锇膜电阻型原子氧密度传感器芯片的制备方法

    公开(公告)号:CN106637110B

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201610910439.7

    申请日:2016-10-19

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种锇膜电阻型原子氧密度传感器芯片的制备方法,包括以下步骤:(1)将基片、基片固定板、锇膜线掩膜板和电极掩膜板分别依次在丙酮、酒精和去离子水中超声振荡清洗;(2)将经清洗后的基片固定在清洗后的基片固定板上,将经清洗后的锇膜线掩膜板盖在基片上,通过磁控溅射在基片上沉积锇膜线;(3)取出锇膜线掩膜板并将经清洗后的电极掩膜板盖在沉积有锇膜线的基片上,通过磁控溅射在锇膜线的两端沉积铜膜或金膜;(4)对沉积有锇膜线并且沉积有铜膜或金膜的基片在真空条件下进行低温热处理,然后随炉冷却,即得芯片。该制备方法工艺简单,通过该方法制备得到的芯片中锇膜表面平整无微裂纹且厚度较大。

    泡沫石墨烯骨架增强铝基复合材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN105603265B

    公开(公告)日:2017-10-31

    申请号:CN201610161189.1

    申请日:2016-03-21

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 一种泡沫石墨烯骨架增强铝基复合材料及其制备方法,所述复合材料由泡沫衬底、石墨烯强化层、基体材料组成,或在其中加入强化颗粒。泡沫衬底为泡沫金属或泡沫陶瓷或泡沫碳。基体材料包括铝及铝基合金。强化颗粒为高导热金刚石粉、石墨烯、碳纳米管中的至少一种或复合,或为增加复合材料机械强度及降低热膨胀系数的高导热低膨胀陶瓷颗粒。本发明制得的复合材料因石墨烯与铝在三维空间内保持连续分布,形成了网络互穿结构,从而弱化了复合界面对材料热学和电学性能的显著影响,既能不降低金属基体在复合材料中的良好塑韧性,又能使增强相成为一个整体,最大限度地发挥增强体的导热和导电效率,使复合材料的热导率、导电率及机械强度相比较传统复合材料有极大提高,是一种很有潜力的新型多功能复合材料。

    一种片状金刚石增强金属基复合材料及制备方法

    公开(公告)号:CN105220049B

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201510660439.1

    申请日:2015-10-12

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 一种片状金刚石增强金属基复合材料及制备方法,所述的复合材料是在基体金属中设置有金刚石薄片,金刚石薄片与基体金属为冶金结合;其制备方法,是采用熔铸、熔渗、冷压烧结、热压烧结、等离子烧结中的一种工艺,将基体金属或包含表面改性金刚石颗粒的基体金属与金刚石薄片复合,得到金刚石薄片与基体金属冶金结合的片状金刚石增强金属基复合材料。本发明通过金属基体中分布片状金刚石骨架,并在金属基体中添加一定量的金刚石颗粒,金刚石薄片采用底层金属膜与面层金属膜之间夹装石墨烯层的三明治构成进行表面改性,使该复合材料具有优异的导热性能,该复合材料可用作电子封装和热沉材料等,解决了高温、高频、大功率电子器件的封装问题。

    一种三维空间网络多孔高效散热器及应用

    公开(公告)号:CN105792605A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610162581.8

    申请日:2016-03-21

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 一种三维空间网络多孔高效散热器及应用,所述散热器包括三维空间网络多孔散热体、外壳、热交换流体、驱动设备,所述三维空间网络多孔散热体由泡沫金属骨架、高导热强化层组成,所述高导热强化层通过化学气相沉积方法均匀沉积在泡沫金属骨架表面,所述高导热强化层选自金刚石膜、石墨烯包覆金刚石、碳纳米管包覆金刚石、碳纳米管/石墨烯包覆金刚石中的一种。本发明制得的高效散热器中的散热体以无缝连接的方式构成一个全连通的整体,以三维网络的形式均匀的分布于外壳中,相较传统散热器具有优异的连续导热能力,可在空间网络引入液态或气态流体强化散热,可以广泛应用于在热管理、电子、能源、交通等国民经济领域。

    泡沫金刚石骨架增强铜基复合材料及制备方法

    公开(公告)号:CN105779805A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610162466.0

    申请日:2016-03-21

    Applicant: 中南大学

    CPC classification number: C22C1/08 C22C9/00

    Abstract: 本发明提供一种泡沫金刚石骨架增强铜基复合材料及其制备方法,所述复合材料由泡沫衬底、金刚石强化层、基体材料组成。其中泡沫衬底为泡沫金属或泡沫陶瓷或泡沫碳,基体材料为铜及其合金,金刚石强化层为金刚石或金刚石与石墨烯或/和碳纳米管。本发明制得的复合材料增强相与基体相在三维空间内保持连续分布,使金刚石和基体形成了网络互穿构形,从而可弱化复合界面对材料热学性能的显著影响,既能不降低金属基体在复合材料中的良好塑韧性,又能使增强相成为一个整体,最大限度地发挥增强体的导热效率,使复合材料的热导率、电导率及机械强度相比较传统复合材料有极大提高,是一种很有潜力的新型多功能复合材料。

    一种泡沫骨架增强聚合物基复合材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN105733192A

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201610162661.3

    申请日:2016-03-21

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 一种泡沫骨架增强聚合物基复合材料及制备方法,所述复合材料由泡沫骨架,表面强化材料与基体材料组成,或在其中加入强化颗粒。泡沫骨架可为泡沫金属、泡沫陶瓷或泡沫碳。表面强化材料为金刚石膜,石墨烯膜、碳纳米管等高导热材料中的一种或复合。基体材料为聚合物材料。强化颗粒为高导热金刚石粉、石墨烯、碳纳米管、石墨烯包覆金刚石微球、碳纳米管包覆金刚石微球,或为增加复合材料机械强度及降低热平衡系数的高导热陶瓷颗粒。本发明制得的复合材料可借助于以表面改性的泡沫骨架的高导热性能、较好的导电性能及优异的机械性能,使复合材料的热导率、导电率及机械强度相比较传统复合材料有极大提高,是一种很有潜力的新型多功能复合材料。

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