测距装置、电子显微镜及显微镜物距调节方法

    公开(公告)号:CN110849260A

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201911036581.3

    申请日:2019-10-29

    IPC分类号: G01B9/04 G01C3/02

    摘要: 本申请实施例提供一种测距装置、电子显微镜及显微镜物距调节方法,其中,测距装置包括:两个单色光源,以测距装置的主光轴为对称轴呈轴对称排布;两个单色光源同向发光,发出的中心光线与主光轴平行;透镜组件,其光轴与主光轴重合,位于单色光源的发光侧;标志物,设置在主光轴上,位于透镜组件与单色光源之间;图像采集器,其光轴与主光轴重合,位于透镜组件远离单色光源的一侧;透镜组件将标志物在焦平面所呈的像映射到图像采集器的第一区域,将标志物在透镜组件的像平面所呈的像映射到图像采集器的第二区域;根据第二区域与第一区域边界之间的差确定焦平面与像平面之间的距离。本申请实施例提供的测距装置具有较高的测量精度,且成本较低。