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公开(公告)号：CN102449000A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080024220.8
申请日：2010-05-20
申请人： 中央硝子株式会社
IPC分类号： C08F20/22 , C07C69/653 , C07C69/732 , C08F12/14 , C08F16/12 , C08F32/08 , G03F7/039 , G03F7/11
CPC分类号： C07C69/653 , C07C69/675 , C07C69/732 , C07C2602/42 , C07C2603/68 , C08F220/24 , C08F220/30 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
摘要： 本发明的含氟高分子化合物是包含通式(2)所示的重复单元(a)的、质均分子量为1,000～1,000,000的树脂。该树脂可以适用于利用300nm以下波长的高能射线或电子束来形成图案的抗蚀剂组合物、和浸没式光刻中的顶涂层组合物，其特征在于拒水性、特别是后退接触角大。(式中，R1表示含有聚合性双键的基团，R2表示氟原子或含氟烷基，R8表示取代或非取代的烷基等，W1表示单键、非取代或取代的亚甲基等。)
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公开(公告)号：CN102164883B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN200980137940.2
申请日：2009-09-24
申请人： 中央硝子株式会社
IPC分类号： C07C67/317 , C07C69/65
CPC分类号： C07C67/317 , C07C67/327 , C07C69/65
摘要： 通过使α-三氟甲基-α-羟基酯类在有机碱的存在下与硫酰氟(SO2F2)反应，可以制造α-三氟甲基-α，β-不饱和酯类。作为原料基质，β位的一个取代基为氢原子，另一个取代基为烷基、取代烷基、烯基、取代烯基、芳香环基或取代芳香环基，并且酯基为烷基酯的情况是更优选的。该原料基质容易获得，可以良好地进行所期望的反应。作为有机碱，更优选1，5-二氮杂双环[4.3.0]壬-5-烯(DBN)或1，8-二氮杂双环[5.4.0]十一碳-7-烯(DBU)。通过使用该有机碱，从而更良好地进行所期望的反应。
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公开(公告)号：CN102164883A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980137940.2
申请日：2009-09-24
申请人： 中央硝子株式会社
IPC分类号： C07C67/317 , C07C69/65
CPC分类号： C07C67/317 , C07C67/327 , C07C69/65
摘要： 通过使α-三氟甲基-α-羟基酯类在有机碱的存在下与硫酰氟(SO2F2)反应，可以制造α-三氟甲基-α，β-不饱和酯类。作为原料基质，β位的一个取代基为氢原子，另一个取代基为烷基、取代烷基、烯基、取代烯基、芳香环基或取代芳香环基，并且酯基为烷基酯的情况是更优选的。该原料基质容易获得，可以良好地进行所期望的反应。作为有机碱，更优选1，5-二氮杂双环[4.3.0]壬-5-烯(DBN)或1，8-二氮杂双环[5.4.0]十一碳-7-烯(DBU)。通过使用该有机碱，从而更良好地进行所期望的反应。
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公开(公告)号：CN102449000B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201080024220.8
申请日：2010-05-20
申请人： 中央硝子株式会社
IPC分类号： C08F20/22 , C07C69/653 , C07C69/732 , C08F12/14 , C08F16/12 , C08F32/08 , G03F7/039 , G03F7/11
CPC分类号： C07C69/653 , C07C69/675 , C07C69/732 , C07C2602/42 , C07C2603/68 , C08F220/24 , C08F220/30 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
摘要： 本发明的含氟高分子化合物是包含通式(2)所示的重复单元(a)的、质均分子量为1,000～1,000,000的树脂。该树脂可以适用于利用300nm以下波长的高能射线或电子束来形成图案的抗蚀剂组合物、和浸没式光刻中的顶涂层组合物，其特征在于拒水性、特别是后退接触角大。(式中，R1表示含有聚合性双键的基团，R2表示氟原子或含氟烷基，R8表示取代或非取代的烷基等，W1表示单键、非取代或取代的亚甲基等。)
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公开(公告)号：CN102186890B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN200980140890.3
申请日：2009-10-08
申请人： 中央硝子株式会社
IPC分类号： C08F20/38 , C07C303/32 , C07C309/12 , C07C381/12 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： C07C303/32 , C07C309/12 , C07C309/20 , C07C381/12 , C08F220/24 , C08F220/38 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/30 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , C08F220/28
摘要： 本发明提供下述通式(2)所示的聚合性含氟磺酸鎓盐及将其聚合而成的聚合物。通过使用本发明的该磺酸盐树脂，能够调制分辨率优异、景深范围(DOF)宽、线边缘粗糙度(“LER”)小、而且灵敏度高的抗蚀剂组合物。(式中，Z表示取代或非取代的碳原子数1～6的直链或支链的亚烷基、或者该亚烷基与从脂环式烃或芳香族烃中脱离二个氢原子而得到的二价基团串联结合而得到的二价基团。R表示氢原子、卤素原子或者碳原子数1～3的烷基或含氟烷基。Q+表示锍阳离子或碘鎓阳离子)。
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公开(公告)号：CN102186890A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200980140890.3
申请日：2009-10-08
申请人： 中央硝子株式会社
IPC分类号： C08F20/38 , C07C303/32 , C07C309/12 , C07C381/12 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： C07C303/32 , C07C309/12 , C07C309/20 , C07C381/12 , C08F220/24 , C08F220/38 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/30 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , C08F220/28
摘要： 本发明提供下述通式(2)所示的聚合性含氟磺酸鎓盐及将其聚合而成的聚合物。通过使用本发明的该磺酸盐树脂，能够调制分辨率优异、景深范围(DOF)宽、线边缘粗糙度(“LER”)小、而且灵敏度高的抗蚀剂组合物。(式中，Z表示取代或非取代的碳原子数1～6的直链或支链的亚烷基、或者该亚烷基与从脂环式烃或芳香族烃中脱离二个氢原子而得到的二价基团串联结合而得到的二价基团。R表示氢原子、卤素原子或者碳原子数1～3的烷基或含氟烷基。Q+表示锍阳离子或碘鎓阳离子。)
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