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公开(公告)号：CN103801489A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310344687.6
申请日：2013-08-08
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板制造方法及基板制造装置。本发明的基板制造方法能够抑制因图像数据的校正处理而装置所占用的时间延长及成本增加的同时，考虑到基板的变形来形成薄膜。准备将定义在基板上应形成的薄膜的形状的光栅格式的图像数据压缩而成的压缩数据。测定基板的在面内方向上的变形量。根据所测定的变形量，对压缩数据以压缩格式状态实施像素的插入或去除处理来生成变形修正数据。根据所生成的变形修正数据在基板上形成薄膜。
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公开(公告)号：CN103718660B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201280035355.3
申请日：2012-07-06
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: H05K3/28 , B05D1/26 , H05K2203/0126
Abstract: 本发明提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。
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公开(公告)号：CN103801489B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310344687.6
申请日：2013-08-08
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板制造方法及基板制造装置。本发明的基板制造方法能够抑制因图像数据的校正处理而装置所占用的时间延长及成本增加的同时，考虑到基板的变形来形成薄膜。准备将定义在基板上应形成的薄膜的形状的光栅格式的图像数据压缩而成的压缩数据。测定基板的在面内方向上的变形量。根据所测定的变形量，对压缩数据以压缩格式状态实施像素的插入或去除处理来生成变形修正数据。根据所生成的变形修正数据在基板上形成薄膜。
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公开(公告)号：CN103718660A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280035355.3
申请日：2012-07-06
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: H05K3/28 , B05D1/26 , H05K2203/0126
Abstract: 本发明提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。
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