研磨液和研磨方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110291619A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201880010057.6

    申请日:2018-01-23

    Abstract: 一种研磨液,其为用于研磨包含钨材料的被研磨面的研磨液,所述研磨液含有磨粒、末端具有阳离子性基团的聚合物、氧化剂、氧化金属溶解剂和水,上述聚合物具有来源于不饱和羧酸的结构单元,上述聚合物的重均分子量在20000以下,所述研磨液的pH小于5.0。

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