公开(公告)号：CN109427523A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201811030301.3

申请日：2018-09-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  小松智仁 ,  长田勇辉 ,  宫下大幸 ,  齐藤进 ,  古木和弘 ,  佐藤干夫 ,  镰田英纪

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种等离子体探测装置，其包括：天线部，其隔着将真空空间与大气空间之间密封的密封部件安装于开口部中，其中，上述开口部形成在处理容器的壁部或载置台；与上述天线部连接的电极；和由电介质形成的对上述天线部从周围进行支承的电介质支承部，上述天线部与上述壁部或上述载置台的相对面以规定的距离隔开间隔，上述天线部的从上述开口部露出的面，与形成有该开口部的上述壁部或上述载置台的等离子体生成空间侧的面相比凹入到内侧。由此，能够提供避免气体侵入的等离子体探测装置。

公开(公告)号：CN109427523B

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN201811030301.3

申请日：2018-09-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  小松智仁 ,  长田勇辉 ,  宫下大幸 ,  齐藤进 ,  古木和弘 ,  佐藤干夫 ,  镰田英纪

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种等离子体探测装置，其包括：天线部，其隔着将真空空间与大气空间之间密封的密封部件安装于开口部中，其中，上述开口部形成在处理容器的壁部或载置台；与上述天线部连接的电极；和由电介质形成的对上述天线部从周围进行支承的电介质支承部，上述天线部与上述壁部或上述载置台的相对面以规定的距离隔开间隔，上述天线部的从上述开口部露出的面，与形成有该开口部的上述壁部或上述载置台的等离子体生成空间侧的面相比凹入到内侧。由此，能够提供避免气体侵入的等离子体探测装置。

公开(公告)号：CN102753727A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201180006900.1

申请日：2011-03-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 米泽亮太 ,  高桥哲朗 ,  大崎良规 ,  铃木公贵 ,  齐藤智博 ,  山下润 ,  佐藤吉宏 ,  盐泽俊彦 ,  山崎幸一 ,  古木和弘

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/50 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/3222 ,  H01J2237/166

Abstract: 在电介质板（28）和盖部件（13）的支撑部（13a）之间具有环状的O型环（29a），并且在该O型环（29a）的外周侧设置有用于在处理容器（1）的上部配置的盖部件（13）的支撑部（13a）和电介质板（28）之间形成缝隙（d）的垫片（60）。即使处理容器（1）内的等离子体的热导致盖部件（13）和电介质板（28）热膨胀，通过缝隙（d），盖部件（13）和电介质板（28）也不会接触、摩擦，能够防止电介质板（28）的破损和颗粒的产生。

公开(公告)号：CN301890754S

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201130327095.5

申请日：2011-09-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 铃木公贵 ,  古木和弘 ,  山崎幸一

Abstract: 1.外观设计产品的名称：腔室块体。2.外观设计产品的用途：本产品是使用等离子体对基板进行蚀刻等处理的等离子体处理装置中的处理容器的一部分。3.外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4.指定的图片或照片：立体图。