单晶生长装置、单晶生长炉及单晶生长方法

    公开(公告)号:CN116791191A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310786508.8

    申请日:2023-06-29

    Abstract: 本申请提供一种单晶生长装置、单晶生长炉及单晶生长方法,包括:坩埚盖和坩埚,坩埚盖盖合于坩埚的顶部开口,坩埚的侧壁和底壁受热;坩埚内设有至少一个导热件,其底端与坩埚底壁接触,顶端与坩埚盖之间具有预设距离;坩埚内设有位于导热件远离坩埚底壁的一侧的隔板及位于隔板靠近坩埚底壁的一侧的原料;隔板包括遮挡部和流通部,遮挡部为圆环形结构,遮挡部的外缘与坩埚侧周壁抵接,流通部用于升华气体通过;坩埚盖的内侧设有籽晶,坩埚内还设有导流罩,导流罩设于隔板远离坩埚底壁的一侧,用于将升华气体导向籽晶表面;导热件的制作材料为耐高温且不与AlN反应的金属材料。该装置能提高原料的温度分布的均匀性。

    一种磷酸氧钛铷电光晶体的生长方法

    公开(公告)号:CN118241299A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202211655217.7

    申请日:2022-12-22

    Abstract: 本申请提供了一种磷酸氧钛铷电光晶体的生长方法,其采用Rb7P3O11‑BaF2助溶剂,Rb7P3O11助溶剂中[Rb]/[P]摩尔比为7/3;生长方法包括:将NH4H2PO4、Rb2CO3、TiO2、BaF2均匀混合,置于坩埚中,经熔融、冷却,获得生长原料;将生长原料进行高温处理,获得溶液;将溶液进行过热处理,获得过热溶液;放入籽晶,生长磷酸氧钛铷电光晶体。本申请提供的生长方法可以使生成态磷酸氧钛铷电光晶体的晶格更加完美,电导率达到1.0×10‑14S/cm‑6.0×10‑14S/cm,光学电学性能优良,可以满足65℃以上的高温使用环境和MHz高重复频率使用,晶体使用寿命长且工作稳定性高。

    生长氧化镓晶体的金属坩埚、设备及方法

    公开(公告)号:CN118207625A

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202410509106.8

    申请日:2024-04-25

    Abstract: 本申请实施例提供一种生长氧化镓晶体的金属坩埚、设备及方法,金属坩埚包括坩埚体和盖合于坩埚体的坩埚盖,坩埚盖自其中心位置向边缘位置高度逐渐减小,坩埚盖边缘与坩埚体的内壁接触,且接触点位于坩埚体的开口所在的平面以下。坩埚盖与坩埚体之间的缝隙,可以通过坩埚内原料蒸发产生的蒸汽在此冷凝而自动密封,从而可以解决氧化镓熔体在高温下继续挥发的问题。同时,由于坩埚实现了自密封,坩埚内由于原料分解产生的氧分压很快达到饱和,因此也进一步抑制了原料的分解,可以生长高质量、大尺寸的氧化镓晶体。

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