沉积IV族半导体的方法及相关的半导体器件结构

    公开(公告)号:CN109285765B

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN201810594778.8

    申请日:2018-06-11

    摘要: 公开了一种在衬底的表面上沉积IV族半导体的方法。所述方法可包括:在反应室内提供衬底并加热衬底至沉积温度。所述方法可还包括:暴露衬底于至少一种IV族前体和暴露衬底于至少一种IIIA族掺杂剂前体;其中所述至少一种IIIA族掺杂剂前体包含硼氢化物、有机硼氢化物、卤化物或有机卤化物。还提供了包含通过本公开的方法沉积的IV族半导体的半导体器件结构。

    层形成方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109427570B

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN201810988222.7

    申请日:2018-08-28

    摘要: 本发明提供一种层形成方法,包括在衬底上沉积晶种层;以及在所述晶种层上沉积主体层。沉积所述晶种层包括向所述衬底供应包括金属和卤素原子的第一前体;以及向所述衬底供应第一反应物。沉积所述主体层包括向所述晶种层供应包括金属和卤素原子的第二前体;以及向所述晶种层供应第二反应物,其中所述第一和第二前体不同。通过使晶种层和主体层具有不同第一和第二前体,可以优化晶种层和主体层的特性以使得可以提高总层的质量。衬底上的层可以用于制造半导体装置。

    半导体处理设备以及用于校准半导体处理设备的方法

    公开(公告)号:CN109103125B

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN201810612758.9

    申请日:2018-06-14

    IPC分类号: H01L21/67

    摘要: 公开了一种半导体处理设备。所述半导体处理设备可包括:反应室,所述反应室包括:由竖直侧壁连接的上室壁和下室壁,所述室壁由上游入口法兰和下游出口法兰接合,其中所述室的纵向方向从所述入口法兰延伸到所述出口法兰;以及设置在至少所述上室壁的外表面上的多个肋材,所述多个肋材横向于所述室的所述纵向方向而定向。所述半导体处理设备还可包括:至少一个加热元件阵列,所述至少一个加热元件阵列安置在所述反应室上方;以及至少一个可变定位装置,所述至少一个可变定位装置连接到所述至少一个加热元件阵列并且被配置成相对于所述多个肋材的位置可控制地调整所述至少一个加热元件阵列的位置。还公开了校准半导体处理设备的方法。

    用于在沟槽侧壁或平整表面上选择性形成氮化硅膜的方法

    公开(公告)号:CN107104036B

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN201710086406.X

    申请日:2017-02-17

    IPC分类号: H01L21/02

    摘要: 一种用于在沟槽中制备层结构的方法,其包括:同时在沟槽的上表面和底表面以及侧壁上形成含有Si‑N键的介电膜,其中通过由在两个电极之间施加电压激发的等离子体的轰击使在上表面和底表面上形成的膜的顶部/底部部分和在侧壁上形成的膜的侧壁部分具有不同的耐化学性,所述在电极之间将基材平行于两个电极放置;并且通过湿蚀刻基本去除所述膜的顶部/底部部分和侧壁部分中的任一个但不同时去除两个,所述湿蚀刻根据不同的耐化学性,相对于所述膜的顶部/底部部分和侧壁部分中的一个,更主要地去除所述膜的顶部/底部部分和侧壁部分中的另一个。

    用于重复数据删除云分层的垃圾收集

    公开(公告)号:CN113728303B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN201980095772.9

    申请日:2019-12-20

    IPC分类号: G06F3/06 G06F12/02

    摘要: 用于执行数据保护操作的系统和方法,所述数据保护操作包括垃圾收集操作和拷贝转发操作。对于存储在基于云的存储器或云分层(所述云分层存储包含死区和活区(诸如压缩区)的容器)中的被进行重复数据删除的数据,通过将活压缩区拷贝到新容器中且然后删除旧容器来删除死压缩区中的死片段。所述拷贝转发基于来自数据保护系统的方案并且使用基于微服务的方法来执行。

    使用分布式分段处理借用的资源分配

    公开(公告)号:CN112823338B

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN201980066423.4

    申请日:2019-07-30

    发明人: K·B·德赛

    IPC分类号: G06F9/50 G06F3/06

    摘要: 公开了用于分配资源的系统和方法。分配作为处理时间、写入或读取的资源。以确保系统在安全分配状态下操作的方式将借用分发给客户端。借用不仅可用于分配资源,还可在必要时用于节流客户端。可以全部地、部分地、和以大于请求的数量地许可借用。还可以分发零或负借用来节流客户端。分段借用与识别唯一的指纹或分段相关联并且可以通过确定CPU/核能够支持多少个借用来进行分配。该最大数量可以在与服务器连接的客户端之间划分。

    自动定位放置系统
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115214866B

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202210862355.6

    申请日:2017-03-29

    发明人: B·泰尔斯

    摘要: 一种由自动定位放置系统使船舶自动地移动的方法包括:由中央处理单元从视觉测距摄影系统接收至少一个光学馈送,所述至少一个光学馈送包括提供船舶周围的环境的映射的数据。所述方法包括由所述中央处理单元在触摸屏监视器上显示所述环境的所述映射。所述方法包括由所述中央处理单元从所述触摸屏监视器接收目标定位数据。所述方法包括由所述中央处理单元使用所述映射来指导所述船舶的推进系统的至少一个元件,以使所述船舶移动到所述目标定位。