公开(公告)号：CN112087215B

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN201911291846.4

申请日：2019-12-16

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李泰京 ,  庆济弘 ,  李文喆 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H9/17

摘要： 提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板，包括外部连接电极；连接层，连接到所述外部连接电极且设置在所述基板上；第一电极，被设置为覆盖所述连接层的至少一部分；压电层，被设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极，被设置为覆盖所述压电层的至少一部分。所述连接层可被设置为围绕腔，并且可连接到所述第一电极和所述第二电极。

公开(公告)号：CN111585538B

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN201910981147.6

申请日：2019-10-16

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李泰京 ,  庆济弘 ,  金成善 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC分类号： H03H9/17

摘要： 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极，并且还包括中央部和沿所述中央部的周边设置的延伸部；以及插入层，设置在所述延伸部中并位于所述第一电极和所述压电层之间，并且所述插入层利用含钪(Sc)的铝合金形成。

公开(公告)号：CN111585538A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201910981147.6

申请日：2019-10-16

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李泰京 ,  庆济弘 ,  金成善 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC分类号： H03H9/17

摘要： 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极，并且还包括中央部和沿所述中央部的周边设置的延伸部；以及插入层，设置在所述延伸部中并位于所述第一电极和所述压电层之间，并且所述插入层利用含钪(Sc)的铝合金形成。

公开(公告)号：CN111342798A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201910772357.4

申请日：2019-08-21

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 庆济弘 ,  李泰京 ,  金成善 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H3/00

摘要： 本公开提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地设置在所述第一电极上；以及第二电极，设置在所述压电层上；其中，所述第一电极包括含钪(Sc)铝合金层，并且具有基于算术平均粗糙度的2.4nm或更小的表面粗糙度。

公开(公告)号：CN109217840B

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN201810676270.2

申请日：2018-06-27

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李泰京 ,  金成善 ,  尹湘基 ,  林昶贤 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  庆济弘

IPC分类号： H03H9/17 ,  H03H3/02

摘要： 本发明提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括基板、中央部分、延伸部分和阻挡层。在所述中央部分中，第一电极、压电层和第二电极依次堆叠在所述基板上。所述延伸部分被构造为从所述中央部分延伸并包括设置在所述压电层下方的插入层。所述阻挡层设置在所述第一电极和所述压电层之间。

公开(公告)号：CN110553960A

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201910052777.5

申请日：2019-01-21

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李泰京 ,  庆济弘 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC分类号： G01N15/06 ,  H03H9/17

摘要： 本发明提供一种细尘浓度传感器，所述细尘浓度传感器包括体声波谐振器和盖，所述盖包括其中具有孔的上部和连接到所述上部的侧部以容纳所述体声波谐振器。所述盖的所述上部的上表面涂覆有疏水材料。

公开(公告)号：CN109412550A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201810937920.4

申请日：2018-08-17

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李泰京 ,  申兰姬 ,  庆济弘 ,  李华善 ,  孙晋淑 ,  金成善

IPC分类号： H03H9/17 ,  H03H9/02

摘要： 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地设置在所述下电极上；以及上电极，设置在所述压电层上，其中，所述下电极和所述上电极中的任意一者或者两者具有包括钪(Sc)的铝合金的层。

公开(公告)号：CN108023560B

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN201710999415.8

申请日：2017-10-24

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 庆济弘 ,  孙晋淑 ,  李华善 ,  李尚泫

IPC分类号： H03H3/02 ,  H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

摘要： 本发明提供一种包括体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法。所述体声波谐振器包括：基板，基板保护层设置在所述基板的顶表面上；膜层，与所述基板限定腔；以及谐振部，设置在所述膜层上。所述膜层包括第一层和第二层，所述第二层具有与所述第一层的材料相同的材料，并且所述第二层的密度大于所述第一层的密度。

公开(公告)号：CN106505964B

公开(公告)日：2020-05-26

申请号：CN201610523219.9

申请日：2016-07-05

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李在祥 ,  郑镐弼 ,  金成昱 ,  朴泰俊 ,  姜仁瑛 ,  吴东俊 ,  庆济弘 ,  李教烈 ,  李锺泌 ,  林承模

IPC分类号： H03H9/05 ,  H03H9/10 ,  H03H9/19

摘要： 本发明提供一种压电振荡器及其制造方法，所述压电振荡器包括：振荡基板，包括振荡部和环绕部，其中，所述环绕部比所述振荡部薄；以及振荡电极，被配置在所述振荡部的上表面和下表面上。根据H＝400.59×S+1.75±1.5构造所述振荡基板，其中，H＝100×(T2/T1)，并且S＝T2/(L1‑L2)，其中，L1表示所述振荡基板的整个长度，L2表示所述振荡部的长度，T1表示所述振荡部的厚度，T2表示在所述振荡部与所述环绕部之间的台阶高度。

公开(公告)号：CN111010113A

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201910720464.2

申请日：2019-08-06

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李泰京 ,  孙晋淑 ,  庆济弘 ,  金成善 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/13 ,  H03H9/17

摘要： 本公开提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；种子层，设置在所述基板上，并且所述种子层具有六方晶体结构；底电极，设置在所述种子层上；压电层，至少部分地设置在所述底电极上；以及顶电极，设置在所述压电层上，其中，所述底电极和所述顶电极中的任意一个或两个包括含钪(Sc)铝合金层。