半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN107799652A

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201710785299.X

    申请日:2017-09-04

    发明人: 植木诚 长谷卓

    IPC分类号: H01L45/00

    摘要: 一种半导体器件及其制造方法。具体涉及电阻变化元件,其包括彼此间隔开的第一和第二电极,与第一电极相邻的金属材料层,与金属材料层和第一电极相邻的氧化物层,和连续布置在第二和第一电极之间和在第二电极和氧化物层之间的电阻变化层。电阻变化层由金属氧化物制成。金属材料层由金属或金属化合物制成。氧化物层由形成金属材料层的材料的氧化物制成。第一电极由钌、氧化钌、铱、氧化铱、铂、金或铜制成。形成氧化物层的氧化物的氧化物形成自由能高于形成电阻变化层的氧化物的氧化物形成自由能。

    电阻式随机存取存储器及其制造方法

    公开(公告)号:CN104425716B

    公开(公告)日:2018-01-05

    申请号:CN201410340990.3

    申请日:2014-07-17

    IPC分类号: H01L45/00 H01L27/24 G11C13/00

    摘要: 本公开提供一种半导体结构,其包括导电层和导电层上方的电阻可配置结构。电阻可配置结构包括第一电极、第一电极上方的电阻可配置层以及电阻可配置层上方的第二电极。第一电极具有第一侧壁、第二侧壁以及导电层上的底面。第一侧壁和第二侧壁之间的接合处包括电场增强结构。本公开还提供一种用于制造以上半导体结构的方法,包括:图案化导电层上的硬掩模;在硬掩模周围形成间隔件;去除硬掩模的至少一部分;在间隔件上形成共形电阻可配置层;以及在共形电阻可配置层上形成第二导电层。本公开还提供了一种制造电阻式随机存取存储器(RRAM)的方法。