公开(公告)号：CN104282781B

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201310398112.2

申请日：2013-09-04

申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司

发明人： 卢俊安 ,  许丽 ,  吴志力

IPC分类号： H01L31/032 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/0322 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02614 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0749 ,  Y02E10/541

摘要： 本发明提供了一种基于黄铜矿的薄膜太阳能电池器件及其制造方法。太阳能电池包括位于衬底上方的堆叠式吸收膜。堆叠式吸收膜包括至少两组吸收材料并且每一组都包括至少三层。三层中的至少一层包括元素硒，并且三层中的至少一层包括选自由铜、铟或镓组成的组中的金属。该至少一个硒层接触该至少一个金属层。至少两组吸收材料形成包括多层嵌入式硒的吸收膜。本发明还提供了太阳能电池吸收薄膜及其制造方法。

公开(公告)号：CN105206704B

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201410441930.0

申请日：2014-09-02

申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司

发明人： 许丽 ,  李文钦

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/0392

CPC分类号： H01L31/1864 ,  H01L21/02299 ,  H01L21/02387 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/02614 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0323 ,  H01L31/1876 ,  H01L31/1892 ,  Y02E10/50 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明提供了一种Na剂量控制方法，该方法包括：将至少两个衬底彼此间以一定距离放置在衬底载体上，将衬底载体放置在反应腔室中，在该至少两个衬底上沉积前体，以及对该至少两个衬底实施第一退火工艺。该至少两个衬底包括第一含量的第一材料。至少两个衬底之间的距离基于第一材料的第一含量和至少一个工艺参数。所公开的方法有利地提供了改善的Na剂量控制。

公开(公告)号：CN109638100A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201811221714.X

申请日：2013-11-18

申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司

发明人： 吴志力 ,  许丽 ,  严文材 ,  吴忠宪

IPC分类号： H01L31/056 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/0749

CPC分类号： H01L31/0445 ,  H01L31/056 ,  H01L31/0749 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明提供了具有背面反射体的光伏器件，公开了通过在背面电极层和吸收层之间提供背面反射体而提高薄膜太阳能电池的效率的器件和方法。背面反射体将太阳光光子重新反射回吸收层以产生额外的电能。该器件是光伏器件，其包括衬底、背面电极层、背面反射体、吸收层、缓冲层和正面接触层。背面反射体形成为多条平行线。

公开(公告)号：CN109638100B

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN201811221714.X

申请日：2013-11-18

申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司

发明人： 吴志力 ,  许丽 ,  严文材 ,  吴忠宪

IPC分类号： H01L31/056 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/0749

摘要： 本发明提供了具有背面反射体的光伏器件，公开了通过在背面电极层和吸收层之间提供背面反射体而提高薄膜太阳能电池的效率的器件和方法。背面反射体将太阳光光子重新反射回吸收层以产生额外的电能。该器件是光伏器件，其包括衬底、背面电极层、背面反射体、吸收层、缓冲层和正面接触层。背面反射体形成为多条平行线。