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公开(公告)号:CN102473454A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080032370.3
申请日:2010-07-09
申请人: 希捷科技有限公司
CPC分类号: G11C13/0007 , G11C2213/31 , G11C2213/51 , G11C2213/56 , G11C2213/77 , G11C2213/79 , H01L27/101 , H01L27/2436 , H01L45/08 , H01L45/12 , H01L45/1233 , H01L45/147 , H01L45/1608
摘要: 一种阻性感测存储器单元,包括结晶的镨钙锰氧化物的层以及沉积在结晶的镨钙锰氧化物的层上的无定形镨钙锰氧化物的层,这两个层构成阻性感测存储器叠层。第一和第二电极由阻性感测存储器叠层所间隔开。该阻性感测存储器单元还包括氧扩散阻挡层,该氧扩散阻挡层将结晶的镨钙锰氧化物的层与无定形镨钙锰氧化物的层间隔开。方法包括:在结晶的镨钙锰氧化物的层上沉积无定形镨钙锰氧化物的层,由此构成阻性感测存储器叠层。
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公开(公告)号:CN102473454B
公开(公告)日:2015-01-14
申请号:CN201080032370.3
申请日:2010-07-09
申请人: 希捷科技有限公司
CPC分类号: G11C13/0007 , G11C2213/31 , G11C2213/51 , G11C2213/56 , G11C2213/77 , G11C2213/79 , H01L27/101 , H01L27/2436 , H01L45/08 , H01L45/12 , H01L45/1233 , H01L45/147 , H01L45/1608
摘要: 一种阻性感测存储器单元,包括结晶的镨钙锰氧化物的层以及沉积在结晶的镨钙锰氧化物的层上的无定形镨钙锰氧化物的层,这两个层构成阻性感测存储器叠层。第一和第二电极由阻性感测存储器叠层所间隔开。该阻性感测存储器单元还包括氧扩散阻挡层,该氧扩散阻挡层将结晶的镨钙锰氧化物的层与无定形镨钙锰氧化物的层间隔开。方法包括:在结晶的镨钙锰氧化物的层上沉积无定形镨钙锰氧化物的层,由此构成阻性感测存储器叠层。
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