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公开(公告)号：CN101109932B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200610164733.4
申请日：2006-12-06
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G06F7/00
CPC classification number: G05B19/4189 , G05B2219/31271 , G05B2219/31272 , G05B2219/31372 , G05B2219/45031 , Y02P90/12 , Y02P90/28
Abstract: 本发明揭示一种工厂自动化系统及相关方法。实施例为工厂自动化系统，适用于晶片制造厂，该晶片制造厂包括多个隔间，其中每一隔间包括由隔间内高架式晶片运输(OHT)系统互连的多个制造设备，以及第一隔间之间OHT系统和第二隔间之间OHT系统用以互连该隔间内高架式晶片运输系统。该工厂自动化系统包括：制造执行系统，用以提供关于该晶片制造厂内正被处理中的晶片批次信息；物料控制系统，用以提供关于该晶片制造厂内的晶片运输的流量信息；以及整合运输控制系统，用以根据传送请求，利用该制造执行系统产生的批次信息以及该物料控制系统产生的流量信息，选取包含多个晶片的晶片盒的目的地以及到该选取目的地的路径。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101303596A
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200810091383.2
申请日：2008-05-08
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/418 , H01L21/677
CPC classification number: G05B19/4189 , G05B2219/45031 , Y02P90/08 , Y02P90/28 , Y02P90/86 , Y10S414/135
Abstract: 本发明公开一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一主物料控制系统与一桥接器。该主物料控制系统可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，其中该第一物料管制系统可与一第一供应商的一第一自动物料处理系统相互通讯，而该第二物料管制系统可与一第二供应商的一第二自动物料处理系统相互通讯。该桥接器连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送。该主物料控制系统可与该第一与第二物料管制系统相互通讯，以控制该第一与第二自动物料处理系统以及该桥接器的跨厂晶片传送。
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公开(公告)号：CN101109932A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200610164733.4
申请日：2006-12-06
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/04 , H01L21/677 , B65G49/07 , B65G43/00
CPC classification number: G05B19/4189 , G05B2219/31271 , G05B2219/31272 , G05B2219/31372 , G05B2219/45031 , Y02P90/12 , Y02P90/28
Abstract: 本发明揭示一种工厂自动化系统及相关方法。实施例为工厂自动化系统，适用于晶片制造厂，该晶片制造厂包括多个隔间，其中每一隔间包括由隔间内高架式晶片运输(OHT)系统互连的多个制造设备，以及第一隔间之间OHT系统和第二隔间之间OHT系统用以互连该隔间内高架式晶片运输系统。该工厂自动化系统包括：制造执行系统，用以提供关于该晶片制造厂内正被处理中的晶片批次信息；物料控制系统，用以提供关于该晶片制造厂内的晶片运输的流量信息；以及整合运输控制系统，用以根据传送请求，利用该制造执行系统产生的批次信息以及该物料控制系统产生的流量信息，选取包含多个晶片的晶片盒的目的地以及到该选取目的地的路径。
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公开(公告)号：CN101303596B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200810091383.2
申请日：2008-05-08
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/418 , H01L21/677
CPC classification number: G05B19/4189 , G05B2219/45031 , Y02P90/08 , Y02P90/28 , Y02P90/86 , Y10S414/135
Abstract: 本发明公开一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一物料管制系统主机、一桥接器与一中央制造执行系统。该物料管制系统主机可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，并且该物料管制系统主机包括传送型态以及制造执行系统与自动物料处理系统映射。该桥接器连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送。该中央制造执行系统，其与该物料管制系统主机相互通讯且用以控制该物料管制系统主机。
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公开(公告)号：CN101281404A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200710142783.7
申请日：2007-08-23
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/418 , H01L21/00 , H01L21/677
CPC classification number: G05B19/41895 , G05B2219/31002 , G05B2219/31276 , G05B2219/45031 , G06Q10/047 , Y02P90/12 , Y02P90/20 , Y02P90/285 , Y02P90/60
Abstract: 本发明提供一种工厂自动化系统以及相关方法。工厂自动化系统包括一制造执行系统、一物料控制系统、一自动化物料搬运系统以及一实时派发系统；制造执行系统用以提供晶片批次信息；物料控制系统用以提供动态流量信息；自动化物料搬运系统用以提供静态路径信息；实时派发系统依据一传送请求，选取一晶片载具的一目的地以及到该选取目的地的一路径。本发明提供的工厂自动化系统以及相关方法可以安排批次和/或减少流量，以确保制造过程的机台和/或阶段间的超级热批以及高优先批次的及时地运输。
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公开(公告)号：CN101281404B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710142783.7
申请日：2007-08-23
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/418 , H01L21/00 , H01L21/677
CPC classification number: G05B19/41895 , G05B2219/31002 , G05B2219/31276 , G05B2219/45031 , G06Q10/047 , Y02P90/12 , Y02P90/20 , Y02P90/285 , Y02P90/60
Abstract: 本发明提供一种工厂自动化系统以及相关方法。工厂自动化系统包括一制造执行系统、一物料控制系统、一自动化物料搬运系统以及一实时派发系统；制造执行系统用以提供晶片批次信息；物料控制系统用以提供动态流量信息；自动化物料搬运系统用以提供静态路径信息；实时派发系统依据一传送请求，选取一晶片载具的一目的地以及到该选取目的地的一路径。本发明提供的工厂自动化系统以及相关方法可以安排批次和/或减少流量，以确保制造过程的机台和/或阶段间的超级热批以及高优先批次的及时地运输。
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