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公开(公告)号：CN101916715B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201010246114.6
申请日：2005-02-25
申请人： 应用材料有限公司
CPC分类号： H01L21/02104 , C23C14/022 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/32082 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32862 , H01J2237/2001 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。
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公开(公告)号：CN101916740A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010246116.5
申请日：2005-02-25
申请人： 应用材料有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/00 , H01J37/32
CPC分类号： H01L21/02104 , C23C14/022 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/32082 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32862 , H01J2237/2001 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。
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公开(公告)号：CN1681079A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200510056532.8
申请日：2005-02-25
申请人： 应用材料有限公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/205 , C23C16/44
CPC分类号： H01L21/02104 , C23C14/022 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/32082 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32862 , H01J2237/2001 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。
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公开(公告)号：CN101916715A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010246114.6
申请日：2005-02-25
申请人： 应用材料有限公司
CPC分类号： H01L21/02104 , C23C14/022 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/32082 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32862 , H01J2237/2001 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。
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公开(公告)号：CN100487857C
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200510056532.8
申请日：2005-02-25
申请人： 应用材料有限公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/205 , C23C16/44
CPC分类号： H01L21/02104 , C23C14/022 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/32082 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32862 , H01J2237/2001 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。
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公开(公告)号：CN101916740B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201010246116.5
申请日：2005-02-25
申请人： 应用材料有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/00 , H01J37/32
CPC分类号： H01L21/02104 , C23C14/022 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/32082 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32862 , H01J2237/2001 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。
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公开(公告)号：CN101241844B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200810082565.3
申请日：2005-02-25
申请人： 应用材料有限公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/311 , C23C16/455
CPC分类号： H01L21/02104 , C23C14/022 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/32082 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32862 , H01J2237/2001 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供了一种用于前段工艺制造的原地干洗腔。本发明进一步提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。
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公开(公告)号：CN101241844A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200810082565.3
申请日：2005-02-25
申请人： 应用材料有限公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/311 , C23C16/455
CPC分类号： H01L21/02104 , C23C14/022 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/32082 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32862 , H01J2237/2001 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供了一种用于前段工艺制造的原地干洗腔。本发明进一步提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。
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