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公开(公告)号：CN103688603B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201280035149.2
申请日：2012-06-12
申请人： 住友重机械工业株式会社
CPC分类号： H05K3/0091 , H05K3/28 , H05K2201/09909 , H05K2203/0759
摘要： 本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置。通过反复进行薄膜材料的液滴向基板的表面中形成薄膜图案的区域的边缘的着落与已着落的薄膜材料的固化，在形成薄膜图案的区域的边缘形成由薄膜材料构成的边缘图案。以边缘图案来使薄膜材料的液滴着落于所划分出边缘的内部区域。使着落于内部区域的薄膜材料固化。形成由边缘图案和着落于内部区域的薄膜材料构成的薄膜图案。
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公开(公告)号：CN102909954B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201210275135.X
申请日：2012-08-03
申请人： 住友重机械工业株式会社
摘要： 本发明提供一种薄膜图案形成装置、薄膜图案形成方法及装置的调整方法。当产生喷嘴孔堵塞等不良情况时，不得不停止运转中的装置并更换喷头。期望缩减装置的运转停止时间的技术。本发明的薄膜图案形成装置中，设置有多个吐出薄膜材料的液滴的喷嘴孔的喷嘴单元与保持于载物台的基板对置。移动机构相对于喷嘴单元向基板的面内方向移动基板。第1拍摄装置检测由涂布于基板的薄膜材料形成的薄膜图案。控制装置使薄膜材料的液滴从喷嘴单元向基板吐出，由附着于基板的薄膜材料形成检查图案。另外，通过获取并分析用第1拍摄装置拍摄的检查图案的图像数据来判定喷嘴单元的喷嘴孔是否良好。
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公开(公告)号：CN1332054A
公开(公告)日：2002-01-23
申请号：CN01124917.X
申请日：2001-06-09
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 矶圭二
CPC分类号： H05K3/0038 , B23K26/042 , B23K26/06 , B23K26/0604 , B23K26/0613 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , H05K2203/108
摘要： 本发明提供一种使用紫外线区波长的激光束可缩短加工时间的激光加工装置以及加工方法。这种激光加工装置具有控制装置,该控制装置输出具有周期性波形的第1转机信号和与该第1转机信号同步的具有周期性波形的第2转机信号;第1激光源,该第1激光源与上述第1转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第1脉冲激光束;第2激光源,该第2激光源与上述第2转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第2脉冲激光束;将上述第1脉冲激光束和上述第2脉冲激光束会聚到同一点的聚光光学系统,以及保持装置,该保持装置将被加工物保持在受由上述聚光光学系统会聚的脉冲激光束照射的位置。
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公开(公告)号：CN103718660B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201280035355.3
申请日：2012-07-06
申请人： 住友重机械工业株式会社
CPC分类号： H05K3/28 , B05D1/26 , H05K2203/0126
摘要： 本发明提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。
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公开(公告)号：CN103718660A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280035355.3
申请日：2012-07-06
申请人： 住友重机械工业株式会社
CPC分类号： H05K3/28 , B05D1/26 , H05K2203/0126
摘要： 本发明提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。
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公开(公告)号：CN103688603A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201280035149.2
申请日：2012-06-12
申请人： 住友重机械工业株式会社
CPC分类号： H05K3/0091 , H05K3/28 , H05K2201/09909 , H05K2203/0759
摘要： 本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置。通过反复进行薄膜材料的液滴向基板的表面中形成薄膜图案的区域的边缘的着落与已着落的薄膜材料的固化，在形成薄膜图案的区域的边缘形成由薄膜材料构成的边缘图案。以边缘图案来使薄膜材料的液滴着落于所划分出边缘的内部区域。使着落于内部区域的薄膜材料固化。形成由边缘图案和着落于内部区域的薄膜材料构成的薄膜图案。
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公开(公告)号：CN102909954A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210275135.X
申请日：2012-08-03
申请人： 住友重机械工业株式会社
摘要： 本发明提供一种薄膜图案形成装置、薄膜图案形成方法及装置的调整方法。当产生喷嘴孔堵塞等不良情况时，不得不停止运转中的装置并更换喷头。期望缩减装置的运转停止时间的技术。本发明的薄膜图案形成装置中，设置有多个吐出薄膜材料的液滴的喷嘴孔的喷嘴单元与保持于载物台的基板对置。移动机构相对于喷嘴单元向基板的面内方向移动基板。第1拍摄装置检测由涂布于基板的薄膜材料形成的薄膜图案。控制装置使薄膜材料的液滴从喷嘴单元向基板吐出，由附着于基板的薄膜材料形成检查图案。另外，通过获取并分析用第1拍摄装置拍摄的检查图案的图像数据来判定喷嘴单元的喷嘴孔是否良好。
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公开(公告)号：CN1145541C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN01124917.X
申请日：2001-06-09
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 矶圭二
CPC分类号： H05K3/0038 , B23K26/042 , B23K26/06 , B23K26/0604 , B23K26/0613 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , H05K2203/108
摘要： 本发明提供一种使用紫外线区波长的激光束可缩短加工时间的激光加工装置以及加工方法。这种激光加工装置具有控制装置，该控制装置输出具有周期性波形的第1转机信号和与该第1转机信号同步的具有周期性波形的第2转机信号；第1激光源，该第1激光源与上述第1转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第1脉冲激光束；第2激光源，该第2激光源与上述第2转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第2脉冲激光束；将上述第1脉冲激光束和上述第2脉冲激光束会聚到同一点的聚光光学系统，以及保持装置，该保持装置将被加工物保持在受由上述聚光光学系统会聚的脉冲激光束照射的位置。
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