自对准多重图案化布局设计

    公开(公告)号:CN103970923A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201310150925.X

    申请日:2013-04-26

    CPC classification number: G06F17/5081

    Abstract: 本发明提供了执行设局布局的一种或更多种技术和系统。初始的设计布局与电器部件(诸如,标准单元)相关。该初始的设计布局包括第一图案(诸如,芯轴图案)和第二图案(诸如,被动填充图案)。生成用于初始设计布局的初始切割图案。响应与初始切割图案相关的设计规则违背识别而修改初始设计布局从而生成修改的初始设计布局。基于修改的初始设计布局生成更新的切割图案,但不导致设计规则违背。更新的切割图案被应用于更新的初始设计布局从而生成最终的设计布局。最终的设计布局被验证为自对准多重图案化(SAMP)兼容。本发明还提供了一种自对准多重图案化布局设计。

    用于实现符合多重图样化技术的设计布局的方法和装置

    公开(公告)号:CN102479280A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201110229041.4

    申请日:2011-08-10

    CPC classification number: G06F17/5077 G03F7/70433 G03F7/70466

    Abstract: 本发明提供了用于实现符合多重图样化的技术设计布局的方法和装置。一种示例性方法包括:设置具有布线轨迹的布线栅格;向布线轨迹的每一个指定至少两种颜色中的一种;向布线栅格应用具有多个特征的图样布局,其中,多个特征的每一个均对应于至少一个布线轨迹;以及应用特征分裂约束,以确定图样布局是否为符合多重图样化的布局。如果图样布局不是符合多重图样化的布局,则可以修改图样布局直到实现符合多重图样化的布局。如果图样布局是符合多重图样化的布局,则基于每个特征对应的至少一个布线轨迹的颜色对多个特征的每一个进行着色,从而形成着色图样布局,并利用着色图样布局的特征生成至少两个掩模。每个掩模都包括单种颜色的特征。

    集成电路设计的布局优化

    公开(公告)号:CN105631085B

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201510489551.3

    申请日:2015-08-11

    Abstract: 一种方法包括接收目标图案,目标图案由主要图案、第一切割图案和第二切割图案限定,通过计算系统检查目标图案以遵守第一约束,第一约束与第一切割图案相关,通过计算系统检查目标图案以遵守第二约束,第二约束与第二切割图案相关,以及响应于确定在检查期间发现违犯第一约束或第二约束,通过计算系统修改图案。本发明的实施例还涉及集成电路设计的布局优化。

    集成电路设计的布局优化

    公开(公告)号:CN105631085A

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201510489551.3

    申请日:2015-08-11

    Abstract: 一种方法包括接收目标图案,目标图案由主要图案、第一切割图案和第二切割图案限定,通过计算系统检查目标图案以遵守第一约束,第一约束与第一切割图案相关,通过计算系统检查目标图案以遵守第二约束,第二约束与第二切割图案相关,以及响应于确定在检查期间发现违犯第一约束或第二约束,通过计算系统修改图案。本发明的实施例还涉及集成电路设计的布局优化。

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