显示面板的制造方法、显示面板和显示装置

    公开(公告)号:CN107731679B

    公开(公告)日:2021-01-26

    申请号:CN201710947326.9

    申请日:2017-10-12

    IPC分类号: H01L21/311 H01L27/12

    摘要: 本发明公开了一种显示面板的制造方法、显示面板和显示装置,属于显示技术领域。所述方法包括:在衬底基板上依次形成第二膜层和第一膜层,第一膜层上形成有第一过孔;在形成有第一膜层的衬底基板上形成光刻胶图案;以高于光刻胶图案的耐受温度的温度对光刻胶图案进行热固化处理;通过刻蚀工艺刻蚀第二膜层,以在第二膜层上形成第二过孔。本发明通过以高于光刻胶图案耐受温度的温度对光刻胶图案进行热固化,使光刻胶图案在热固化过程中均匀附着在过孔侧壁上。解决了相关技术中,光刻胶难以保护过孔侧壁,导致过孔侧壁与衬底基板的夹角较大,使后续形成于过孔中的结构可能在该过孔处断裂,造成显示面板不良的问题,达到了提高显示面板良率的效果。

    阵列基板的制作方法、阵列基板及显示装置

    公开(公告)号:CN107195659B

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN201710392393.9

    申请日:2017-05-27

    IPC分类号: H01L27/32 H01L21/822

    摘要: 一种阵列基板的制作方法、阵列基板及显示装置。该阵列基板的制作方法包括:提供衬底基板;在衬底基板上形成半导体层;在半导体层上沉积刻蚀阻挡层材料;在刻蚀阻挡层材料上形成掩模图案;以掩模图案为掩模对刻蚀阻挡层材料采用湿法刻蚀以形成刻蚀阻挡层;以掩模图案为掩模对半导体层采用干法刻蚀以形成有源层,其中,有源层包括第一区域以及围绕第一区域的第二区域,刻蚀阻挡层在衬底基板上的正投影与有源层的第一区域在衬底基板上的正投影完全重合。采用该制作方法,既可以增大开态电流和电子迁移率,也可以避免数据线与栅线或者公共电极线之间发生短路,从而提升产品的良率。