燃料电池系统
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1430300A

    公开(公告)日:2003-07-16

    申请号:CN02160446.0

    申请日:2002-12-30

    Abstract: 在一种燃料电池系统中,完全防止燃料以及燃料氧化时生成的副生成物的漏液以及由于它们的蒸发向燃料电池外的泄漏。因此,在具有:配备有燃料极,氧化剂极和夹持在前述燃料极与前述氧化剂极之间的电解质的起电部,容纳前述燃料极供应的燃料的燃料容纳容器,从前述燃料容纳容器向前述起电部供应燃料的燃料供应部,连接到前述燃料极上的燃料排出部的燃料电池系统中,前述燃料容纳容器,前述燃料供应部,前述燃料极,以及前述燃料排出部密闭连接。

    薄膜形成装置及薄膜形成方法

    公开(公告)号:CN102378826A

    公开(公告)日:2012-03-14

    申请号:CN201080014488.3

    申请日:2010-04-14

    CPC classification number: C23C14/562 C23C14/541

    Abstract: 在使用气体冷却的成膜方法中,一边实现充分的冷却效果一边避免因气体导入导致成膜率下降和/或对真空泵施加过大的载荷。本发明的薄膜形成装置,具备:在薄膜形成区域(9)具有与基板(7)的背面接近的冷却面(10s)的冷却体(10);以及向冷却面(10s)和基板(7)的背面之间导入气体的气体导入单元,冷却面在基板的宽度方向剖面中具有中央部比两端部向基板7的背面突出的形状。优选的是,冷却面具有在基板的宽度方向剖面中左右对称的形状,更优选地,具有由悬垂曲线表示的形状。

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