温下利用超薄NbN薄膜的动态电感实现紧凑型微波谐振器，并通过改变外加磁场大小来调制谐振频率。
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公开(公告)号：CN117832166A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311538767.5
申请日：2023-11-17
Applicant: 南京大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种用于电路连接的多形貌三折空气桥的制作方法，在衬底上旋涂光刻胶；进行灰度曝光，桥墩部分曝光剂量最大，桥面上升部分曝光剂量按照预设曲线变化，桥面水平部分与空气桥外侧不进行曝光；曝光显影完成，镀上导电层后按照设计的保护层版图进行保护层曝光，保护层的版图可以根据需要设计成十字型，Y型等等，设计水平桥面和上升桥面的大小比例可以保证桥的结构的稳定，平行的桥面作为公用部分链接各个桥墩；曝光显影后利用刻蚀法去除不需要的导电材料：最后进行光刻胶的剥离达到需要的空气桥。本发明提高了空气桥版图设计的灵活性和实用性，使得空气桥的设计可以适配更多更复杂的电路结构。
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