公开(公告)号：CN107646087B

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201680029734.X

申请日：2016-05-18

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： J.赫茨勒 ,  S.富克斯 ,  H-M.斯蒂潘 ,  K-H.舒斯特

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G02B5/08 ,  G03F7/20

摘要： 本发明涉及干涉式地确定被测装置(14)的表面(12)的形状的测量布置(10)。所述测量布置(10)包括提供输入波(18)的光源(16)和衍射光学元件(24)。衍射光学元件(24)适当地设计为从输入波(18)通过衍射分别产生测试波(26)和参考波(28)，该测试波指向被测装置(14)并且具有至少部分适配于光学表面(12)的期望的形状的波前。所述测量布置(10)还包含用于参考波(28)的背向反射的反射光学元件(30)、以及在捕获平面(48)中捕获干涉图的捕获装置(36)，该干涉图由与被测装置(14)相互作用后的测试波(26)和反射的参考波(28)分别在所述衍射光学元件(24)处的另一次衍射之后的叠加产生。本发明还涉及确定被测装置(14)的表面形状的相应方法。

公开(公告)号：CN107646087A

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201680029734.X

申请日：2016-05-18

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： J.赫茨勒 ,  S.富克斯 ,  H-M.斯蒂潘 ,  K-H.舒斯特

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G02B5/08 ,  G03F7/20

CPC分类号： G01B9/02039 ,  B21D11/10 ,  C03B37/15 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02032 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02072 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/30 ,  G01M11/005 ,  G01M11/0264 ,  G02B5/08 ,  G02B13/143 ,  G03F7/702 ,  G03F7/706

摘要： 本发明涉及干涉式地确定被测装置(14)的表面(12)的形状的测量布置(10)。所述测量布置(10)包括提供输入波(18)的光源(16)和衍射光学元件(24)。衍射光学元件(24)适当地设计为从输入波(18)通过衍射分别产生测试波(26)和参考波(28)，该测试波指向被测装置(14)并且具有至少部分适配于光学表面(12)的期望的形状的波前。所述测量布置(10)还包含用于参考波(28)的背向反射的反射光学元件(30)、以及在捕获平面(48)中捕获干涉图的捕获装置(36)，该干涉图由与被测装置(14)相互作用后的测试波(26)和反射的参考波(28)分别在所述衍射光学元件(24)处的另一次衍射之后的叠加产生。本发明还涉及确定被测装置(14)的表面形状的相应方法。