制造光电器件的方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103050568A

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201210371153.8

    申请日:2012-09-28

    Abstract: 本发明提供一种制造太阳能电池的方法,所述方法包括:提供具有第一导电类型的半导体基底;执行第一沉积工艺,所述第一沉积工艺包括形成具有与第一导电类型不同的第二导电类型的第一掺杂材料层;执行推阱工艺,所述推阱工艺包括将其上具有第一掺杂材料层的基底进行加热;在执行推阱工艺之后执行第二沉积工艺,第二沉积工艺包括在第一掺杂材料层上形成第二掺杂材料层,其中,第二掺杂材料层具有第二导电类型;用激光将基底、第一掺杂材料层和第二掺杂材料层的部分进行局部加热,从而在基底的第一表面处形成接触层;以及在接触层上形成第一电极,并在基底的与第一表面相对的第二表面上形成第二电极。

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