单晶硅生产设备
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1056136A

    公开(公告)日:1991-11-13

    申请号:CN91102923.0

    申请日:1991-04-27

    CPC classification number: C30B15/14 C30B15/12 C30B29/06

    Abstract: 一种按照坩埚不旋转的切克劳斯基法高速提拉直径大、组成稳定的单晶硅的单晶硅生产设备。通过妥善维持单晶硅外周边与分隔件内侧熔融硅自由表面的热平衡,可以高速提拉大直径单晶硅。必须满足的条件如下:4=18-24英寸,3/4=0.75-0.84;2-1=30-50毫米,α=15-25度;及h=10-30毫米,其中1为单晶硅直径,2为保温盖圆柱形侧面部分下端处的孔径,3为分隔件的直径,4为坩埚直径,h为熔融硅表面至2部分的距离。

    制造硅单晶的设备
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1055964A

    公开(公告)日:1991-11-06

    申请号:CN91102023.3

    申请日:1991-04-02

    CPC classification number: C30B15/12 C30B15/14

    Abstract: 一种制造硅单晶的设备,其中有一个隔离元件安装于旋转石英坩埚中,使它环绕着一边旋转一边拉制的大圆柱形硅单晶,该隔离元件至少有一个小孔通过其下部。隔离元件的全部或一部分由多孔石英玻璃制成,其孔含量(体积百分数)在0.01至15%之间。或者小于0.01%,但利用来熔化硅原料的热使其增加到0.01%至15%,这样就防止了与隔离元件内侧接触的熔融物料的温度降低,并防止了该部位的熔融物料发生凝固。

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