公开(公告)号：CN103970923A

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201310150925.X

申请日：2013-04-26

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈皇宇 ,  田丽钧 ,  谢艮轩 ,  王植键 ,  徐金厂 ,  许钦雄 ,  苏品岱 ,  刘如淦 ,  鲁立忠

IPC: G06F17/50

CPC classification number: G06F17/5081

Abstract: 本发明提供了执行设局布局的一种或更多种技术和系统。初始的设计布局与电器部件(诸如，标准单元)相关。该初始的设计布局包括第一图案(诸如，芯轴图案)和第二图案(诸如，被动填充图案)。生成用于初始设计布局的初始切割图案。响应与初始切割图案相关的设计规则违背识别而修改初始设计布局从而生成修改的初始设计布局。基于修改的初始设计布局生成更新的切割图案，但不导致设计规则违背。更新的切割图案被应用于更新的初始设计布局从而生成最终的设计布局。最终的设计布局被验证为自对准多重图案化(SAMP)兼容。本发明还提供了一种自对准多重图案化布局设计。

公开(公告)号：CN103970923B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201310150925.X

申请日：2013-04-26

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈皇宇 ,  田丽钧 ,  谢艮轩 ,  王植键 ,  徐金厂 ,  许钦雄 ,  苏品岱 ,  刘如淦 ,  鲁立忠

IPC: G06F17/50

CPC classification number: G06F17/5081

Abstract: 本发明提供了执行设局布局的一种或更多种技术和系统。初始的设计布局与电器部件(诸如，标准单元)相关。该初始的设计布局包括第一图案(诸如，芯轴图案)和第二图案(诸如，被动填充图案)。生成用于初始设计布局的初始切割图案。响应与初始切割图案相关的设计规则违背识别而修改初始设计布局从而生成修改的初始设计布局。基于修改的初始设计布局生成更新的切割图案，但不导致设计规则违背。更新的切割图案被应用于更新的初始设计布局从而生成最终的设计布局。最终的设计布局被验证为自对准多重图案化(SAMP)兼容。本发明还提供了一种自对准多重图案化布局设计。