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公开(公告)号：CN86108452A
公开(公告)日：1987-09-23
申请号：CN86108452
申请日：1986-12-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L31/18
CPC classification number: H01L31/202 , H01L31/03921 , H01L31/095 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 改进的图象读取光检测器，它具有所需的光电转换层。该转换层是通过在无等离子体的条件下采用能对淀积膜的形成有所贡献的物质和电子氧化剂而制备的。本发明涉及用于制备该改进图象读取光检测器的方法和设备。
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公开(公告)号：CN86108874A
公开(公告)日：1987-09-09
申请号：CN86108874
申请日：1986-12-25
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01L21/02425 , C23C16/452 , H01L21/02422 , H01L21/0245 , H01L21/02532 , H01L21/0262
Abstract: 沉积膜形成方法，其中通过各自独立地反应区通入形成沉积膜的气态原料和对所述原料有氧化作用的气态卤素氧化剂以便按化学反应形成沉积膜。该方法包括，在活化区预先活化可形成能带宽控制剂的气态物质(B)以形成活化体；然后将所述的活化体通入反应区以便在处于成膜区的基体上形成可控制能带宽的沉积膜。
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公开(公告)号：CN86107141A
公开(公告)日：1987-06-10
申请号：CN86107141
申请日：1986-10-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/452 , H01L21/0242 , H01L21/02532 , H01L21/0262
Abstract: 本发明涉及功能性膜的形成方法，特别是对半导体器件，电光摄象的光敏器件诸如光学成像输入装置的入射光感光器件之类电子元件等有用的功能性沉积膜的形成方法。它包括向反应区通入形成沉积膜的原料气和对所述原料有氧化性的气态卤素氧化剂以使它们之间化学接触，以形成含有大量处于激发态初级粒子的多种初级粒子；至少使用这些初级粒子中的一种作为沉积膜组成元素的料源在成膜区中的基体上形成沉积膜。本发明还披露了其它形成沉积膜的方法。
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公开(公告)号：CN1015009B
公开(公告)日：1991-12-04
申请号：CN86108874
申请日：1986-12-25
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01L21/02425 , C23C16/452 , H01L21/02422 , H01L21/0245 , H01L21/02532 , H01L21/0262
Abstract: 沉积膜形成方法，其中通过各自独立地反应区通入形成沉积膜的气态原料和对所述原料有氧化作用的气态卤素氧化剂以便按化学反应形成沉积膜。该方法包括，在活化区预先活化可形成能带宽控制剂的气态物质(B)以形成活化体：然后将所述的活化体通入反应区以便在处于成膜区的基体上形成可控制能带宽的沉积膜。
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公开(公告)号：CN1015007B
公开(公告)日：1991-12-04
申请号：CN86107084
申请日：1986-10-21
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 一种形成沉积膜的方法包括：把形成沉积膜的气态原料，对该原料具有氧化作用的气态卤素氧化剂(X)和有同样性质的至少一种气态氧型和氮型氧化剂导入反应区，使它们有效地接触以形成包括处于激发态的多种中间体，和用途这些中间体中的至少一种作为沉积膜组分的原料源以便在存在于成膜区中的基底上形成沉积膜。形成沉积膜的另一方法与上法相似，但增加了含作为价电子控制剂的要素的成分的气态原料(D)。
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公开(公告)号：CN86108685A
公开(公告)日：1987-07-29
申请号：CN86108685
申请日：1986-12-25
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01L21/02532 , G03G5/08278 , H01L21/02422 , H01L21/02425 , H01L21/0245 , H01L21/02505 , H01L21/02576 , H01L21/02579 , H01L21/0262 , H01L31/075 , H01L31/202 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 通过把形成沉积膜的气态原料和对所说的原料具有氧化作用性质的气态卤素氧化剂分别独立地送入反应空间，由化学反应形成沉积膜的制备沉积膜的方法，包括预先把用于形成价电子控制剂的气态物质(D)在一个激活空间里形成激活产物，并且将所说的激活产物送入反应空间，以便形成掺杂的沉积膜。
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公开(公告)号：CN86108412A
公开(公告)日：1987-07-29
申请号：CN86108412
申请日：1986-12-11
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01L31/076 , H01L31/03921 , H01L31/075 , H01L31/202 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 一种改进的具有符合要求的光电转换层的光电动势元件，该光电转换层采用一种能够用来形成沉积膜的物质和一种电子氧化剂在没有等离子体的情况下制备。本发明还涉及了制备该元件的方法和装置。
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公开(公告)号：CN1015008B
公开(公告)日：1991-12-04
申请号：CN86107141
申请日：1986-10-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: C23C16/452 , H01L21/0242 , H01L21/02532 , H01L21/0262
Abstract: 本发明涉及功能性膜的形成方法，特别是对半导体器件，电光摄象的光敏器件诸如光学成像输入装置的入射光感光器件之类电子元件等有用的功能性沉积膜的形成方法。它包括向反应区通入形成沉积膜的原料气和对所述原料有氧化性的气态卤素氧化剂以使它们之间化学接触，以形成含有大量处于激发态初级粒子的多种初级粒子，至少使用这些初级粒子中的一种作为沉积膜组成元素的料源在成膜区中的基体上形成沉积膜。本发明还披露了其它形成沉积膜的方法。
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公开(公告)号：CN1006670B
公开(公告)日：1990-01-31
申请号：CN86108452
申请日：1986-12-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L31/18
CPC classification number: H01L31/202 , H01L31/03921 , H01L31/095 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 改进的图象读取光检测器，它具有所需的光电转换层。该转换层是通过在无等离子体的条件下采用能对淀积膜的形成有所贡献的物质和电子氧化剂而制备的。本发明涉及用于制备该改进图象读取光检测器的方法和设备。
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