公开(公告)号：CN110504936B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN201910404727.9

申请日：2019-05-16

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 金龙石 ,  李文喆 ,  李成俊 ,  林昶贤 ,  吉宰亨 ,  李尚泫

IPC分类号： H03H3/02 ,  H03H9/00 ,  H03H9/02

摘要： 本公开提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，被设置为覆盖所述下电极的至少一部分；上电极，被设置为覆盖所述压电层的至少一部分；以及钝化层，被设置为覆盖所述上电极的至少一部分，其中，所述钝化层包括非修整加工部，所述非修整加工部设置在所述体声波谐振器的有效区的外部，并且所述非修整加工部的厚度比所述钝化层的设置在所述有效区中的部分的厚度厚，其中，所述有效区叠置有所述下电极的部分、所述压电层的部分和所述上电极的部分。

公开(公告)号：CN107565927B

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201710511500.5

申请日：2017-06-28

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李尚泫

IPC分类号： H03H9/05 ,  H03H9/10 ,  H03H9/54

摘要： 本发明提供一种体声波滤波器，所述体声波滤波器包括：基板；壳体；第一电极和第二电极，设置在所述基板上；第一压电层，包含压电材料，所述第一压电层设置在所述第一电极和所述第二电极之间；及无源元件，设置在所述壳体的一个表面上。所述壳体结合至所述基板以容纳所述第一压电层、所述第一电极和所述第二电极。

公开(公告)号：CN108023560B

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN201710999415.8

申请日：2017-10-24

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 庆济弘 ,  孙晋淑 ,  李华善 ,  李尚泫

IPC分类号： H03H3/02 ,  H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

摘要： 本发明提供一种包括体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法。所述体声波谐振器包括：基板，基板保护层设置在所述基板的顶表面上；膜层，与所述基板限定腔；以及谐振部，设置在所述膜层上。所述膜层包括第一层和第二层，所述第二层具有与所述第一层的材料相同的材料，并且所述第二层的密度大于所述第一层的密度。

公开(公告)号：CN107094001A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201610913961.0

申请日：2016-10-20

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 梁正承 ,  李尚泫 ,  朴皓埈 ,  李玲揆

IPC分类号： H03H9/17 ,  H03H3/02

摘要： 本发明提供一种声波谐振器及其制造方法。所述声波谐振器包括：基板，其中设置有过孔并具有形成在所述基板的第一表面上的膜结构；盖子，容纳所述膜结构并结合到所述基板。所述盖子包括与所述膜结构接触的支撑块。

公开(公告)号：CN110504936A

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201910404727.9

申请日：2019-05-16

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 金龙石 ,  李文喆 ,  李成俊 ,  林昶贤 ,  吉宰亨 ,  李尚泫

IPC分类号： H03H3/02 ,  H03H9/00 ,  H03H9/02

摘要： 本公开提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，被设置为覆盖所述下电极的至少一部分；上电极，被设置为覆盖所述压电层的至少一部分；以及钝化层，被设置为覆盖所述上电极的至少一部分，其中，所述钝化层包括非修整加工部，所述非修整加工部设置在所述体声波谐振器的有效区的外部，并且所述非修整加工部的厚度比所述钝化层的设置在所述有效区中的部分的厚度厚，其中，所述有效区叠置有所述下电极的部分、所述压电层的部分和所述上电极的部分。

公开(公告)号：CN108023560A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201710999415.8

申请日：2017-10-24

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 庆济弘 ,  孙晋淑 ,  李华善 ,  李尚泫

IPC分类号： H03H3/02 ,  H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

CPC分类号： H03H9/02047 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02086 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/173 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/0435 ,  H03H2003/0442

摘要： 本发明提供一种包括体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法。所述体声波谐振器包括：基板，基板保护层设置在所述基板的顶表面上；膜层，与所述基板限定腔；以及谐振部，设置在所述膜层上。所述膜层包括第一层和第二层，所述第二层具有与所述第一层的材料相同的材料，并且所述第二层的密度大于所述第一层的密度。

公开(公告)号：CN107565927A

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201710511500.5

申请日：2017-06-28

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李尚泫

IPC分类号： H03H9/54

摘要： 本发明提供一种体声波滤波器，所述体声波滤波器包括：基板；壳体；第一电极和第二电极，设置在所述基板上；第一压电层，包含压电材料，所述第一压电层设置在所述第一电极和所述第二电极之间；及无源元件，设置在所述壳体的一个表面上。所述壳体结合至所述基板以容纳所述第一压电层、所述第一电极和所述第二电极。