改善设计窗的方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100426308C

    公开(公告)日:2008-10-15

    申请号:CN200610009425.4

    申请日:2006-02-22

    Abstract: 一种形成用于集成电路制造工艺的光掩模的方法。该方法首先决定最小间距。并确认图案具有一间距小于该最小间距,其中该图案用以形成垂直导电构造。再针对确认出的每一个图案,决定扩增的第一方向及缩减的第二方向以定义一修正图案。并依据设计规则进行检查,以决定当确认出的该图案在该第一方向扩增及在该第二方向缩减时,是否违背该设计规则。再针对确认出的每一个图案,当未违背该设计规则时,将经过确认的该图案用该修正图案取代,其中该修正图案在该第一方向被扩增,而在该第二方向被缩减。之后,使用该修正图案形成光掩模。该方法可以用于形成不易出现短路缺陷的介层窗,也可以用于形成其它垂直导体结构。

    计算机实施的方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112507646B

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN201911347441.8

    申请日:2019-12-24

    Abstract: 用于集成电路(IC)布局验证的系统、方法以及器件。采集多个集成电路图案,多个集成电路图案包含能够被制造的第一组图案和不能被制造的第二组图案。使用多个集成电路图案来训练机器学习模型。机器学习模型产生用于验证集成电路布局的预测模型。预测模型接收包含一组测试图案的数据,一组测试图案包括集成电路图案的扫描电子显微镜(SEM)图像。基于扫描电子显微镜图像和多个集成电路图案来确定与集成电路布局相关联的设计违例。为集成电路布局的进一步特征化提供设计违例的概述。

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